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1. 发明申请

WO2006123447A1 電子ビーム露光装置审中-公开
标题翻译：电子束曝光装置
公开(公告)号：WO2006123447A1
公开(公告)日：2006-11-23
申请号：PCT/JP2005/021299
申请日：2005-11-18
申请人：国立大学法人京都大学 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
发明人：木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/305 , H01J43/24
CPC分类号： H01J37/3175 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/073 , H01J37/3174 , H01J2237/06333 , H01J2237/06358 , H01J2237/31779 , H01J2237/31794
摘要：　本発明の電子ビーム露光装置は、二次元の光パターン（１３）を発生するためのプロジェクター（８）と、入射された光パターン（１３）に基づく電子ビームアレイを生成し、その電子ビームアレイを増幅し、増幅電子ビームアレイ（１４）として出射するためのマイクロチャネルプレート（１１）と、増幅電子ビームアレイ（１４）を集束するための電子ビームレンズ部（１２）とを有する。上記電子ビーム露光装置は、電子ビームによる露光によって、より微細加工されて性能が向上した半導体素子を製造できる。また、上記電子ビーム露光装置は、上記露光を二次元パターンによる一括露光できるから、上記製造を低コスト化できる。
摘要翻译：电子束曝光装置具有用于产生二维光图案（13）的投影仪（8）。用于产生基于所述入射光图案（13）并放大所述电子束阵列以发射所得放大电子束阵列（14）的电子束阵列的微通道板（11）。用于聚焦放大的电子束阵列（14）的电子束透镜部分（12）。电子束曝光装置可以通过使用电子束的曝光来制造更精细加工以提高性能的半导体元件。此外，电子束曝光装置可以降低生产成本，因为可以通过二维图案统一地进行曝光。

2. 发明申请

WO2008123432A1 測定により場を取得する装置および方法审中-公开
标题翻译：通过测量获取场地的装置和方法
公开(公告)号：WO2008123432A1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/JP2008/056137
申请日：2008-03-28
申请人：国立大学法人京都大学 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美 , 堀内喬 , 佐藤宣夫 , 中井章文
发明人：木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美 , 堀内喬 , 佐藤宣夫 , 中井章文
IPC分类号： G01N13/10 , G01N13/22 , G01N27/90 , G01R29/12 , G01R33/02
CPC分类号： G01R33/10 , G01Q30/04 , G01Q60/50 , G01R33/0206 , G01R33/0385
摘要：　磁区を有する試料（９）の上方において、ＭＦＭを用いて測定面（９１）での磁気力の分布が磁気力画像として取得され、測定面（９１）から微小距離ｄだけ離れた測定面（９２）にて測定を行って補助磁気力画像が取得され、これらの差分を微小距離ｄで除算して磁気力勾配画像が取得される。磁気力画像および補助磁気力画像はフーリエ変換されてラプラス方程式の一般解から導かれる３次元場取得式に代入され、磁気力を示す３次元場が高精度に取得される。３次元場の取得により、試料（９）の表面９３における磁区の様子も高精度に得ることができる。３次元場取得式を利用する３次元場取得方法は、ラプラス方程式を満たす磁位、電位、温度、重力ポテンシャル等の様々な場に利用することができる。また、３次元場の取得は高次のｎ次元場の取得に拡張することができる。
摘要翻译：通过使用MFM，获得测量平面（91）上的磁力分布作为具有磁畴的样品（9）上方的磁力图像。在距离测量平面（91）的测量平面（92）上执行小距离d的测量，以获得辅助磁力图像。将它们之间的差除以小的距离d，以获得磁力梯度图像。对磁力图像和辅助磁力图像进行傅里叶变换，并将其代入由拉普拉斯表达式的一般解导出的三次场获取表达式。因此，可以以高精度获得表示磁力的三次磁场。通过获取第三场，也可以高精度地获得样品（9）的表面（93）上的磁畴的状态。使用第三场获取表达式的三次场获取方法可以应用于满足诸如磁性位置，电位，温度和重力的拉普拉斯表达式的各种场。此外，三次场采集可以扩展到获取较高的n维场。

