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1. 发明专利

TW469683B 具有線狹窄化單元之高功率氣體放電雷射有权
简体标题：具有线狭窄化单元之高功率气体放电激光
公开(公告)号：TW469683B
公开(公告)日：2001-12-21
申请号：TW089118008
申请日：2000-09-02
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：雷蒙德F 希布斯奇 , 亞利桑德I 厄休夫 , 艾克哈德D 翁克斯 , 帕拉須P 達斯 , 丹尼洛K 理查德生 , 潔西D 布克
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/036 , H01S3/0401 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要：用以窄化製造高能量雷射光束之雷射光的一以光柵為基礎的譜光窄化裝置。本發明同時備置使在光束表面上的熱氣層造成最小負面效果的技術。
在較佳實施例中，一氣流被引導跨過光柵的表面。在其他實施例中，使用氦氣作為一吹洗氣體以減少熱氣層的影響，而在其他實施例中則係減少吹洗氣體壓力以減少熱氣層的光學效果。
简体摘要：用以窄化制造高能量激光光束之激光光的一以光栅为基础的谱光窄化设备。本发明同时备置使在光束表面上的热气层造成最小负面效果的技术。在较佳实施例中，一气流被引导跨过光栅的表面。在其他实施例中，使用氦气作为一吹洗气体以减少热气层的影响，而在其他实施例中则系减少吹洗气体压力以减少热气层的光学效果。

2. 发明专利

TW415140B 可靠模組化製造品質窄波帶氪氟準分子雷射有权
简体标题：可靠模块化制造品质窄波带氪氟准分子激光
公开(公告)号：TW415140B
公开(公告)日：2000-12-11
申请号：TW088103668
申请日：1999-03-10
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：大衛S.諾里斯 , 赫夫A.伯索斯利 , 亞歷山大I.厄爾薩夫 , 提伯.朱哈士 , 詹姆斯H.阿左拉 , 帕拉許P.達斯 , 依高V.福門考夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G01J9/0246 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70358 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/0971 , H01S3/1055 , H01S3/1392 , H01S3/225
摘要：一種可靠的模組化製造品質窄波帶氪氟準分子雷射，能夠以1000Hz產生具有大約0.6兆分之一米或更小的頻寬之10毫焦耳雷射脈波。本發明特別適用於積體電路的光學照相製造中長期日以繼夜的操作。超越習知技藝雷射的改進包括了單一上游預電離管以及聲障板。較佳實施例包括了被降低的氟濃度、形狀可降低送風機軸承上氣動力反應力的陽極支撐棒、提供較快的脈波爬升時間之改良的脈波功率系統、具實質增加的反射性之輸出連接器、具有氟化鈣稜鏡光束擴展器的譜線緊縮模組、更正確的波長計、以及以新且改良的脈波能量控制演算法予以規畫之雷射電腦控制器。
简体摘要：一种可靠的模块化制造品质窄波带氪氟准分子激光，能够以1000Hz产生具有大约0.6兆分之一米或更小的带宽之10毫焦耳激光脉波。本发明特别适用于集成电路的光学照相制造中长期日以继夜的操作。超越习知技艺激光的改进包括了单一上游预电离管以及声障板。较佳实施例包括了被降低的氟浓度、形状可降低送风机轴承上气动力反应力的阳极支撑棒、提供较快的脉波爬升时间之改良的脉波功率系统、具实质增加的反射性之输出连接器、具有氟化钙棱镜光束扩展器的谱线紧缩模块、更正确的波长计、以及以新且改良的脉波能量控制算法予以规画之激光电脑控制器。

3. 发明专利

TW468292B 具有細微波長控制的窄波帶雷射有权
简体标题：具有细微波长控制的窄波带激光
公开(公告)号：TW468292B
公开(公告)日：2001-12-11
申请号：TW089118007
申请日：2000-10-17
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：約翰M 亞加斯 , 克里斯多夫A 馬奇 , 弗瑞德瑞克G 艾瑞爾 , 潔西D 布克 , 亞利桑德I 厄休夫 , 帕拉須P 達斯 , 尹格爾V 佛門可夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G02B5/1828 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/08081 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/10 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要：一種智慧型雷射使用得自一測波器之回饋信號具有自動電腦控制脈衝能量，波長及頻寬之功能。脈衝能量藉由控制輸出電壓而控制。波長係藉由十分精密且快速的定位一Rmax鏡於一譜光窄化模組中而控制。頻寬藉由調整在譜光窄化模組中的一光柵曲度而控制。較佳實施例包括藉由自動調節以光束擴張器稜鏡置於其上之一稜鏡面板以及 Rmax傾斜而自動回饋控制水平和垂直光束輪廓。其他實施例包括自動調整在共振穴內雷射室的水平位置。在較佳實施例中，得自一波長監視器的回饋信號用來定位Rmax鏡。在其他實施例中一分開的雷射光束自Rmax鏡反射至一光學二極體以定位鏡子。
简体摘要：一种智能型激光使用得自一测波器之回馈信号具有自动电脑控制脉冲能量，波长及带宽之功能。脉冲能量借由控制输出电压而控制。波长系借由十分精密且快速的定位一Rmax镜于一谱光窄化模块中而控制。带宽借由调整在谱光窄化模块中的一光栅曲度而控制。较佳实施例包括借由自动调节以光束扩张器棱镜置于其上之一棱镜皮肤以及 Rmax倾斜而自动回馈控制水平和垂直光束轮廓。其他实施例包括自动调整在共振穴内激光室的水平位置。在较佳实施例中，得自一波长监视器的回馈信号用来定位Rmax镜。在其他实施例中一分开的激光光束自Rmax镜反射至一光学二极管以定位镜子。

