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    • 2. 发明专利
    • 用於寬帶光源之光譜調諧之系統及方法
    • 用于宽带光源之光谱调谐之系统及方法
    • TW201800737A
    • 2018-01-01
    • TW106110226
    • 2017-03-28
    • 克萊譚克公司KLA-TENCOR CORPORATION
    • 希爾 安卓 VHILL, ANDREW V.馬納森 雅姆儂MANASSEN, AMNON貝洽爾 歐哈德BACHAR, OHAD
    • G01N21/31
    • F21V9/40G01J3/00G02B5/1828G02B5/22G02B5/26G02B26/0825G02F1/33G02F2201/305G02F2203/055
    • 一種可調諧光譜濾光器包含一第一可調諧色散元件、一第一光學元件、位於焦平面處之一空間濾光元件、一第二光學元件及一第二色散元件。該第一可調諧色散元件利用一可調整色散將光譜色散引入至一照明光束。該第一光學元件將該照明光束聚焦於一焦平面處,其中可藉由調整該第一可調諧色散元件之該色散而控制該經光譜色散照明光束之一光譜在該焦平面處之一分佈。該空間濾光元件基於該照明光束之該光譜在該焦平面處之該分佈而將該照明光束之該光譜濾光。該第二光學元件收集自該空間濾光元件透射之該經光譜色散照明光束。該第二可調諧色散元件自該照明光束移除由該第一可調諧色散元件引入之該色散。
    • 一种可调谐光谱滤光器包含一第一可调谐色散组件、一第一光学组件、位于焦平面处之一空间滤光组件、一第二光学组件及一第二色散组件。该第一可调谐色散组件利用一可调整色散将光谱色散引入至一照明光束。该第一光学组件将该照明光束聚焦于一焦平面处,其中可借由调整该第一可调谐色散组件之该色散而控制该经光谱色散照明光束之一光谱在该焦平面处之一分布。该空间滤光组件基于该照明光束之该光谱在该焦平面处之该分布而将该照明光束之该光谱滤光。该第二光学组件收集自该空间滤光组件透射之该经光谱色散照明光束。该第二可调谐色散组件自该照明光束移除由该第一可调谐色散组件引入之该色散。