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1. 发明申请

WO2014083151A1 STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION EN PARTICULES D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS 审中-公开
标题翻译：用于测量输送室和大气储存半导体基板的运输室的颗粒污染的站和方法
公开(公告)号：WO2014083151A1
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：PCT/EP2013/075075
申请日：2013-11-29
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： THOVEX, Cindy , BOUNOUAR, Julien , FAVRE, Arnaud
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： G01N15/10 , G01N2015/1062 , H01L21/67389
摘要： L'invention concerne une station de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, ladite enceinte de transport comprenant une enveloppe rigide (2) munie d'une ouverture et une porte (3) amovible permettant d'obturer l'ouverture, la station de mesure comportant : - une chambre à environnement contrôlé (4) comportant au moins un port de chargement (8) susceptible de s'accoupler d'une part à l'enveloppe rigide (2) et d'autre part à la porte (3) de l'enceinte de transport, pour déplacer la porte (3) dans la chambre à environnement contrôlé (4) et mettre l'intérieur de l'enveloppe rigide (2) en communication avec l'intérieur de la chambre à environnement contrôlé (4), - un module de mesure (5) comportant une unité de mesure des particules (14) et une interface de mesure enveloppe (16) configurée pour s'accoupler à l'enveloppe rigide (2) d'enceinte de transport accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4) à la place de la porte (3), caractérisée en ce que ladite interface de mesure enveloppe (16) comporte une tête de mesure faisant saillie d'une base de l'interface de mesure enveloppe portant un premier orifice de prélèvement (12) raccordé à l'unité de mesure des particules (14) et au moins deux buses d'injection (20) configurées pour diriger un jet de gaz sur au moins deux endroits distincts de l'enveloppe rigide (2) accouplée à la chambre à environnement contrôlé (4), les orientations respectives des buses d'injection (20) étant fixes par rapport à l'enveloppe rigide (2) accouplée. L'invention concerne également un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量用于输送和大气存储半导体衬底的传送室的颗粒污染的站，所述传送室包括设置有开口的刚性外壳（2）和使开口闭合的可拆卸门（3）。测量站包括：具有受控环境的室（4），包括适于联接到刚性外壳（2）的至少一个装载端口（8）并且还连接到传送室的门（3），例如将门（3）移动到具有受控环境的室（4）中，并将刚性外壳（2）的内部与具有受控环境的室（4）的内部连通; 以及包括用于测量所述颗粒的单元（14）的测量模块（5）以及被配置为联接到耦合到所述室（4）的所述刚性外壳（2）传送室的外壳测量接口（16）控制环境，而不是门（3）。所述测量站的特征在于，所述外壳测量接口（16）包括从外壳测量接口的底部突出的测量头，具有连接到所述单元（14）的第一采样开口（12），用于测量所述颗粒，以及至少两个注射喷嘴（20），其构造成将气流引导到具有受控环境的连接到所述腔室（4）的刚性外壳（2）的至少两个分开的位置。注射喷嘴（20）的相应取向相对于联接的刚性外壳（2）是静止的。本发明还涉及一种用于测量用于输送和大气存储半导体衬底的传送室的颗粒污染物的方法。

2. 发明申请

WO2014016308A4 PROCEDE ET INSTALLATION DE DETECTION POUR LE CONTROLE D'ETANCHEITE DE PRODUITS SCELLES 审中-公开
标题翻译：检测密封产品的方法和设备
公开(公告)号：WO2014016308A4
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：PCT/EP2013/065541
申请日：2013-07-23
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： BOUNOUAR, Julien , PALISSON, Julien , BUNOD, Philippe , RIOUFRAYS, Sylvain , HADJ-RABAH, Smail
IPC分类号： G01M3/22 , G01M3/38
摘要： L'invention concerne un procédé de détection pour le contrôle d'étanchéité d'emballages de produits scellés caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: on place au moins un produit qui a été scellé (2) au préalable sous atmosphère d'air, d'azote ou d'oxygène, dans une enceinte (3) (étape 101), on abaisse la pression dans l'enceinte (3) à une pression de vide secondaire inférieure à 10 -1 mbar et, tout en poursuivant le pompage sous vide secondaire dans l'enceinte (3), on ionise les gaz contenus dans l'enceinte pour surveiller l'évolution dans l'enceinte (3) de la concentration d'au moins une espèce gazeuse du volume gazeux contenu dans le produit scellé (2) parmi l'azote, l'oxygène ou l'argon, par analyse par spectrométrie d'émission optique ou de masse (étape 102).
摘要翻译：
本发明涉及一种方法检测控制气密性和相关性; 密封产品包装字符eac ris ris＆＆＆＆＆＆d'd'd' 其中包括以下步骤：放置至少一个已被移除的产品; 密封＆eacute; （2）预先在空气，氮气或氧气的气氛中，在外壳（3）中（步骤101），外壳（3）中的压力降低 ; 较低的二次真空压力> 10 -1毫巴，并且在室（3）中继续进行二次真空泵送时，室中所含的气体被离子化以监测室中的演变（ 3）密封产品中所含气态体积的至少一种气态物质的浓度; （2）通过光学或质谱分析（102）从氮气，氧气或氩气中分离出来（102）