4. 发明专利

TW447182B 具有自動化光束品質控制的智慧型雷射有权
简体标题：具有自动化光束品质控制的智能型激光
公开(公告)号：TW447182B
公开(公告)日：2001-07-21
申请号：TW089102319
申请日：2000-03-24
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：費德雷里克G 艾瑞而 , 傑瑟D 巴克 , 派勒斯P 達斯
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G02B5/1828 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225
摘要：一種智慧型雷射具有使用來自波長計的回授信號自動電腦控制脈衝能、波長及頻寬。脈衝能係經由控制放電電壓而控制，波長係經由控制RvMAX鏡於線窄化模組之位置而控制，以及頻寬係經由調整線窄化模組之光柵曲率而控制。較佳具體實施例包括經由自動調整其上設有束擴張計稜鏡之稜鏡板以及自動調整RvMAX傾斜而自動回授控制水平及垂直束側錄(profile)。
简体摘要：一种智能型激光具有使用来自波长计的回授信号自动电脑控制脉冲能、波长及带宽。脉冲能系经由控制放电电压而控制，波长系经由控制RvMAX镜于线窄化模块之位置而控制，以及带宽系经由调整线窄化模块之光栅曲率而控制。较佳具体实施例包括经由自动调整其上设有束扩张计棱镜之棱镜板以及自动调整RvMAX倾斜而自动回授控制水平及垂直束侧录(profile)。

5. 发明专利

TW329063B 雷射波長控制系統失效
简体标题：激光波长控制系统
公开(公告)号：TW329063B
公开(公告)日：1998-04-01
申请号：TW085110600
申请日：1996-08-30
申请人： LM艾瑞克生電話公司
发明人：鮑拉吉史壯
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S5/0687 , H01S3/1392 , H01S5/06837
摘要：一種雷射波長控制系統(20)可穩定雷射輸出波長。此控制系統包括一反射器/濾波器裝置(40)，雷射輻射入射其上以產生一濾波後發射之信號(FS)及一反射之信號(RS)。一控制器(45)利用濾波後發射之信號(FS)及反射之信號(RS)以產生一控制信號(CS)。控制信號由溫度轉換器(100)利用以調整雷射(22)之雷射輸出波長。在一具體實例中，反射器/濾波器裝置為一光纖光柵。波長控制系統能方便一模組光多頻道傳送系統(200)之製造。
简体摘要：一种激光波长控制系统(20)可稳定激光输出波长。此控制系统包括一反射器/滤波器设备(40)，激光辐射入射其上以产生一滤波后发射之信号(FS)及一反射之信号(RS)。一控制器(45)利用滤波后发射之信号(FS)及反射之信号(RS)以产生一控制信号(CS)。控制信号由温度转换器(100)利用以调整激光(22)之激光输出波长。在一具体实例中，反射器/滤波器设备为一光纤光栅。波长控制系统能方便一模块光多频道发送系统(200)之制造。

6. 发明专利

TW507404B 具可快速變形光柵之智慧型雷射失效
简体标题：具可快速变形光栅之智能型激光
公开(公告)号：TW507404B
公开(公告)日：2002-10-21
申请号：TW090126939
申请日：2001-10-30
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：伊格爾V 佛曼考夫 , 腓特烈G 伊利 , 傑斯D 巴克 , 帕拉許P 達斯
IPC分类号： H01S , G03F
CPC分类号： H01S3/13 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/0401 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要：一種智慧型雷射，使用來自測波器的回授信號而其有脈波能量、波長及頻寬的自動電腦控制。脈波能量是藉由控制放電電壓而被控制，波長是藉由控制RMAX鏡的位置而被控制，並且頻寬是藉由調整光柵曲率去形成比簡單凸面或簡單凹面更複雜的形狀而被控制。較佳的實施例在光柵的背側於五個水平位置提供七個壓電驅動式壓縮-伸張位置去產生例如S形、W形及扭曲形的形狀。較佳實施例藉著自動調整光束擴展器稜鏡置放於其上的稜鏡平板以及自動調整RMAX傾斜而包含水平與垂直光束輪廓的自動回授控制。
简体摘要：一种智能型激光，使用来自测波器的回授信号而其有脉波能量、波长及带宽的自动电脑控制。脉波能量是借由控制放电电压而被控制，波长是借由控制RMAX镜的位置而被控制，并且带宽是借由调整光栅曲率去形成比简单凸面或简单凹面更复杂的形状而被控制。较佳的实施例在光栅的背侧于五个水平位置提供七个压电驱动式压缩-伸张位置去产生例如S形、W形及扭曲形的形状。较佳实施例借着自动调整光束扩展器棱镜置放于其上的棱镜平板以及自动调整RMAX倾斜而包含水平与垂直光束轮廓的自动回授控制。

