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1. 发明申请

WO2023087560A1 一种硅片上下料系统审中-公开
公开(公告)号：WO2023087560A1
公开(公告)日：2023-05-25
申请号：PCT/CN2022/076630
申请日：2022-02-17
申请人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
发明人：林佳继 , 周欢 , 时祥
IPC分类号： H01L21/677 , H01L31/18
摘要：本发明公开了一种硅片上下料系统,包括导片机装置、硅片翻转装置和搬运装置，导片机装置控制硅片流转至硅片翻转装置，并控制花篮的内部流转，硅片翻转装置控制对硅片的吸取、翻转以及分合，搬运装置控制硅片在主机与硅片翻转装置间的流转，本发明采用传感器对花篮满缺料状态进行检测，实现了对硅片数量的精细控制，本发明采用对射传感器对花篮内硅片余量进行检测，同时采用朝向传感器对花篮朝向进行检测，防止花篮输送时发生反放错误，提高设备的自动化控制程度，本发明实现了硅片由导片机装置到主机的上料流程以及由主机到导片机装置的下料流程，实现了硅片循环往复的上下料过程。

2. 发明申请

WO2023084940A1 天井搬送車审中-公开
公开(公告)号：WO2023084940A1
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：PCT/JP2022/036749
申请日：2022-09-30
申请人：村田機械株式会社
发明人：小林　誠 , 青本　和也
IPC分类号： B65G1/04 , B61B3/02 , B61B13/00 , B65G49/07 , H01L21/677
摘要：天井搬送車は、走行レールに沿って走行する走行部と、走行部に設けられた昇降部と、昇降部によって昇降させられ、物品を把持するグリッパユニットと、グリッパユニットに設けられた加速度計と、グリッパユニットの昇降動作状態を認識し、当該昇降動作状態と加速度計の検出結果とに基づいて、グリッパユニットにおける異常の有無を判別する制御装置と、を備える。

3. 发明申请

WO2023074971A1 직접구동 모터 기반의 웨이퍼 이송 로봇 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2023074971A1
公开(公告)日：2023-05-04
申请号：PCT/KR2021/015512
申请日：2021-11-01
申请人： 주식회사 라온테크
发明人： 오진호 , 최상찬 , 이정원
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687 , B25J11/00 , B25J15/00 , B25J9/12
摘要： 본 발명은 직접구동 모터 기반의 웨이퍼 이송 로봇 장치에 관한 것으로, 인-챔버 웨이퍼 이송 로봇은 제1 및 제2 핸드암들(hand arms)의 일단들을 통해 일면에서 웨어퍼를 로딩할 수 있는 핸드 및 상기 핸드와 결합되어 상기 웨이퍼를 이송하는 핸드암(hand arm)을 포함하는 핸드 모듈; 일단이 상기 핸드암과 결합된 중심축, 상기 중심축의 바깥 둘레를 따라 결합된 회전모터부재, 상기 회전모터부재의 바깥 둘레에 고정된 고정모터부재 및 상기 회전모터부재와 상기 고정모터부재 사이에 배치되어 그 내부를 진공으로 격리시키는 원통형 진공차단박막을 포함하고, 상기 회전모터부재를 통해 상기 핸드 모듈에 동력을 제공하는 R축 모듈; 일단은 상기 R축 모듈을 결합하는 커넥팅 인클로징 모듈; 및 상기 커넥팅 인클로징 모듈의 다른 일단에 상기 커넥팅 인클로징 모듈을 회전 가능하게 결합한 중심 회전축, 상기 중심 회전축의 외부를 감싼 자성유체씰 및 상기 중심 회전축의 하부 바깥 둘레를 따라 배치되어 상기 중심 회전축에 회전력을 제공하는 모터를 포함하는 T축 모듈을 포함한다.

4. 发明申请

WO2023068384A1 마이크로 엘이디 디스플레이 제조 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2023068384A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2021/014445
申请日：2021-10-18
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 노정훈 , 정임덕 , 최봉운
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L25/075
摘要： 본 실시예는 챔버 내에 수용된 칩 트레이; 복수의 엘이디칩이 수용되는 칩 배스; 엘이디칩을 자력에 의해 흡착/분리하는 마그넷 헤드 및; 마그넷 헤드를 칩 배스의 제1위치와 칩 트레이의 제2위치로 이송하는 헤드 이송기구을 포함하고, 마그넷 헤드는, 마그넷이 수용된 마그넷 하우징와, 마그넷 하우징을 승강시키는 승강부재와, 승강부재를 승강시키는 구동원 및 엘이디칩이 흡착, 분리되는 글래스를 포함한다.

5. 发明申请

WO2023068383A1 조립 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2023068383A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2021/014444
申请日：2021-10-18
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 노정훈 , 정임덕 , 최봉운
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L25/075
摘要： 조립 장치는 메인 프레임; 메인 프레임에 배치되어 패널에 반도체 발광 소자를 자력 조립하는 마그넷 헤드; 및 메인 프레임에 배치되어 마그넷 헤드의 진동을 상쇄하는 방진기를 포함하고, 마그넷 헤드는 반도체 발광 소자에 인력을 작용하는 마그넷을 포함하는 마그넷 플레이트 어셈블리를 포함하고, 방진기는 마그넷 플레이트 어셈블리 위에 위치하는 무게추를 포함하며, 마그넷 헤드에서 발생된 진동이 메인 프레임으로 전달되는 것을 최소화할 수 있다.

