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1. 发明申请

WO2019090925A1 一种药液添加系统及方法审中-公开
公开(公告)号：WO2019090925A1
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：PCT/CN2017/118031
申请日：2017-12-22
申请人：常州捷佳创精密机械有限公司
发明人：左国军 , 夏展
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L31/1876 , Y02P70/521
摘要：一种药液添加系统（100）及方法，该系统（100）包括储液罐（10）、传感器（20）、人机交互模块（30）及控制器（40）。储液罐（10）存储药液，且包括出液阀（12），出液阀（12）控制储液罐（10）内的药液流入一反应槽（300）内。传感器（20）感测储液罐（10）内药液的液位。人机交互模块（30）将用户输入的数据传递给控制器（40）。人机交互模块（30）基于用户操作选择添加方式及/或添加模式，添加方式包括手动添加及/或自动添加，添加模式包括定量添加及/或动态添加。控制器（40）根据传感器（20）所感测的数据计算储液罐（10）内药液的体积，从而计算出储液罐（10）的出液量。控制器（40）还能根据人机交互模块（30）设置的数据向反应槽（300）内添加药液。该药液添加系统（100）及方法稳定可靠、高精度、灵活且智能。

2. 发明申请

WO2018121810A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER OBJEKTOBERFLÄCHE MITTELS EINER BEHANDLUNGSLÖSUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2018121810A2
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：PCT/DE2017/100953
申请日：2017-11-10
申请人： RENA TECHNOLOGIES GMBH
发明人： KÜHNLEIN, Holger , PLETTIG, Martin
IPC分类号： C25B1/26 , C25B9/06 , C25B9/18 , C25B15/02 , C25F3/12 , C25F3/30 , H01L21/02 , H01L21/67 , H01L31/18
CPC分类号： C25B1/26 , C25B9/06 , C25B9/18 , C25B15/02 , C25F3/12 , C25F3/30 , H01L21/306 , H01L21/30604 , H01L21/67017 , H01L21/67086 , H01L21/67173 , H01L31/02363 , H01L31/18 , H01L31/1804 , Y02E10/50
摘要： Verfahren zur Behandlung wenigstens eines Teils einer Objektoberfläche mittels einer Behandlungslösung (12), bei welchem die Behandlungslösung (12) Wasser und eine Quelle für negativ geladene Chlorionen enthält und in der Behandlungslösung (12) mittels Elektrolyse Chlorgas (26) bereitgestellt wird, sowie Vorrichtung zur Behandlung wenigstens eines Teils einer Objektoberfläche aufweisend ein Prozessbecken (10; 60; 80), in welchem eine Behandlungslösung (12) angeordnet ist, in der Behandlungslösung (12) gelöstes Chlorgas, in der Behandlungslösung (12) angeordnete Elektroden (14, 16; 85, 86) unterschiedlicher Polarität und eine mit den Elektroden (14, 16; 85, 86) elektrisch leitend verbundene Stromquelle (18).

3. 发明申请

WO2017056188A1 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び記録媒体审中-公开
标题翻译：基板处理装置，制造半导体器件的方法和记录介质
公开(公告)号：WO2017056188A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/JP2015/077502
申请日：2015-09-29
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：田中　昭典 , 立野　秀人 , 堀井　貞義
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/02 , H01L21/316
CPC分类号： H01L21/02271 , C23C16/4412 , H01J37/32449 , H01L21/02 , H01L21/02164 , H01L21/0262 , H01L21/31 , H01L21/67017
摘要：基板を収容する処理室と、処理室内へ処理ガスを供給する処理ガス供給配管と、処理室内の雰囲気を排気する排気配管と、処理ガス供給配管内の処理ガスに含まれる反応ガスの濃度を検知する第１のガス濃度センサと、排気配管内の排気ガス中に含まれる反応ガスの濃度を検知する第２のガス濃度センサと、を備える基板処理装置を提供する。これにより、基板処理において、処理室内の反応ガスと基板との反応状況を取得し、監視、記録等することを可能とする。
摘要翻译：本发明提供一种基板处理装置，其具备：存储基板的处理室; 处理气体供给管，其用于向处理室的内部供给处理气体; 排气管，其从处理室的内部释放气体; 第一气体浓度传感器，其检测处理气体供给管内的处理气体中所含的反应气体的浓度; 以及第二气体浓度传感器，其检测排气管中排气中包含的反应气体的浓度。因此，可以在基板处理期间进行处理室中的反应气体和基板之间的反应状态的采集，监视，记录等。