7. 发明专利

TW410494B 準分子雷射用波長系統有权
简体标题：准分子激光用波长系统
公开(公告)号：TW410494B
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：TW088102978
申请日：1999-02-26
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：彼得C.紐曼 , 理查L.桑瓊姆
IPC分类号： G03F , H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70358 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/0971 , H01S3/1055 , H01S3/1392 , H01S3/225
摘要：一種測量及控制窄頻帶雷射之波長用的波長系統。該系統包括測量波長內增量改變用的波長計以及校準該波長計用的原子波長參考。原子波長參考包括了提供蒸氣用的蒸氣胞元，具有至少一接近所要的操作波長之吸收譜線。該系統包括波長調整裝置，具有一調整範圍足以調整雷射去在該吸收譜線的波長操作以便校準該波長計。
在較佳實施例中，雷射是氟化氬雷射，蒸氣是白金並且吸收譜線是l93,224.3兆分之一米或l93,436.9兆分之一米。超越習知技藝裝置的改進包括了改良的頻譜干涉儀，具有支撐凸緣以便為頻譜干涉儀提供低應力三點懸吊支撐而無須使用彈性體。
简体摘要：一种测量及控制窄频带激光之波长用的波长系统。该系统包括测量波长内增量改变用的波长计以及校准该波长计用的原子波长参考。原子波长参考包括了提供蒸气用的蒸气胞元，具有至少一接近所要的操作波长之吸收谱线。该系统包括波长调整设备，具有一调整范围足以调整激光去在该吸收谱线的波长操作以便校准该波长计。在较佳实施例中，激光是氟化氩激光，蒸气是白金并且吸收谱线是l93,224.3兆分之一米或l93,436.9兆分之一米。超越习知技艺设备的改进包括了改良的频谱干涉仪，具有支撑凸缘以便为频谱干涉仪提供低应力三点悬吊支撑而无须使用弹性体。

8. 发明专利

TW393817B 準分子雷射用波長參照技術失效
简体标题：准分子激光用波长参照技术
公开(公告)号：TW393817B
公开(公告)日：2000-06-11
申请号：TW087110369
申请日：1998-06-26
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：帕拉許P.達斯 , 理查L.桑德斯托姆 , 依果.佛門哥
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/1303 , G01J9/00 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225
摘要：本發明之較佳實施例使用已知原子或分子吸收作為校準可調諧雷射中所用波長量測儀器的絕對波長標準;原子和分子吸收之例子為具有分別包括與在約193nm的可調諧氟化氬準分子雷射一起使用的193.0905nm和193.2728nm之吸收的碳和分子氧。一波長量測裝置(例如,一計波表)配備有含吸收氣體的一氣體單胞;在一校準程序期間,計波表量出的波長與原子或分子吸收比較;計波表之校準常數然後被據此調整以使計波表之輸出匹配於原子或分子的吸收波長;因此,此等校準程序將計波表校準於絕對標準並校正在計波表中可能在多次校準間發生的任何漂移;如分子氧的有些氣體具有在雷射之可調諧範圍內之多重分子吸收;在校準程序期間利用多重吸收,由於一吸收線接近期望之最終波長,故乃加強此程序之精密度;在校準後,使用已校準計波表把雷射調諧於期望之最終波長。
简体摘要：本发明之较佳实施例使用已知原子或分子吸收作为校准可调谐激光中所用波长量测仪器的绝对波长标准;原子和分子吸收之例子为具有分别包括与在约193nm的可调谐氟化氩准分子激光一起使用的193.0905nm和193.2728nm之吸收的碳和分子氧。一波长量测设备(例如,一计波表)配备有含吸收气体的一气体单胞;在一校准进程期间,计波表量出的波长与原子或分子吸收比较;计波表之校准常数然后被据此调整以使计波表之输出匹配于原子或分子的吸收波长;因此,此等校准进程将计波表校准于绝对标准并校正在计波表中可能在多次校准间发生的任何漂移;如分子氧的有些气体具有在激光之可调谐范围内之多重分子吸收;在校准进程期间利用多重吸收,由于一吸收线接近期望之最终波长,故乃加强此进程之精密度;在校准后,使用已校准计波表把激光调谐于期望之最终波长。

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