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1. 发明专利

TW201633000A 輻射光束裝置审中-公开
简体标题：辐射光束设备
公开(公告)号：TW201633000A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104138825
申请日：2015-11-23
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：戴克斯傑洛恩 , DEKKERS, JEROEN , 尼恩休斯漢冠 , NIENHUYS, HAN-KWANG , 瑞肯麥可喬賽夫瑪堤斯 , RENKENS, MICHAEL JOZEF MATHIJS , 亞克曼司喬漢那斯安東尼司傑瑞德思 , AKKERMANS, JOHANNES ANTONIUS GERARDUS , 德弗瑞斯高斯查爾斯 , DE VRIES, GOSSE CHARLES , 洛卜史塔艾瑞克羅勒夫 , LOOPSTRA, ERIK ROELOF
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/18 , G02B6/293
CPC分类号： G03F7/70158 , G02B5/1828 , G02B6/29314 , G03F7/70266
摘要：一種可調整繞射光柵包含：一光學元件及一變形機構。該光學元件具有用於接收一輸入輻射光束之一光學表面。該光學元件具備在該光學表面下方之複數個閉合通道，在每一閉合通道上方，該光學表面自一材料薄膜形成。該變形機構包含一或多個致動器，該一或多個致動器可操作以使在該等閉合通道上之該等薄膜變形，以便控制該光學表面之形狀及在該光學表面上形成一週期性結構，該週期性結構充當一繞射光柵使得該輸入輻射光束自該光學元件繞射以形成複數個角分離的子光束。
简体摘要：一种可调整绕射光栅包含：一光学组件及一变形机构。该光学组件具有用于接收一输入辐射光束之一光学表面。该光学组件具备在该光学表面下方之复数个闭合信道，在每一闭合信道上方，该光学表面自一材料薄膜形成。该变形机构包含一或多个致动器，该一或多个致动器可操作以使在该等闭合信道上之该等薄膜变形，以便控制该光学表面之形状及在该光学表面上形成一周期性结构，该周期性结构充当一绕射光栅使得该输入辐射光束自该光学组件绕射以形成复数个角分离的子光束。

2. 发明专利

TW201800737A 用於寬帶光源之光譜調諧之系統及方法审中-公开
简体标题：用于宽带光源之光谱调谐之系统及方法
公开(公告)号：TW201800737A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106110226
申请日：2017-03-28
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：希爾安卓 V , HILL, ANDREW V. , 馬納森雅姆儂 , MANASSEN, AMNON , 貝洽爾歐哈德 , BACHAR, OHAD
IPC分类号： G01N21/31
CPC分类号： F21V9/40 , G01J3/00 , G02B5/1828 , G02B5/22 , G02B5/26 , G02B26/0825 , G02F1/33 , G02F2201/305 , G02F2203/055
摘要：一種可調諧光譜濾光器包含一第一可調諧色散元件、一第一光學元件、位於焦平面處之一空間濾光元件、一第二光學元件及一第二色散元件。該第一可調諧色散元件利用一可調整色散將光譜色散引入至一照明光束。該第一光學元件將該照明光束聚焦於一焦平面處，其中可藉由調整該第一可調諧色散元件之該色散而控制該經光譜色散照明光束之一光譜在該焦平面處之一分佈。該空間濾光元件基於該照明光束之該光譜在該焦平面處之該分佈而將該照明光束之該光譜濾光。該第二光學元件收集自該空間濾光元件透射之該經光譜色散照明光束。該第二可調諧色散元件自該照明光束移除由該第一可調諧色散元件引入之該色散。
简体摘要：一种可调谐光谱滤光器包含一第一可调谐色散组件、一第一光学组件、位于焦平面处之一空间滤光组件、一第二光学组件及一第二色散组件。该第一可调谐色散组件利用一可调整色散将光谱色散引入至一照明光束。该第一光学组件将该照明光束聚焦于一焦平面处，其中可借由调整该第一可调谐色散组件之该色散而控制该经光谱色散照明光束之一光谱在该焦平面处之一分布。该空间滤光组件基于该照明光束之该光谱在该焦平面处之该分布而将该照明光束之该光谱滤光。该第二光学组件收集自该空间滤光组件透射之该经光谱色散照明光束。该第二可调谐色散组件自该照明光束移除由该第一可调谐色散组件引入之该色散。

