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    • 56. 发明申请
    • バッファ層及びそれを備えた光電変換素子の製造方法、光電変換素子
    • 缓冲层,制造包含它们的光电转换元件的方法和光电转换元件
    • WO2013005427A1
    • 2013-01-10
    • PCT/JP2012/004327
    • 2012-07-04
    • 富士フイルム株式会社河野 哲夫
    • 河野 哲夫
    • H01L31/04H01L21/368
    • H01L21/02628H01L21/02425H01L21/02485H01L21/02557H01L31/0749H01L31/18Y02E10/541Y02P70/521
    • 【課題】CBD法によるバッファ層の成膜において、密着性の良好なバッファ層を、粒子状固形物の生成を抑制し、生産性良く製造する。 【解決手段】 【解決手段】基板(10)上に、下部電極層(20)と、化合物半導体を主成分とする光電変換半導体層(30)と、バッファ層(40)と、透光性導電層(50)が積層された光電変換素子(1,1')におけるバッファ層(40)の製造方法において、光電変換半導体層(30)上に金属塩水和物を含む前駆体層(40R)を塗布成膜する工程(A)と、前駆体層(40R)を不溶化処理する工程(B)と、不溶化処理された基板(10)の少なくとも前駆体層(40P)側の表面を、硫黄源を含むアルカリ性の反応液(L1,L2)に浸漬させて、バッファ層(40)を化学浴析出法により形成する工程(C)とを備える。
    • [问题]通过CBD法在抑制缓冲层成膜的同时抑制颗粒固体的产生,生产出具有良好粘附性的缓冲层。 [解决方案]一种在光电转换元件(1,1')中制造缓冲层(40)的方法,其中主要由化合物半导体(1)组成的下电极层(20),光电转换半导体层(30) ,缓冲层(40)和透光性导电层(50)层叠在基板(10)上。 该方法包括:步骤(A),其中通过涂覆在光电转换半导体层(30)上形成含有金属盐水合物的前体层(40R); 步骤(B),其中所述前体层(40R)不溶; 以及步骤(C),其中至少将不溶解基材(10)的前体层(40P)侧表面浸渍在含有硫源的碱性反应液(L1,L2)中,从而形成缓冲层(40 )通过化学浴沉积法。