3. 发明申请

WO2014016308A1 DETECTION METHOD AND FACILITY FOR CHECKING SEALED PRODUCTS FOR LEAKS 审中-公开
标题翻译：检测密封产品泄漏的检测方法和设施
公开(公告)号：WO2014016308A1
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：PCT/EP2013065541
申请日：2013-07-23
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： BOUNOUAR JULIEN , PALISSON JULIEN , BUNOD PHILIPPE , RIOUFRAYS SYLVAIN , HADJ-RABAH SMAIL
IPC分类号： G01M3/22 , G01M3/38
CPC分类号： G01M3/223 , G01J3/443 , G01M3/202 , G01M3/229 , G01M3/38
摘要： The invention concerns a detection method for checking sealed product packages for leaks, characterised in that it comprises the following steps: at least one previously sealed product (2) is placed in an air, nitrogen, or oxygen atmosphere, in a chamber (3) (step 101), the pressure in the chamber (3) is lowered to a secondary vacuum pressure below 10-1 mbar and, while continuing the secondary vacuum pumping of the chamber (3), the gases contained in the chamber are ionised to monitor the change in the chamber (3) of the concentration of at least one gaseous species of the gas volume contained within the sealed product (2) chosen from among nitrogen, oxygen, or argon, by analysis by optical emission or mass spectrometry (step 102).
摘要翻译：本发明涉及一种用于检查密封产品包装是否泄漏的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：将至少一个预先密封的产品（2）置于空气，氮气或氧气氛中的腔室（3）中，（步骤101），将腔室（3）中的压力降低至低于10-1毫巴的次级真空压力，并且在继续腔室（3）的二次真空泵送的同时，腔室中所含的气体被离子化以监测通过光学发射或质谱法分析，在室（3）中改变包含在选自氮，氧或氩的密封产物（2）内的气体体积的至少一种气体物质的浓度（步骤102 ）。

4. 发明申请

WO2014012896A3 PROCEDE ET DISPOSITIF DE POMPAGE D'UNE CHAMBRE DE PROCEDES 审中-公开
公开(公告)号：WO2014012896A3
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：PCT/EP2013/064929
申请日：2013-07-15
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： SEIGEOT, Bertrand
IPC分类号： F04C23/00 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C29/00 , F04F1/00 , F04F5/00 , F04C28/02
摘要： La présente invention concerne un dispositif de pompage destiné à être raccordé à une chambre de procédés (2) comportant une pompe à vide primaire sèche (3), un moyen de pompage auxiliaire (4) monté en dérivation d'un clapet anti-retour (13) de la pompe à vide (3), un premier dispositif à vanne (5) raccordé à un moyen de purge (11) de la pompe à vide primaire sèche (3) et destiné à être raccordé à une alimentation en gaz (14), un deuxième dispositif à vanne (6) monté en dérivation du clapet anti-retour (13), en amont du moyen de pompage auxiliaire (4), et un moyen de contrôle configuré pour contrôler le premier et le deuxième dispositifs à vanne (5, 6) en fonction d'un état de fonctionnement de la chambre de procédés (2) de sorte que le premier dispositif à vanne (5) soit au moins partiellement fermé et le deuxième dispositif à vanne (6) soit ouvert lorsque la chambre de procédés (2) est en fonctionnement de vide limite. La présente invention concerne également un procédé de pompage d'une chambre de procédés (2) au moyen d'un tel dispositif de pompage (1).