3. 发明专利

TW200628843A 可調式分光光學系統 TUNABLE DISPERSIVE OPTICAL SYSTEM 审中-公开
简体标题：可调式分光光学系统 TUNABLE DISPERSIVE OPTICAL SYSTEM
公开(公告)号：TW200628843A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：TW094103476
申请日：2005-02-03
申请人：財團法人國家實驗研究院精密儀器發展中心 PRECISION INSTRUMENT DEVELOPMENT
发明人：謝坤尉 KUEN-WEY SHIEH , 謝哲偉 JERWEI HSIEH , 周曉宇 HSIAO-YU CHOU
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B5/1828 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/18 , G01J3/24
摘要：本發明係提供一種包含至少一繞射光柵之新型的分光系統。藉由調變該光柵之節距值以使得不同波長之繞射能量束可以被分離出單一波長之能量束。在這樣的分光系統中，不需要額外提供階次濾波器(order sorting filter)，便能將一所選擇的繞射階次之繞射能量束，從一重疊繞射階次的連續頻譜的能量束中分離出來。
简体摘要：本发明系提供一种包含至少一绕射光栅之新型的分光系统。借由调制该光栅之节距值以使得不同波长之绕射能量束可以被分离出单一波长之能量束。在这样的分光系统中，不需要额外提供阶次滤波器(order sorting filter)，便能将一所选择的绕射阶次之绕射能量束，从一重叠绕射阶次的连续频谱的能量束中分离出来。

4. 发明专利

TWI251681B 可調式分光光學系統 TUNABLE DISPERSIVE OPTICAL SYSTEM 有权
简体标题：可调式分光光学系统 TUNABLE DISPERSIVE OPTICAL SYSTEM
公开(公告)号：TWI251681B
公开(公告)日：2006-03-21
申请号：TW094103476
申请日：2005-02-03
申请人：財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心 INSTRUMENT TECHNOLOGY RESEARCH CENTER
发明人：謝坤尉 SHIEH, KUEN WEY , 謝哲偉 HSIEH, JERWEI , 周曉宇 CHOU, HSIAO YU
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B5/1828 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/18 , G01J3/24
摘要：本發明係提供一種包含至少一繞射光柵之新型的分光系統。藉由調變該光柵之節距值以使得不同波長之繞射能量束可以被分離出單一波長之能量束。在這樣的分光系統中，不需要額外提供階次濾波器(order sorting filter)，便能將一所選擇的繞射階次之繞射能量束，從一重疊繞射階次的連續頻譜的能量束中分離出來。
简体摘要：本发明系提供一种包含至少一绕射光栅之新型的分光系统。借由调制该光栅之节距值以使得不同波长之绕射能量束可以被分离出单一波长之能量束。在这样的分光系统中，不需要额外提供阶次滤波器(order sorting filter)，便能将一所选择的绕射阶次之绕射能量束，从一重叠绕射阶次的连续频谱的能量束中分离出来。

5. 发明专利

TW381364B 具不穩定共振腔之極窄波帶雷射失效
简体标题：具不稳定共振腔之极窄波带激光
公开(公告)号：TW381364B
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：TW087110603
申请日：1998-06-30
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70483 , G02B5/1828 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/225
摘要：本案提供一種極窄波帶雷射;藉由使用一圓柱形部分反射鏡子,以提供與具有一光束擴大器和一曲線光柵的一線調窄模組組合的一輸出耦合器,而產生一不穩定共振腔,來達成極窄波帶寬度。
简体摘要：本案提供一种极窄波带激光;借由使用一圆柱形部分反射镜子,以提供与具有一光束扩大器和一曲线光栅的一线调窄模块组合的一输出耦合器,而产生一不稳定共振腔,来达成极窄波带宽度。

6. 发明专利

TW201335630A 具有多深度繞射結構之電活性透鏡审中-公开
简体标题：具有多深度绕射结构之电活性透镜
公开(公告)号：TW201335630A
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW101115984
申请日：2012-05-04
申请人： e視力智慧光學公司 , E-VISION SMART OPTICS, INC.
发明人：范賀登安東尼 , VAN HEUGTEN, ANTHONY
IPC分类号： G02B3/08 , G02B3/14 , G02F1/13 , G02B27/10
CPC分类号： G02B5/1876 , G02B3/08 , G02B3/12 , G02B3/14 , G02B5/1828 , G02B5/188 , G02C7/083 , G02F1/133371 , G02F1/29 , G02F2001/291 , G02F2001/294
摘要：某些例示性實施方式可提供系統，機器，裝置，製造，電路，物質組成，適合的與/或所造成的使用者介面，與/或方法與/或包含機器可執行的指令的機器可讀的媒體，用於可包含與/或關於自對應第一光功率的第一電源狀態至對應第二光功率的第二電源狀態切換繞射的第一電活性透鏡的作業，該第二光功率不同於該第一光功率。
简体摘要：某些例示性实施方式可提供系统，机器，设备，制造，电路，物质组成，适合的与/或所造成的用户界面，与/或方法与/或包含机器可运行的指令的机器可读的媒体，用于可包含与/或关于自对应第一光功率的第一电源状态至对应第二光功率的第二电源状态切换绕射的第一电活性透镜的作业，该第二光功率不同于该第一光功率。

