专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2015071439A1 MULTI-ELECTRODE STACK ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：多电极堆栈布置
公开(公告)号：WO2015071439A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014074680
申请日：2014-11-14
申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP BV
发明人： URBANUS WILLEM HENK , WIELAND MARCO JAN-JACO
IPC分类号： H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/317
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： The invention relates to an electrode stack (70) comprising stacked electrodes (71-80) for manipulating a charged particle beam along an optical axis (A). Each electrode comprises an electrode body with an aperture for the charged particle beam. The electrode bodies are mutually spaced and the electrode apertures are coaxially aligned along the optical axis. The electrode stack comprises electrically insulating spacing structures (89) between each pair of adjacent electrodes for positioning the electrodes (71-80) at predetermined mutual distances along the axial direction (Z). A first electrode and a second electrode each comprise an electrode body with one or more support portions (86), wherein each support portion is configured to accommodate at least one spacing structure (89). The electrode stack has at least one clamping member (91-91c) configured to hold the support portions (86) of the first and second electrodes, as well as the intermediate spacing structure (89) together.
摘要翻译：本发明涉及一种电极堆叠（70），其包括用于沿光轴（A）操纵带电粒子束的堆叠电极（71-80）。每个电极包括具有用于带电粒子束的孔的电极体。电极体相互间隔开，并且电极孔沿光轴同轴对准。电极堆叠包括在每对相邻电极之间的电绝缘间隔结构（89），用于将电极（71-80）沿着轴向方向（Z）定位在预定的相互距离处。第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分（86）的电极主体，其中每个支撑部分构造成容纳至少一个间隔结构（89）。电极堆叠具有至少一个构造成将第一和第二电极的支撑部分（86）以及中间间隔结构（89）保持在一起的夹紧构件（91-91c）。

2. 发明申请

WO2003107383A1 電子光学鏡筒およびその製造方法审中-公开
标题翻译：电子光学镜片及其制作方法
公开(公告)号：WO2003107383A1
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：PCT/JP2003/007331
申请日：2003-06-10
申请人：奥村勝弥 , 三好元介
发明人：奥村勝弥 , 三好元介
IPC分类号： H01J37/16
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J2237/1215
摘要： An electronic optical lens barrel suitable for miniaturizing and a production method therefore. A barrel body (1) is provided with an inner tube (11) and an outer tube (12), and consists of high-resistance, conductive ceramics in its entirety. Electrostatic lenses (21, 22, 23, 24) are attached to the inner surface (111) of the inner tube by plating, depositing, or other means. Those electrodes or electrode pieces at a common potential out of electrodes or electrode pieces (211-213, 221, 231, 232, 241-243) constituting a lens are connected together with a common wiring, whereby it is possible to collectively connect the electrodes or electrode pieces at a common potential to an external wiring.
摘要翻译：因此适用于小型化的电子光学镜筒和制造方法。筒体（1）具有内管（11）和外管（12），其整体由高电阻导电陶瓷构成。静电透镜（21,22,23,24）通过电镀，沉积或其他方式附接到内管的内表面（111）。构成透镜的电极中的共同电位的电极或电极片或电极片（211-213,221,231,232,241-243）与公共布线连接在一起，由此可以将电极或与外部布线共同电位的电极片。

3. 发明申请

WO2007060017A2 PARTICLE-OPTICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：颗粒光学部件
公开(公告)号：WO2007060017A2
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/EP2006011413
申请日：2006-11-28
申请人： ZEISS CARL SMT AG , APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD , KNIPPELMEYER RAINER , SCHUBERT STEFAN
发明人： KNIPPELMEYER RAINER , SCHUBERT STEFAN
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
摘要： An objective lens arrangement includes a first, second and third pole pieces, each being substantially rotationally symmetric. The first, second and third pole pieces are disposed on a same side of an object plane. An end of the first pole piece is separated from an end of the second pole piece to form a first gap, and an end of the third pole piece is separated from an end of the second 10 pole piece to form a second gap. A first excitation coil generates a focusing magnetic field in the first gap, and a second excitation coil generates a compensating magnetic field in the second gap. First and second power supplies supply current to the first and second excitation coils, respectively. A magnetic flux generated in the second pole piece is oriented in a same direction as a magnetic flux generated in the second pole piece.
摘要翻译：物镜配置包括第一，第二和第三极片，每个极片基本上是旋转对称的。第一，第二和第三极片设置在物平面的同一侧。第一极靴的端部与第二极靴的端部分离以形成第一间隙，并且第三极靴的端部与第二十极件的端部分离以形成第二间隙。第一激励线圈在第一间隙中产生聚焦磁场，第二激励线圈在第二间隙中产生补偿磁场。第一和第二电源分别向第一和第二励磁线圈提供电流。在第二极靴中产生的磁通量在与第二极靴中产生的磁通量相同的方向上定向。