4. 发明申请

WO2017031257A2 FLUID CONTROL SYSTEM 审中-公开
标题翻译：流体控制系统
公开(公告)号：WO2017031257A2
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：PCT/US2016/047441
申请日：2016-08-17
申请人： ICHOR SYSTEMS, INC.
发明人： BARROS, Philip, Ryan , MULLIGAN, Greg, Patrick , MELCER, Chris , PENG, Hong
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/67017
摘要： An improved fluid delivery system and method that directly controls the concentration of constituent components in a fluid mixture delivered, for example, to a process chamber. Pressure of the fluid mixture can also be directly controlled. A concentration sensor capable of measuring concentration of all of the constituent components in a fluid mixture is used to provide signals used to vary the flow rate of constituent gases under a closed loop feedback system. The signal output of one or more pressure sensors can also be used to provide a signal used to vary the flow rate of constituent gases under a closed loop feedback system. By directly controlling these two extremely important process variables, embodiments of the present invention provide a significant advantage in measurement accuracy over the prior art, enable real-time process control, reduce system level response time, and allow for a system with a significant footprint reduction.
摘要翻译：一种改进的流体递送系统和方法，其直接控制例如输送到处理室的流体混合物中的组成成分的浓度。流体混合物的压力也可以直接控制。使用能够测量流体混合物中所有构成成分的浓度的浓度传感器来提供用于在闭环反馈系统下改变组成气体流速的信号。一个或多个压力传感器的信号输出也可用于提供用于改变闭环反馈系统下的组成气体流速的信号。通过直接控制这两个非常重要的过程变量，本发明的实施例提供了相对于现有技术的测量精度的显着优点，实现了实时过程控制，降低了系统级响应时间，并且允许具有显着占地面积减小的系统。

5. 发明申请

WO2016205191A1 FLOW MODIFICATION FIXTURE FOR AN EQUIPMENT FRONT END MODULE 审中-公开
标题翻译：设备前端模块的流量修正装置
公开(公告)号：WO2016205191A1
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：PCT/US2016/037363
申请日：2016-06-14
申请人： ENTEGRIS, INC.
发明人： KIM, Seong Chan , SCHELSKE, Gregory Alan
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67393 , G05D7/0186 , H01L21/67017 , H01L21/67772
摘要： An equipment front end module. An equipment front end module (EFEM) includes a flow modification feature projecting away from an interior wall of the equipment front end module and extending into an interior of the equipment front end module (EFEM) at an angle. The flow modification feature modifies the flow of gas flowing from a top to a bottom of the EFEM by deflecting gas flow away and/or laminarizing gas flow across an opening of the EFEM, which may improve the purge performance of a wafer carrier docked at the EFEM.
摘要翻译：设备前端模块设备前端模块（EFEM）包括从设备前端模块的内壁突出并且以一定角度延伸到设备前端模块（EFEM）的内部的流动改变特征。流动修改特征通过使气体流离开和/或跨过EFEM的开口使气流层流化，从而改变从EFEM的顶部流到底部的气体流，这可以提高对接在该EFEM的晶片载体的清洗性能。 EFEM。

6. 发明申请

WO2016137170A1 다중 가스 제공 방법 및 다중 가스 제공 장치 审中-公开
标题翻译：多种气体提供方法和多种气体提供装置
公开(公告)号：WO2016137170A1
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：PCT/KR2016/001686
申请日：2016-02-19
申请人： 주식회사 유진테크
发明人： 현준진 , 조주현 , 강철구 , 김용기 , 민정기
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67253 , G05D7/0652 , G05D7/0664 , H01L21/02 , H01L21/67017
摘要： 본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 방법은, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고, 상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되, 상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감한다.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，多气体提供方法分别向从主供应线分支出的多个分支管线提供控制阀和流量计，至少一种类型的气体被供应到主分支管线，以便提供气体，并且通过控制分别连接到流量计和控制阀的控制器供应的气体的量来提供气体，其中控制器具有第一控制方法，用于基于流量的比例控制各个控制阀，通过流量计测量到相对于每个分支线的部分需求，当测量流量与部分需求的比率不在预设范围内时，第一控制方法控制控制阀的开度，并且根据测量流量与部分需求之间的差异，控制阀的开度控制单位增减。