7. 发明专利

TWI223057B 具有體分散式繞射光柵之具有波長-可調式分散總成的光學裝置 OPTICAL DEVICES HAVING A WAVELENGTH-TUNABLE DISPERSION ASSEMBLY THAT HAS A VOLUME DISPERSIVE DIFFRACTION GRATING 失效
简体标题：具有体分佈式绕射光栅之具有波长-可调式分散总成的光学设备 OPTICAL DEVICES HAVING A WAVELENGTH-TUNABLE DISPERSION ASSEMBLY THAT HAS A VOLUME DISPERSIVE DIFFRACTION GRATING
公开(公告)号：TWI223057B
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW090122256
申请日：2001-09-07
申请人：美國華盛頓卡內基協會 CARNEGIE INSTITUTION OF WASHINGTON
发明人：亞歷山大F. 岡賈洛芙 ALEXANDER F. GONCHAROV , 維克特V. 史魯茲金 VIKTOR STRUZHKIN
IPC分类号： G01J
CPC分类号： G01J3/06 , G01J3/0227 , G01J3/0237 , G01J3/18 , G01J3/1838 , G01J3/44 , G02B5/1828 , G02B27/1086
摘要：一種光譜儀(spectrometer)係具有：一照明輻射源，其具有複數個波長；一帶通過濾器；一分散式分光器，其配置於該照明輻射源的一光學路徑中；一照明輻射退回過濾器；以及一攝譜儀(spectrograph)，其配置於來自該照明輻射源的照明輻射所照明之一樣本的一輻射路徑中。可依據從照明輻射源之複數個光譜波長中所選出的一者來調整分散式分光器、帶通過濾器、照明輻射退回過濾器及攝譜儀。分散式分光器將從照明輻射源之複數個光譜波長中所選出的一者導往一樣本，並可在樣本發散出的一測量光束中引導樣本彈性散射及反射的輻射。不具彈性的散射光則大致不受影響地通過分散式分光器並導往照明輻射退回過濾器及攝譜儀。
简体摘要：一种光谱仪(spectrometer)系具有：一照明辐射源，其具有复数个波长；一带通过滤器；一分佈式分光器，其配置于该照明辐射源的一光学路径中；一照明辐射退回过滤器；以及一摄谱仪(spectrograph)，其配置于来自该照明辐射源的照明辐射所照明之一样本的一辐射路径中。可依据从照明辐射源之复数个光谱波长中所选出的一者来调整分佈式分光器、带通过滤器、照明辐射退回过滤器及摄谱仪。分佈式分光器将从照明辐射源之复数个光谱波长中所选出的一者导往一样本，并可在样本发散出的一测量光束中引导样本弹性散射及反射的辐射。不具弹性的散射光则大致不受影响地通过分佈式分光器并导往照明辐射退回过滤器及摄谱仪。

8. 发明专利

TWI220935B 繞射光學元件及具有繞射光學元件之光學裝置 Diffraktives optisches Element sowie optische Anordnung mit einem diffraktiven optischen Element 失效
简体标题：绕射光学组件及具有绕射光学组件之光学设备 Diffraktives optisches Element sowie optische Anordnung mit einem diffraktiven optischen Element
公开(公告)号：TWI220935B
公开(公告)日：2004-09-11
申请号：TW091103968
申请日：2002-03-04
申请人：卡爾蔡司半導體製造科技有限公司 CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
发明人：貝爾恩德‧克勒曼 BERND KLEEMANN , 漢斯-于爾根‧羅斯塔爾司基 HANS-J RGEN ROSTALSKI , 維利‧烏爾里希 WILLI ULRICH
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B5/1828
摘要：一種繞射光學元件(101)，具有多個適用於一特定波長的繞射結構(104--109)。每個繞射結構均具有一個在繞射光學元件(101)所在的平面上量得的寬度r，以及一個在與之垂直的平面上量得的高度h。繞射結構(104--109)的寬度r和高度h都可以在光學元件(101)的表面上變化。一種具有此種繞射光學元件和中性濾光片的光學裝置。這種繞射光學元件(101)和有效光用的光學裝置的效率可進行局部改善。(第三圖)
简体摘要：一种绕射光学组件(101)，具有多个适用于一特定波长的绕射结构(104--109)。每个绕射结构均具有一个在绕射光学组件(101)所在的平面上量得的宽度r，以及一个在与之垂直的平面上量得的高度h。绕射结构(104--109)的宽度r和高度h都可以在光学组件(101)的表面上变化。一种具有此种绕射光学组件和中性滤光片的光学设备。这种绕射光学组件(101)和有效光用的光学设备的效率可进行局部改善。(第三图)