4. 发明申请

WO2015071438A1 MULTI-ELECTRODE ELECTRON OPTICS 审中-公开
标题翻译：多电极电子光学
公开(公告)号：WO2015071438A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/074679
申请日：2014-11-14
申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.
发明人： WIELAND, Marco Jan-Jaco , URBANUS, Willem Henk
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： The invention relates to a collimator electrode stack (70), comprising: - at least three collimator electrodes (71-80) for collimating a charged particle beam along an optical axis (A), wherein each collimator electrode comprises an electrode body with an electrode aperture for allowing passage to the charged particle beam, wherein the electrode bodies are spaced along an axial direction (Z) which is substantially parallel with the optical axis, and wherein the electrode apertures are coaxially aligned along the optical axis; and - a plurality of spacing structures (89) provided between each pair of adjacent collimator electrodes and made of an electrically insulating material, for positioning the collimator electrodes at predetermined distances along the axial direction. Each of the collimator electrodes (71-80) is electrically connected to a separate voltage output (151-160). The invention further relates to a method of operating a charged particle beam generator.
摘要翻译：本发明涉及一种准直器电极堆（70），包括： - 至少三个用于沿光轴（A）对带电粒子束进行准直的准直器电极（71-80），其中每个准直器电极包括具有用于允许通过带电粒子束的电极孔的电极体，其中电极体沿基本平行于光轴的轴向方向（Z）间隔开，并且其中电极孔沿着光轴; 以及 - 设置在每对相邻准直器电极之间并由电绝缘材料制成的多个间隔结构（89），用于沿着轴向方向以预定距离定位准直器电极。每个准直器电极（71-80）电连接到单独的电压输出（151-160）。本发明还涉及一种操作带电粒子束发生器的方法。

5. 发明申请

WO2009020208A1 動径多極子型配置レンズ及びそれを用いた荷電粒子光学系装置审中-公开
标题翻译：径向多孔型布置镜头和使用镜头的充电颗粒光学系统设备
公开(公告)号：WO2009020208A1
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：PCT/JP2008/064319
申请日：2008-08-08
申请人：国立大学法人京都大学 , 木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
发明人：木村建次郎 , 小林圭 , 山田啓文 , 松重和美
IPC分类号： H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/12 , H01J37/3056 , H01J2237/1215 , H01J2237/1534
摘要：　凹レンズ及び凸レンズ機能を有する動径多極子型配置レンズ及びそれを用いた荷電粒子光学系装置を提供する。動径多極子型配置レンズであって、回転対称構造の周辺に複数のリング状に配置され、中心に指向性のあるポテンシャルを形成する動径多極子を備え、この動径多極子（１１）,（１２）,（１３）,（１４）,…,（ｎ）に印加される電圧を中心部から順にプラスの極性、マイナスの極性となるように配置し、最外周の動径多極子（ｎ）にマイナスの極性の電圧を印加することにより、負の荷電粒子にとっての凹レンズ、正の荷電粒子にとっての凸レンズを構成する。このとき、加える電圧の極性を反転させると上記凹レンズは凸レンズに、上記凸レンズは凹レンズに入れ替わる。
摘要翻译：提供具有凹凸透镜功能的径向多极型布局透镜，以及使用该透镜的带电粒子光学系统装置。径向多极型布局透镜包括围绕旋转对称结构布置成多个环形的径向多极元件，用于建立对中心具有方向性的电位。透镜被布置成使得施加到径向多极元件（11），（12），（13），（14）， - - 和（n）的电压依次为正极性和负极性中心。负极性的电压被施加到最外周的径向多极元件（n），从而构成用于带负电的粒子的凹透镜和用于正带电粒子的凸透镜。此时，当要施加的电压的极性反转时，凹透镜和凸透镜与凸透镜和凹透镜互换。