5. 发明申请

WO2013057272A1 DISPOSITIF DE POMPAGE ET DE TRAITEMENT DES GAZ 审中-公开
标题翻译：气体泵送和处理装置
公开(公告)号：WO2013057272A1
公开(公告)日：2013-04-25
申请号：PCT/EP2012/070795
申请日：2012-10-19
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS , PALISSON, Julien , FAVRE, Arnaud
发明人： PALISSON, Julien , FAVRE, Arnaud
IPC分类号： F04B37/02 , F04B37/14 , B01D53/32 , B01D53/68 , B01D53/70 , F04C25/02 , F04D19/04
CPC分类号： F04C19/004 , B01D53/323 , B01D53/68 , B01D2257/204 , B01D2257/2045 , B01D2257/2066 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , F04B37/02 , F04B37/14 , F04C23/003 , F04C2220/10 , Y02C20/30
摘要： L'invention concerne un dispositif de pompage et de traitement des gaz comprenant un stator (5) comportant une pluralité d'étages de pompage (6, 7, 8, 9, 10) raccordés en série les uns à la suite des autres entre une aspiration (11) et un refoulement (12) par les canaux inter-étages (24, 25), caractérisé en ce que le dispositif de pompage et de traitement des gaz comporte : un tube interne (14) et un tube externe (15) borgne, les tubes étant insérés l'un dans l'autre et constitués de matériau céramique, le tube interne (14) étant raccordé au refoulement du logement (19) des rotors d'un étage de pompage (7) et le tube externe (15) étant raccordé au stator et communiquant avec au moins un canal inter-étage ménagé dans le stator, les tubes définissant un trajet pour les gaz pompés (27), et une source de plasma (33) disposée à l'extérieur du stator (5) pour générer un plasma (52) sur le trajet des gaz pompés (27).
摘要翻译：本发明涉及一种气体泵送和处理装置，其包括定子（5），该定子（5）包括多个在进气口（11）和排放口（12）之间逐个连接的泵送级（6,7,8,9,10））通过级间通道（24,25）。该装置的特征在于，气体抽吸和处理装置包括：内管（14）和盲管（15），其内部彼此并排设置并由陶瓷材料形成，内管（14）连接到一个泵送级（7）的转子壳体（19）的排出口，并且外管（15）连接到定子并与形成在定子中的至少一个级间通道连通，所述管限定路径泵送气体（27）; 以及设置在定子（5）外部的等离子体源（33），以在泵送气体（27）的路径中产生等离子体（52）。

6. 发明申请

WO2015001059A1 POMPE À VIDE PRIMAIRE SÈCHE 审中-公开
标题翻译：干燥低真空泵
公开(公告)号：WO2015001059A1
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：PCT/EP2014/064259
申请日：2014-07-03
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： NEEL, Thierry , BRANDOLIN, Serge
IPC分类号： F04F5/20 , F04F5/54 , F04B37/14 , F04C23/00 , F04C25/02 , F04F5/46
CPC分类号： F04F5/20 , F04B37/14 , F04C18/0215 , F04C18/123 , F04C18/126 , F04C25/02 , F04F5/461 , F04F5/465 , F04F5/48 , F04F5/54
摘要： La présente invention concerne une pompe à vide primaire sèche comportant un clapet à passage traversant (10; 15) agencé dans la canalisation de refoulement (9), ledit clapet à passage traversant (10) étant mobile entre une position de fermeture dans laquelle ledit clapet à passage traversant (10; 15) est en contact avec un siège d'une embouchure (12) de la canalisation de refoulement (9) et une position d'ouverture dans laquelle ledit clapet à passage traversant est déplacé à l'écart de l'embouchure (12) de la canalisation de refoulement (9), la pompe à vide comportant un dispositif d'injection de gaz moteur (13) configuré pour injecter un gaz moteur à l'entrée (11a) du passage à effet Venturi (11).
摘要翻译：本发明涉及一种干式低真空泵，其包括具有布置在输送口（9）中的通道（10; 15）的阀元件，所述阀元件具有通道（10），该通道能够在闭合位置其中所述具有通道（10; 15）的所述阀与所述输送口（9）的口部（12）的座接触并且打开位置，在所述打开位置中，所述具有通道的阀门从所述口（9）的输送口（12），所述真空泵包括用于喷射驱动气体的装置（13），该装置构造成将驱动气体注入文丘里效应通道（11）的入口（11a）。