3. 发明申请

WO2009020208A1 動径多極子型配置レンズ及びそれを用いた荷電粒子光学系装置审中-公开
标题翻译：径向多孔型布置镜头和使用镜头的充电颗粒光学系统设备
公开(公告)号：WO2009020208A1
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：PCT/JP2008/064319
申请日：2008-08-08
申请人：国立大学法人京都大学 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
发明人：木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/12 , H01J37/3056 , H01J2237/1215 , H01J2237/1534
摘要：　凹レンズ及び凸レンズ機能を有する動径多極子型配置レンズ及びそれを用いた荷電粒子光学系装置を提供する。動径多極子型配置レンズであって、回転対称構造の周辺に複数のリング状に配置され、中心に指向性のあるポテンシャルを形成する動径多極子を備え、この動径多極子（１１）,（１２）,（１３）,（１４）,…,（ｎ）に印加される電圧を中心部から順にプラスの極性、マイナスの極性となるように配置し、最外周の動径多極子（ｎ）にマイナスの極性の電圧を印加することにより、負の荷電粒子にとっての凹レンズ、正の荷電粒子にとっての凸レンズを構成する。このとき、加える電圧の極性を反転させると上記凹レンズは凸レンズに、上記凸レンズは凹レンズに入れ替わる。
摘要翻译：提供具有凹凸透镜功能的径向多极型布局透镜，以及使用该透镜的带电粒子光学系统装置。径向多极型布局透镜包括围绕旋转对称结构布置成多个环形的径向多极元件，用于建立对中心具有方向性的电位。透镜被布置成使得施加到径向多极元件（11），（12），（13），（14）， - - 和（n）的电压依次为正极性和负极性中心。负极性的电压被施加到最外周的径向多极元件（n），从而构成用于带负电的粒子的凹透镜和用于正带电粒子的凸透镜。此时，当要施加的电压的极性反转时，凹透镜和凸透镜与凸透镜和凹透镜互换。

4. 发明申请

WO2006025447A1 カンチレバーおよびその利用审中-公开
标题翻译： CANTILEVER及其利用
公开(公告)号：WO2006025447A1
公开(公告)日：2006-03-09
申请号：PCT/JP2005/015903
申请日：2005-08-31
申请人：国立大学法人京都大学 , 古川貴大 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
发明人：古川貴大 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
IPC分类号： G01N13/16 , G01B21/30 , G01N13/12 , G12B21/02
CPC分类号： G01Q70/10 , G01Q20/02
摘要：　一方の端部（１１）が支持台（１２）に固定されており、もう一方の端部（１３）が自由端である片持ち梁構造のレバー部（１０）と、レバー部（１０）の自由端（１３）に力検出部（１５）と、変位を検出するための変位検出部（２０）と、を備えており、変位検出部（２０）は、力検出部（１５）と共振して振動する構造であり、力検出部（１５）を振動させた場合、変位検出部（２０）の振幅が力検出部（１５）の振幅に比べて大きくなる共振周波数を有するカンチレバー（１００）によれば、探針部分の振動振幅を微小にすることが可能である一方、カンチレバーの変位をある程度の大きさの振動振幅で検出することができる。
摘要翻译：悬臂和悬臂的利用。悬臂包括悬臂梁结构的杠杆部分（10），其具有固定到支撑台（12）的一个端部部分（11）和自由形成的另一端部（13），形成在自由端的力检测部分（15）（10）的位移检测部（13）和位移检测部（20）。位移检测部（20）由于与力检测部（15）的共振而形成为振动。通过具有这样的谐振频率的悬臂（100），当力检测部（15）振动时，位移检测部（20）的振幅变得大于力检测部（15）的振幅，振动其探头部分的振幅可以最小化。另一方面，位移检测部能够以一定程度的振幅检测悬臂的位移。