7. 发明申请

WO2016088798A1 シリンジを用いた処理液供給装置およびウェット処理装置审中-公开
标题翻译：使用注射器和湿处理装置处理液体供应装置
公开(公告)号：WO2016088798A1
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：PCT/JP2015/083868
申请日：2015-12-02
申请人：国立研究開発法人産業技術総合研究所
发明人：原　史朗 , クンプアン　ソマワン , 小林　明雄 , 海野　剛史 , 松田　苑子
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/027 , H01L21/306
CPC分类号： B08B3/08 , B08B3/04 , B08B3/12 , H01L21/027 , H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/67017 , H01L21/67023 , H01L21/67051 , H01L21/6708
摘要：　ハーフインチサイズのきわめて小さいウェハへの薬液供給方式として、非常に少ない量の薬液を正確に供給できる薬液供給装置およびウェット処理装置を提供する。　本発明は、薬液Ｌを吸入および吐出するシリンジ４５と、薬液Ｌを充填した薬液ボトル４２と、一端を薬液ボトル４２に接続し他端をシリンジ４５に接続し薬液ボトル４２内の薬液Ｌをシリンジ４５へ吸入させる吸入用ホース４４と、一端を吸入用ホース４４の中間部に接続しシリンジ４５が吐出した薬液ＬをウェハＷの表面へ供給するための供給用ホース４８と、吸入用および供給用ホース４４，４８それぞれの開閉を制御する三方電磁弁４９とを具備した構成である。
摘要翻译：本发明提供作为向极小的半英寸尺寸的晶片供给化学溶液的方法，能够精确地供给极少量的化学溶液的化学溶液供给装置和湿式处理装置。本发明的目的在于提供：吸入和排出化学溶液L的注射器45; 填充有化学溶液L的化学溶液瓶42; 进气软管44，其一端连接到化学溶液瓶42，另一端连接到注射器45，并使化学溶液瓶42中的化学溶液L被吸入注射器45; 供给软管48，其一端连接到进气软管44的中间部分，并用于向晶片W的表面供给由注射器45排出的化学溶液L; 以及控制进气供给软管44,48的打开和关闭的三通电磁阀49。

8. 发明申请

WO2016051559A1 成膜装置审中-公开
标题翻译：电影制作装置
公开(公告)号：WO2016051559A1
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：PCT/JP2014/076310
申请日：2014-10-01
申请人：東芝三菱電機産業システム株式会社
发明人：白幡　孝洋 , 織田　容征
IPC分类号： B05B1/04 , B05B17/06
CPC分类号： B05C5/0279 , B05B7/0012 , B05B17/06 , B05C5/0254 , B05C9/06 , B05C9/14 , C03C17/001 , C23C16/4486 , C23C16/45514 , C23C16/45517 , C23C16/45563 , H01L21/31 , H01L21/67017
摘要：　本発明は、目詰まりの発生を防止することができる、ミスト噴射用のノズルを有する成膜装置を提供する。本発明に係る成膜装置は、原料溶液を噴射するミスト噴射ヘッド部（１００）を備えている。ミスト噴射ヘッド部（１００）は、原料溶液噴射用ノズル部（Ｎ１）と、ミスト化された原料溶液を噴出する原料溶液噴出部（７）とを、有しており、原料溶液噴射用ノズル部（Ｎ１）は、空洞部（２，３）と、当該空洞部（２，３）の底面より離れた位置において、当該空洞部（２，３）内の側面に穿設されており、原料溶液噴出部（７）と接続されている原料溶液排出部（５）とを、有している。
摘要翻译：本发明提供了一种具有用于喷雾的喷嘴的成膜装置，从而可以防止堵塞。本发明的成膜装置设有用于喷射原料溶液的喷雾头部（100）。雾喷头部100具有原料溶液喷射部N1和原料溶液喷出部7，原料溶液喷射部N1具有空腔2,3。在与所述空腔（2,3）的底面分离的位置，在所述空腔（2,3）内的侧面中钻出的原料溶液排出部（5），所述原料溶液排出部（5）与原料溶液喷出部（7）。