7. 发明申请

WO2014083152A1 STATION ET PROCEDE DE MESURE DE LA CONTAMINATION EN PARTICULES D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHERIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS 审中-公开
标题翻译：用于测量输送室和大气储存半导体基板的运输室的颗粒污染的站和方法
公开(公告)号：WO2014083152A1
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：PCT/EP2013/075076
申请日：2013-11-29
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： THOVEX, Cindy , BELLET, Bertrand , CHAPEL, Nicolas
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： G01N33/0009 , H01L21/673 , H01L21/67389
摘要： La présente invention concerne un procédé de mesure de la contamination en particules d'une enceinte de transport pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs, mis en œuvre dans une station de mesure. Le procédé de mesure comporte : - une étape dans laquelle le module de mesure (5) s'accouple à l'enveloppe rigide (2) en définissant un premier volume de mesure (V1) entre l'interface de mesure enveloppe (16) et l'enveloppe rigide (2) accouplée pour réaliser une mesure de contamination des parois internes de l'enveloppe rigide (2), et - une étape dans laquelle la porte (3) s'accouple au module de mesure (5) en définissant un deuxième volume de mesure (V2) entre ladite face de mesure (22) et la porte (3) en vis-à-vis pour réaliser une mesure de contamination de la porte (3). L'invention concerne également une station de mesure associée.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量用于测量站的用于输送和大气存储半导体衬底的运输室的颗粒污染的方法。测量方法包括：测量模块（5）联接到刚性外壳（2）的步骤，在测量接口外壳（16）和刚性外壳（2）之间限定第一测量空间（V1）为了执行对刚性外壳（2）的内壁的污染的测量，以及门（3）联接到测量模块（5）的步骤，在第二测量空间（V2）之间限定第二测量空间所述测量表面（22）和所述面对门（3），以便对所述门（3）的污染进行测量。本发明还涉及相关的测量站。

8. 发明申请

WO2013098178A1 ADAPTATEUR POUR POMPES A VIDE ET DISPOSITIF DE POMPAGE ASSOCIE 审中-公开
标题翻译：真空泵和相关抽水装置的适配器
公开(公告)号：WO2013098178A1
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：PCT/EP2012/076330
申请日：2012-12-20
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS
发明人： BOURRILHON, Thibaut , MATHES, Rainer , VARENNES, Nicolas
IPC分类号： F04D19/04 , F04D25/16 , F04D29/60
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/046 , F04D25/16 , F04D29/60 , F04D29/601
摘要： L'invention concerne un adaptateur pour pompes à vide caractérisé en ce qu'il comporte une bride annulaire d'entrée (15) destinée à être raccordée à un orifice de sortie d'une enceinte et un raccord de sortie (16) comportant au moins deux logements cylindriques de sortie (21) traversants et formant un corps de pompe au moins partiel pour le carter (4) d'une pompe à vide turbomoléculaire (3) respective, lesdites pompes à vide turbomoléculaires (3) étant destinées à être reçues dans un logement cylindrique de sortie (21) respectif. L'invention concerne également un dispositif de pompage caractérisé en ce qu'il comporte un adaptateur pour pompes à vide (2) tel que décrit précédemment et au moins deux pompes à vide turbomoléculaires (3) logées au moins partiellement dans un logement cylindrique de sortie (21) respectif.
摘要翻译：本发明涉及一种用于真空泵的适配器，其特征在于，它包括一个环形进口凸缘（15），该环形入口凸缘（15）将被连接到腔室的出口孔口，以及一个出口连接件（16），该连接器包括至少两个圆柱形出口通过壳体并且形成用于相应的涡轮分子真空泵（3）的壳体（4）的至少部分泵壳体，所述涡轮分子真空泵（3）旨在容纳在相应的圆柱形出口壳体（21）中。本发明还涉及一种泵送装置，其特征在于，其包括如上所述的用于真空泵（2）的适配器和至少部分容纳在相应的圆柱形出口壳体（21）中的至少两个涡轮分子真空泵（3）。