9. 发明专利

TW468292B 具有細微波長控制的窄波帶雷射有权
简体标题：具有细微波长控制的窄波带激光
公开(公告)号：TW468292B
公开(公告)日：2001-12-11
申请号：TW089118007
申请日：2000-10-17
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：約翰M 亞加斯 , 克里斯多夫A 馬奇 , 弗瑞德瑞克G 艾瑞爾 , 潔西D 布克 , 亞利桑德I 厄休夫 , 帕拉須P 達斯 , 尹格爾V 佛門可夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G02B5/1828 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/08081 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/10 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要：一種智慧型雷射使用得自一測波器之回饋信號具有自動電腦控制脈衝能量，波長及頻寬之功能。脈衝能量藉由控制輸出電壓而控制。波長係藉由十分精密且快速的定位一Rmax鏡於一譜光窄化模組中而控制。頻寬藉由調整在譜光窄化模組中的一光柵曲度而控制。較佳實施例包括藉由自動調節以光束擴張器稜鏡置於其上之一稜鏡面板以及 Rmax傾斜而自動回饋控制水平和垂直光束輪廓。其他實施例包括自動調整在共振穴內雷射室的水平位置。在較佳實施例中，得自一波長監視器的回饋信號用來定位Rmax鏡。在其他實施例中一分開的雷射光束自Rmax鏡反射至一光學二極體以定位鏡子。
简体摘要：一种智能型激光使用得自一测波器之回馈信号具有自动电脑控制脉冲能量，波长及带宽之功能。脉冲能量借由控制输出电压而控制。波长系借由十分精密且快速的定位一Rmax镜于一谱光窄化模块中而控制。带宽借由调整在谱光窄化模块中的一光栅曲度而控制。较佳实施例包括借由自动调节以光束扩张器棱镜置于其上之一棱镜皮肤以及 Rmax倾斜而自动回馈控制水平和垂直光束轮廓。其他实施例包括自动调整在共振穴内激光室的水平位置。在较佳实施例中，得自一波长监视器的回馈信号用来定位Rmax镜。在其他实施例中一分开的激光光束自Rmax镜反射至一光学二极管以定位镜子。

10. 发明专利

TW447182B 具有自動化光束品質控制的智慧型雷射有权
简体标题：具有自动化光束品质控制的智能型激光
公开(公告)号：TW447182B
公开(公告)日：2001-07-21
申请号：TW089102319
申请日：2000-03-24
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：費德雷里克G 艾瑞而 , 傑瑟D 巴克 , 派勒斯P 達斯
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G02B5/1828 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225
摘要：一種智慧型雷射具有使用來自波長計的回授信號自動電腦控制脈衝能、波長及頻寬。脈衝能係經由控制放電電壓而控制，波長係經由控制RvMAX鏡於線窄化模組之位置而控制，以及頻寬係經由調整線窄化模組之光柵曲率而控制。較佳具體實施例包括經由自動調整其上設有束擴張計稜鏡之稜鏡板以及自動調整RvMAX傾斜而自動回授控制水平及垂直束側錄(profile)。
简体摘要：一种智能型激光具有使用来自波长计的回授信号自动电脑控制脉冲能、波长及带宽。脉冲能系经由控制放电电压而控制，波长系经由控制RvMAX镜于线窄化模块之位置而控制，以及带宽系经由调整线窄化模块之光栅曲率而控制。较佳具体实施例包括经由自动调整其上设有束扩张计棱镜之棱镜板以及自动调整RvMAX倾斜而自动回授控制水平及垂直束侧录(profile)。

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