6. 发明申请

WO2015071438A4 MULTI-ELECTRODE ELECTRON OPTICS 审中-公开
标题翻译：多电极电子光学
公开(公告)号：WO2015071438A4
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：PCT/EP2014074679
申请日：2014-11-14
申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP BV
发明人： WIELAND MARCO JAN-JACO , URBANUS WILLEM HENK
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： The invention relates to a collimator electrode stack (70), comprising: - at least three collimator electrodes (71-80) for collimating a charged particle beam along an optical axis (A), wherein each collimator electrode comprises an electrode body with an electrode aperture for allowing passage to the charged particle beam, wherein the electrode bodies are spaced along an axial direction (Z) which is substantially parallel with the optical axis, and wherein the electrode apertures are coaxially aligned along the optical axis; and - a plurality of spacing structures (89) provided between each pair of adjacent collimator electrodes and made of an electrically insulating material, for positioning the collimator electrodes at predetermined distances along the axial direction. Each of the collimator electrodes (71-80) is electrically connected to a separate voltage output (151-160). The invention further relates to a method of operating a charged particle beam generator.
摘要翻译：本发明涉及一种准直器电极堆叠（70），包括： - 至少三个用于沿着光轴（A）准直带电粒子束的准直器电极（71-80），其中每个准直器电极包括具有电极的电极体用于允许通过带电粒子束的孔，其中电极体沿着与光轴基本平行的轴向方向（Z）间隔开，并且其中电极孔沿着光轴同轴对准; 以及 - 设置在每对相邻的准直器电极之间并由电绝缘材料制成的多个间隔结构（89），用于将准直器电极沿着轴向定位在预定距离处。每个准直器电极（71-80）电连接到单独的电压输出（151-160）。本发明还涉及一种操作带电粒子束发生器的方法。

7. 发明申请

WO2015071440A4 ELECTRODE COOLING ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：电极冷却装置
公开(公告)号：WO2015071440A4
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：PCT/EP2014074681
申请日：2014-11-14
申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP BV
发明人： URBANUS WILLEM HENK , WIELAND MARCO JAN-JACO
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： The invention relates to a collimator electrode, comprising an electrode body (81) that is provided with a central electrode aperture (82), wherein the electrode body defines an electrode height between two opposite main surfaces, and wherein the electrode body accommodates a cooling conduit (105) inside the electrode body for transferring a cooling liquid (102). The electrode body preferably has a disk shape or an oblate ring shape. The invention further relates to a collimator electrode stack for use in a charged particle beam generator, comprising a first collimator electrode and a second collimator electrode that are each provided with a cooling conduit (105) for transferring the cooling liquid (102), and a connecting conduit (110) for a liquid connection between the cooling conduits of the first and second collimator electrodes.
摘要翻译：本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔（82）的电极体（81），其中电极体限定两个相对主表面之间的电极高度，并且其中电极体容纳冷却导管（105），用于传送冷却液（102）。电极体优选具有盘状或扁圆形状。本发明还涉及一种用于带电粒子束发生器的准直器电极叠层，其包括第一准直器电极和第二准直器电极，每个准直器电极和第二准直器电极都设置有用于传送冷却液体（102）的冷却导管（105）连接导管（110）用于第一和第二准直仪电极的冷却管道之间的液体连接。

8. 发明申请

WO2015071440A1 ELECTRODE COOLING ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：电极冷却装置
公开(公告)号：WO2015071440A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/074681
申请日：2014-11-14
申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.
发明人： URBANUS, Willem Henk , WIELAND, Marco Jan-Jaco
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/065
CPC分类号： G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
摘要： The invention relates to a collimator electrode, comprising an electrode body (81) that is provided with a central electrode aperture (82), wherein the electrode body defines an electrode height between two opposite main surfaces, and wherein the electrode body accommodates a cooling conduit (105) inside the electrode body for transferring a cooling liquid (102). The electrode body preferably has a disk shape or an oblate ring shape. The invention further relates to a collimator electrode stack for use in a charged particle beam generator, comprising a first collimator electrode and a second collimator electrode that are each provided with a cooling conduit (105) for transferring the cooling liquid (102), and a connecting conduit (110) for a liquid connection between the cooling conduits of the first and second collimator electrodes.
摘要翻译：本发明涉及一种准直仪电极，其包括设置有中心电极孔（82）的电极体（81），其中电极体限定两个相对主表面之间的电极高度，以及其中，电极体在电极体内部容纳用于传送冷却液体（102）的冷却导管（105）。电极体优选具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明进一步涉及一种用于带电粒子束发生器的准直器电极堆叠，包括第一准直器电极和第二准直器电极，每个准直器电极设置有用于输送冷却液体（102）的冷却导管（105），以及连接导管（110），用于第一和第二准直器电极的冷却导管之间的液体连接。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式