9. 发明申请

WO2011061429A3 METHOD AND DEVICE FOR PUMPING WITH REDUCED POWER USE 审中-公开
标题翻译：减少电力使用的方法和装置
公开(公告)号：WO2011061429A3
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：PCT/FR2010052305
申请日：2010-10-27
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS , NEEL THIERRY
发明人： NEEL THIERRY
IPC分类号： F04C25/02 , F04F5/54
CPC分类号： F04D19/046 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C2220/12 , F04C2270/02 , F04D15/0254 , F04D15/0281 , F04D19/02 , F04D25/16 , F04D27/004 , F04F5/20 , F04F5/54
摘要： The pumping device comprises: a dry rough vacuum pump provided with a gas inlet opening connected to a vacuum chamber and moreover has a gas outlet opening leading into a pipe; a delivery check valve placed in the pipe at the outlet of the dry rough vacuum pump; and an ejector mounted in parallel relative to the delivery check valve. The pumping method includes the following steps: pumping the gases, contained in the vacuum chamber, by means of the dry rough vacuum pump through the gas inlet opening; connecting the gas outlet opening of the dry rough vacuum pump to an ejector; measuring the electrical power used by the dry rough vacuum pump and the pressure of the gases in the pipe at the outlet of the dry rough vacuum pump; setting in motion the ejector, after a time delay, when the pressure of the gases at the outlet of the dry rough vacuum pump has exceeded a rising edge set value and when the electrical power used by the dry rough vacuum pump exceeds a rising edge set value; stopping the ejector when the electrical power used by the dry rough vacuum pump exceeds a falling edge set value and when the pressure of the gases in the pipe at the outlet of the dry rough vacuum pump exceeds a falling edge set value.
摘要翻译：泵送装置包括：干粗粗真空泵，其具有连接到真空室的气体入口，并具有通向管道的气体出口; 输送止回阀放置在干式粗真空泵出口处的管道中; 以及相对于输送止回阀并联安装的喷射器。泵送方法包括以下步骤：通过干式粗真空泵通过进气口泵送包含在真空室中的气体; 将干式粗真空泵的气体出口连接到喷射器; 测量干粗粗真空泵使用的电力和干粗粗真空泵出口处管道中的气体压力; 在干燥的粗真空泵的出口处的气体的压力超过上升沿设定值之后，当干燥粗真空泵使用的电力超过上升沿设定时，延迟喷射器的运动设定值; 当干式粗真空泵使用的电力超过下降边缘设定值时，当干式粗真空泵出口处的管道中的气体压力超过下降沿设定值时，停止喷射器。

10. 发明申请

WO2012032059A1 METHOD AND DEVICE FOR THE DEPOLLUTION OF A PELLICULATED RETICLE 审中-公开
标题翻译：用于溶剂化物溶液的方法和装置
公开(公告)号：WO2012032059A1
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：PCT/EP2011/065408
申请日：2011-09-06
申请人： ADIXEN VACUUM PRODUCTS , FAVRE, Arnaud , HADJ RABAH, Smail , BOUNOUAR, Julien
发明人： FAVRE, Arnaud , HADJ RABAH, Smail , BOUNOUAR, Julien
IPC分类号： G03F1/64 , G03F7/20 , G03F1/00
CPC分类号： B08B5/00 , G03F1/64 , G03F1/82 , G03F7/70983
摘要： The object of the present invention is a device for depolluting a non-sealed, confined environment (1) having a natural leakage (6) and including an interior space (9) bounded by a wall (7), comprising a depollution enclosure (11, 30) means (32, 42) for pumping gas and means (33, 43) for introducing gas. The depollution enclosure (11, 30) has at least two chambers (12, 13; 31, 41) separated by a sealing wall (14, 49). A first chamber (12, 31) is constituted by the part of the enclosure that is situated in contact with the wall (7) of the non-sealed, confined environment (1) and cooperates with first means for pumping (42) and first means for introducing gas (43), and a second chamber (13, 41) is constituted by the part of the enclosure which is situated in contact with the natural leakage (6) from the non- sealed, confined environment (1) and cooperates with second means for pumping (42) and second means for introducing gas (43). The first and second means for pumping gas (32) and (42) have a pumping capacity which can vary independently, and the first and second means for introducing gas (33) and (43) having a gas injection flow rate which can vary independently. The device for depolluting also has means to control the difference in pressure between the interior space (9) and the first chamber (12, 31).
摘要翻译：本发明的目的是一种用于对具有自然泄漏（6）并包括由壁（7）限定的内部空间（9））的非密封的密封环境（1）进行污染的装置，包括一个去污的外壳（11），30）用于泵送气体的装置（32,42）和用于引入气体的装置（33,43）。污染污物外壳（11,30）具有由密封壁（14,49）分开的至少两个腔室（12,13; 31,41）。第一室（12,31）由外壳的与非密封的有限环境（1）的壁（7）接触的部分构成，并与第一装置（42）和第一室用于引入气体（43）的装置，并且第二室（13,41）由与非密封的有限环境（1）中的与自然泄漏（6）接触的外壳的一部分构成，具有用于泵送的第二装置（42）和用于引入气体（43）的第二装置。用于泵送气体（32）和（42）的第一和第二装置具有可以独立变化的泵送能力，并且用于引入气体（33）和（43）的第一和第二装置具有可独立变化的气体注入流量。用于去污化的装置还具有控制内部空间（9）和第一室（12,31）之间的压力差的装置。

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