6. 发明申请

WO2023058285A1 情報処理装置、推論装置、機械学習装置、情報処理方法、推論方法、及び、機械学習方法审中-公开
公开(公告)号：WO2023058285A1
公开(公告)日：2023-04-13
申请号：PCT/JP2022/027180
申请日：2022-07-11
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：村田　誠治
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/005 , B24B49/12 , H01L21/02 , H01L21/677
摘要：情報処理装置（５）は、基板に割れが発生したときの割れ状態を示す割れ状態情報、及び、当該基板に対して基板処理工程が行われたときの研磨ユニットの状態を示す装置状態情報を含む割れ発生状態情報を取得する情報取得部（５００）と、割れ発生状態情報と、基板処理工程に含まれる各工程のうち基板の割れの発生原因となる工程を示す割れ発生工程情報との相関関係を機械学習により学習させた学習モデル（１１）に、基板の割れの発生に応じて情報取得部（５００）により取得された割れ発生状態情報を入力することで、当該基板の割れの発生原因となる工程を特定する割れ発生工程特定部（５０１）とを備える。

7. 发明申请

WO2023047682A1 研磨装置、基板処理装置および研磨方法审中-公开
公开(公告)号：WO2023047682A1
公开(公告)日：2023-03-30
申请号：PCT/JP2022/018164
申请日：2022-04-19
申请人：株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス
发明人：石井　弘晃 , 石井　淳一
IPC分类号： B24B49/14 , B24B7/04 , B24B41/06 , B24B49/16 , H01L21/304 , H01L21/677
摘要：本発明は、研磨装置、基板処理装置および研磨方法に関する。研磨装置は、研磨ユニット２２を備える。研磨ユニット２２は、基板Ｗを水平姿勢に保持した状態で基板Ｗを回転させる保持回転部３５と、基板Ｗを加熱するホットプレート４５と、砥粒が分散された樹脂体を含む研磨具９６であって、加熱されつつ回転する基板Ｗの裏面に接触して、化学機械研削方式により基板Ｗの裏面を研磨する研磨具９６と、を備えている。

8. 发明申请

WO2023045131A1 一种具有分选功能的晶圆片除静电装置审中-公开
公开(公告)号：WO2023045131A1
公开(公告)日：2023-03-30
申请号：PCT/CN2021/139136
申请日：2021-12-17
申请人：江苏亚电科技有限公司
发明人：钱诚 , 李刚 , 吴清
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/66 , H05F3/04
摘要：本申请公开了一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，包括框架，所述框架一侧内壁设置有下料机构，所述下料机构包括支撑架、支撑滑轨、电机一、丝杆一、升降块、晶圆盒，所述框架内壁上连接有两个所述支撑架，所述支撑架顶部连接有所述支撑滑轨，所述支撑滑轨内设置有所述丝杆一，所述丝杆一上套设有所述升降块，所述升降块之间连接有所述晶圆盒。本发明设置有推料机构，并通过驱动机构使得推料机构能够循环进行推料操作，实现自动上料，通过接料机构将晶圆片送至除静电机构内，自动进行除静电，然后由分选机构检测晶圆片是否合格，不合格的晶圆片将重新进行除静电，无需人工操作，大大节省人力劳动，提高效率。

9. 发明申请

WO2023039094A1 METHODS AND MECHANISMS FOR COUPLING SENSORS TO TRANSFER CHAMBER ROBOT 审中-公开
公开(公告)号：WO2023039094A1
公开(公告)日：2023-03-16
申请号：PCT/US2022/042945
申请日：2022-09-08
申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
发明人： CRIMINALE, Phillip , MYLES, Andrew , ZHANG, Chunlei , SHAH, Vivek B. , UMMETHALA, Upendra
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/66
摘要： An electronic device manufacturing system includes a transfer chamber, a tool station situated within the transfer chamber, a process chamber coupled to the transfer chamber, and a transfer chamber robot. The transfer chamber robot is configured to transfer substrates to and from the process chamber. The transfer chamber robot is further configured to be coupled to a sensor tool comprising one or more sensors configured to take measurements inside the process chamber. The sensor tool is retrievable from the tool station by an end effector of the transfer chamber robot.

10. 发明申请

WO2023039054A1 RETICLE POD HAVING LATCH INCLUDING RAMPED SURFACE 审中-公开
公开(公告)号：WO2023039054A1
公开(公告)日：2023-03-16
申请号：PCT/US2022/042891
申请日：2022-09-08
申请人： ENTEGRIS, INC.
发明人： RASCHKE, Russ V. , ELWELL, Caleb , REBER, Matthew
IPC分类号： G03F1/66 , G03F7/20 , H01L21/673 , H01L21/677
摘要： Reticle pods include interfacing surfaces to secure segments of the reticle pod to one another. At least one of the interfacing surfaces is a ramped surface, such that when the reticle pods are secured to one another, the reticle is clamped between reticle contacts provided on the segments of the reticle pod. When the reticle pod is assembled and contains a reticle, a purge gas flow passage can be formed in the reticle pod. The height of the reticle contacts and the thickness of the reticle can be such that the reticle pod segments are spaced apart from one another by a gap, with the gap providing the purge gas flow passage. The reticle pod can be a stocker pod for the transportation and storage of reticles.

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