5. 发明申请

WO2007108441A1 焦電型赤外線センサ审中-公开
标题翻译：电流型红外传感器
公开(公告)号：WO2007108441A1
公开(公告)日：2007-09-27
申请号：PCT/JP2007/055522
申请日：2007-03-19
申请人：ダイキン工業株式会社 , 石田謙司 , 桑島修一郎 , 松重和美 , 堀内俊壽 , 松本有史 , 小谷哲浩 , 高明天
发明人：石田謙司 , 桑島修一郎 , 松重和美 , 堀内俊壽 , 松本有史 , 小谷哲浩 , 高明天
IPC分类号： G01J1/02 , H01L37/02
CPC分类号： G01J5/34 , H01L37/025
摘要：　変形させることが可能であり、しかも感度の高い焦電型赤外線センサを提供する。ポリイミドやポリエチレンテレフタラート等の高分子材料から成る可撓性のある基板１１とフッ化ビニリデン（VDF）オリゴマーから成る層１３を設け、VDFオリゴマー層１３の上下にAlの蒸着膜等から成る可撓性のある電極１２及び１４を設ける。これら各構成要素の可撓性により、本発明の焦電型赤外線センサは全体として可撓性を有し、所望の形状に変形させることが可能である。また、従来の焦電型赤外線センサで用いられているSi等の基板よりも、高分子材料から成る基板の方が熱容量及び熱伝導率が低いため、センサの感度を高めることができる。
摘要翻译：本发明提供一种可以变形并且同时具有高灵敏度的当前热电红外传感器。一种由诸如聚酰亚胺和聚对苯二甲酸乙二醇酯的聚合材料形成的柔性基底（11）和由提供了偏二氟乙烯（VDF）低聚物。在VDF低聚物层（13）的上部和下部设置有例如由Al的气相沉积膜形成的柔性电极（12）和（14）。由于这些各个组成元件的灵活性，目前的热电型红外线传感器整体上是柔性的并且可以变形为所需的形状。与传统的当前热电型红外线传感器中使用的Si等的基板相比，聚合物材料的基底具有较低的热容量和导热性，因此可提高传感器的灵敏度。

6. 发明申请

WO2007129587A1 分子配向装置及び分子配向方法审中-公开
标题翻译：分子定向装置和分子方向
公开(公告)号：WO2007129587A1
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：PCT/JP2007/059012
申请日：2007-04-26
申请人：国立大学法人京都大学 , 合資会社京都インスツルメンツ , 木村邦子 , 小林圭 , 山田啓文 , 堀内俊寿 , 石田謙司 , 松重和美 , 森ゆき子
发明人：木村邦子 , 小林圭 , 山田啓文 , 堀内俊寿 , 石田謙司 , 松重和美 , 森ゆき子
IPC分类号： B82B3/00 , G01N13/10 , G01N13/16
CPC分类号： B82B3/00 , G01Q80/00
摘要：　試料搭載部（２０）と、探針（１１）を有する加工部（１０）、試料搭載部（２０）及び／又は加工部（１０）とを相対的に走査させる探針Ｘ，Ｙ走査部（６２）、試料搭載部（２０）及び／又は加工部（１０）を所定の周波数で微小振動させる発振部（３０）、加工部（１０）の振幅等を検出する検出部（４０）、検出部（４０）にて検出した信号のうち、特定成分のみを選択的に抽出する微小信号検出部（５０）、微小信号検出部（５０）にて抽出された信号に基づき探針（１１）と試料表面との距離を制御する位置制御部（６０）、を備える分子配向装置（１００）によれば、探針の走査により発生する摩擦力の影響を軽減し、試料と探針との間の距離を正確に制御でき、より精度の高い微細加工を行うことができる。
摘要翻译：根据包括样品安装部分（20）的分子取向装置（100），具有探针（11）的加工部分（10），用于扫描样品安装部分（20）的探针X，Y扫描部分（62）和/或所述加工部（10）相对地设置有用于以预定频率使所述样品安装部（20）和/或所述加工部（10）发生微小振动的振动部（30），用于检测的部分振幅等，在加工部分（10）处，用于从在检测部分（40）检测到的信号选择性地提取特定分量的微小信号检测部分（50）和位置控制部分（60）为了基于在微小信号检测部分（50）提取的信号控制探针（11）和样品表面之间的距离，可以减小由探针扫描产生的摩擦力的影响，样品与样品之间的距离探头可以精确控制，m 可以更精确地进行加速。