9. 发明申请

WO2016028333A1 CONSUMABLE INTERFACE PLATE FOR TOOL INSTALL 审中-公开
标题翻译：用于工具安装的消费接口板
公开(公告)号：WO2016028333A1
公开(公告)日：2016-02-25
申请号：PCT/US2014/071721
申请日：2014-12-19
申请人： INTEL CORPORATION
发明人： BATH, Roopinderjit
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： F16L5/00 , H01L21/67017 , H01L21/6719
摘要： An apparatus including an interface operable to be connected to a pedestal or a raised floor for an integrated circuit tool, the interface containing a plurality of openings for utility connections on an input side and on an output side of the interface. An apparatus including an interface operable to be connected to a pedestal or a raised floor and containing a plurality of openings for utility connections on an input side and on an output side of the interface; connectors connected through respective openings in the interface, the connectors operable for connection to a respective utility; and a tool coupled to respective ones of the connectors. A method including coupling one or more utilities from a source to an input side of an interface coupled to a pedestal; and coupling a tool to the one or more utilities at an output side of the interface.
摘要翻译：一种包括可操作以连接到用于集成电路工具的基座或高架地板的接口的接口，所述接口包含用于在接口的输入侧和输出侧上的公用连接的多个开口。一种装置，包括可操作地连接到基座或高架地板并且在接口的输入侧和输出侧上容纳用于公用连接的多个开口的接口; 连接器通过接口中的相应开口连接，所述连接器可操作以连接到相应的公用设施; 以及耦合到相应的连接器的工具。一种方法，包括将来自源的一个或多个实用程序耦合到耦合到基座的接口的输入侧; 以及将工具耦合到所述界面的输出侧的所述一个或多个实用程序。

10. 发明申请

WO2014193867A1 ALUMINIUM DOPANT COMPOSITIONS, SUB-ATMOSPHERIC STORAGE AND DELIVERY PACKAGE CONTAINING SUCH COMPOSITIONS, AND METHOD OF STORING AND DELIVERING SUCH COMPOSITIONS 审中-公开
标题翻译：含铝组合物，含有这种组合物的亚大气储存和输送包装，以及储存和递送这些组合物的方法
公开(公告)号：WO2014193867A1
公开(公告)日：2014-12-04
申请号：PCT/US2014/039641
申请日：2014-05-28
申请人： PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人： SINHA, Ashwini, K. , BROWN, Lloyd, A.
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/317
CPC分类号： H01L21/265 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/006 , H01L21/67017 , Y10T137/86348 , Y10T137/88054
摘要： A method and system for using aluminum dopant compositions is provided. A composition of the aluminum dopant compositions is selected, represented by the formula AlxRyLz, where R is a methyl group, L is CI, F, I or Br, and x is either 1 or 2, whereby if x = 1, then Y = 1 or 2, and if x = 2 then y = 2x - 4, and z = 3x-y for x =1 or 2. The composition has sufficient vapor pressure and minimal carbon content, thereby enabling ease of delivery to an ion implant process and substantial reduction of carbon deposition during Al ion implantation. The source material is preferably stored and delivered from a sub-atmospheric storage and delivery device to enhance safety and reliability during the Al ion implantation process.
摘要翻译：提供了一种使用铝掺杂剂组合物的方法和系统。选择铝掺杂剂组合物的组成，由式Al x R y L z表示，其中R是甲基，L是Cl，F，I或Br，x是1或2，其中如果x = 1，那么Y = 1或2，如果x = 2，那么y = 2x-4，z = 3x-y，x = 1或2.组合物具有足够的蒸气压和最小的碳含量，从而使得易于输送到离子注入过程并且在Al离子注入期间显着减少碳沉积。源材料优选地从次大气压储存和输送装置储存和递送，以在Al离子注入工艺期间提高安全性和可靠性。

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