7. 发明申请

WO2006070704A1 高密度情報記録、再生、消去方法、並びにそれに使用される媒体及び装置审中-公开
标题翻译：高密度信息记录/复制/擦除方法及其使用的介质和设备
公开(公告)号：WO2006070704A1
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：PCT/JP2005/023687
申请日：2005-12-23
申请人：国立大学法人京都大学 , 合資会社京都インスツルメンツ , 木村邦子 , 小林圭 , 山田啓文 , 堀内俊寿 , 石田謙司 , 松重和美 , 森ゆき子
发明人：木村邦子 , 小林圭 , 山田啓文 , 堀内俊寿 , 石田謙司 , 松重和美 , 森ゆき子
IPC分类号： G11B9/14
CPC分类号： G11B9/00
摘要：　薄膜を仮想的に多数の微小領域に分け、微小領域の１つ（例えば微小領域）に鋭利な先端形状を有する記録再生針を接触させ、薄膜表面に平行に移動させることにより、薄膜を構成する微粒子や微結晶や分子の配向方向を変化させ、情報を記録する。例えば、この内部構造を２つの状態の間で変化させることにより、微小領域毎に"0"、"1"の情報を記録する。情報の読み出しは鋭利な先端形状を有する記録再生針を薄膜表面に定常的または間欠的に接触させた状態で針と薄膜の間に発生する相互作用力を検出することにより行う。
摘要翻译：构成薄膜的微细颗粒，微晶和分子的取向方向发生变化，通过将薄膜实际上分成多个细小区域来记录信息，使具有尖锐前缘形状的记录/再现针与其中之一接触精细区域（例如，细小区域）并且使针平行于薄膜的表面移动。例如，通过在两个状态中改变内部结构，在每个精细区域中记录“0”和“1”的信息。在具有尖锐前缘形状的记录/再现针与薄膜的表面恒定或间歇接触的状态下，通过检测针和薄膜之间产生的相互作用力来读取信息。

8. 发明申请

WO2006025260A1 積層型有機無機複合高効率太陽電池审中-公开
标题翻译：堆叠有机无机混合高效太阳能电池
公开(公告)号：WO2006025260A1
公开(公告)日：2006-03-09
申请号：PCT/JP2005/015471
申请日：2005-08-25
申请人：国立大学法人京都大学 , 佐藤宣夫 , 香取重尊 , 藤田静雄 , 松重和美
发明人：佐藤宣夫 , 香取重尊 , 藤田静雄 , 松重和美
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L51/424 , H01L27/302 , H01L31/043 , H01L51/0097 , H01L2924/0002 , H01L2924/3011 , Y02E10/549 , H01L2924/00
摘要： A photovoltaic power generating device (solar cell) with improved power generating efficiency and cost efficiency to be applied to wider range use. The solar cell is formed by stacking an organic cell layer provided by bonding a p-type organic semiconductor and an n-type organic semiconductor, and an inorganic cell layer provided by bonding a p-type inorganic semiconductor and an n-type inorganic semiconductor. Each of the solar cell layers is thinned to be flexible.
摘要翻译：具有提高发电效率和成本效率的光伏发电装置（太阳能电池）应用于更广泛的应用范围。太阳能电池通过堆叠通过键合p型有机半导体和n型有机半导体而提供的有机电池层和通过键合p型无机半导体和n型无机半导体而提供的无机电池层而形成。每个太阳能电池层被薄化成柔性的。

9. 发明申请

WO2004071954A1 フラーレンの製造方法审中-公开
标题翻译：生产富勒烯的方法
公开(公告)号：WO2004071954A1
公开(公告)日：2004-08-26
申请号：PCT/JP2004/001462
申请日：2004-02-12
申请人：小松直樹 , 大江聡之 , 松重和美
发明人：小松直樹 , 大江聡之 , 松重和美
IPC分类号： C01B31/02
CPC分类号： B82Y30/00 , B01D15/00 , B82Y40/00 , C01B32/15 , C01B32/152
摘要：　簡便な方法および工程、さらには少量の溶媒および試剤により、高純度のフラーレンを高い収率で効率良く製造する方法。活性炭の層にフラーレン混合物の溶液を通過させるフラーレンの製造方法であって、該活性炭が植物質または鉱物質から製造される活性炭、直径１０～５０Åの細孔の容積が２００ｍｍ３／ｇ以上である活性炭、Ｘ線回折測定によるピークの半値幅が９．８°以下である活性炭、薬品賦活法により製造された粉末状活性炭、薬品賦活法により製造された粒状活性炭を粉砕することにより製造された粉末状活性炭、またはガス賦活法により製造された繊維状活性炭を粉砕することにより製造された粉末状活性炭である。
摘要翻译：通过简单的方法和操作，从少量的溶剂和试剂以高产率有效地制备高纯度的富勒烯的方法。具体而言，是制造富勒烯的方法，其特征在于，使富勒烯混合物的溶液通过活性炭层，其中活性炭是由植物或矿物材料制成的活性炭; 活性炭，其中10至50埃直径的孔的体积为200mm 3 / g以上; 在X射线衍射中表现出峰值半值宽度为9.8°以下的活性炭; 根据化学品活化过程生产的粉状活性炭; 通过粉碎根据化学品活化方法生产的颗粒活性炭产生的粉状活性炭; 或通过粉碎根据气体活化方法生产的纤维状活性炭而产生的粉末状活性炭。

10. 发明申请

WO2006057353A1 薄膜形成方法、蒸着源基板およびその製造方法审中-公开
标题翻译：形成薄膜的方法，沉积源基板及其制造方法
公开(公告)号：WO2006057353A1
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：PCT/JP2005/021718
申请日：2005-11-25
申请人：国立大学法人京都大学 , パイオニア株式会社 , 日本電信電話株式会社 , 三菱化学株式会社 , 石田謙司 , 金原秀療 , 松重和美 , 下地規之
发明人：石田謙司 , 金原秀療 , 松重和美 , 下地規之
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/04 , H01L51/05 , H01L21/363 , H01L21/336 , H01L29/786
CPC分类号： H01L51/0004 , C23C14/04 , C23C14/24 , H01L51/0021 , H01L51/0545
摘要：　簡単な構成で、基板上に薄膜を形成することができる薄膜形成方法を提供する。　この方法は、被蒸着基板１０の薄膜形成面１１に膜材料２３を蒸着させることによって、薄膜形成面１１に薄膜１２を形成する。被蒸着基板１０の薄膜形成面１１と、膜材料２３を材料供給面２１に担持した供給基板２０の当該材料供給面２１とを近接対向配置させる。材料供給面２１には、所望のパターンの鏡像パターンの凹部２２が形成されており、この凹部２２内に膜材料２３が配置されている。凹部２２は、薄膜形成面１１との間に実質的な密閉空間を形成する。凹部２２内の膜材料２３を蒸発させると、これに対向する薄膜形成面１１上の各対向領域へと膜材料２３の気化物が輸送される。これにより、薄膜形成面１１上に薄膜１２が蒸着される。
摘要翻译：一种通过简单的结构在基片上形成薄膜的方法。在该方法中，通过在其上沉积薄膜材料（23），在基板（10）的薄膜形成表面（11）上形成薄膜（12）。基板（10）的成膜面（11）与携带薄膜材料（23）的供给基板（20）的材料供给面（21）相邻配置。在所需图案的反射镜图案的材料供给面（21）上形成有凹部（22），薄膜材料（23）配置在凹部（22）中。凹部（22）与薄膜形成表面（11）形成基本封闭的空间。当凹部（22）中的薄膜材料（23）蒸发时，薄膜材料（23）的蒸发物质被输送到相对的薄膜形成表面（11）上的每个相对的区域。因此，在薄膜形成表面（11）上沉积薄膜（12）。

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