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1. 发明专利

TW393814B 具氣體添加物之窄波帶準分子雷射有权
简体标题：具气体添加物之窄波带准分子激光
公开(公告)号：TW393814B
公开(公告)日：2000-06-11
申请号：TW087116811
申请日：1998-10-09
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：湯瑪斯.霍夫曼 , 石原敏彥 , 帕拉許P.達斯 , 亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要：本發明提供一種極窄帶脈衝準分子雷射，其可以能量劑量控制增強及再現性升高而產生速率於約500至2000 Hz範圍之脈衝。極小量由氧氣或重貴氣(氙或氡用於KrF雷射，或氪、氙或氡用於ArF雷射)組成此穩定型添加物添加至氣體混合物。試驗顯示藉由添加約30ppm氙至KrF雷射能量穩定性實質改進。試驗顯示對ArF雷射添加約6-10 ppm氙或40 ppm氪其性能改良。較佳具體例中，於KrF雷射藉由降低氟分壓至低於O.10%及經由增高輸出耦合器之反射率至大於25%可達到極窄帶寬。較佳具體例中，先前技術線窄化模組使用的先前技術融合矽氧束擴大稜鏡以氟化鈣稜鏡替代。
简体摘要：本发明提供一种极窄带脉冲准分子激光，其可以能量剂量控制增强及再现性升高而产生速率于约500至2000 Hz范围之脉冲。极小量由氧气或重贵气(氙或氡用于KrF激光，或氪、氙或氡用于ArF激光)组成此稳定型添加物添加至气体混合物。试验显示借由添加约30ppm氙至KrF激光能量稳定性实质改进。试验显示对ArF激光添加约6-10 ppm氙或40 ppm氪其性能改良。较佳具体例中，于KrF激光借由降低氟分压至低于O.10%及经由增高输出耦合器之反射率至大于25%可达到极窄带宽。较佳具体例中，先前技术线窄化模块使用的先前技术融合硅氧束扩大棱镜以氟化钙棱镜替代。

2. 发明专利

TW393815B 具以校準器為基礎之輸出耦合器的窄頻帶雷射器失效
简体标题：具以校准器为基础之输出耦合器的窄频带激光器
公开(公告)号：TW393815B
公开(公告)日：2000-06-11
申请号：TW087120256
申请日：1998-12-07
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： H01S3/1062 , G03F7/70025 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/08059 , H01S3/08081 , H01S3/0812 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/139 , H01S3/225
摘要：一種線調窄雷射，具有一以光柵為基礎之線調窄模組、以校準器為基礎的線調窄耦合器及用於諧調雷射的一技術;以校準器為基礎的輸出耦合器被調整以較佳地反射在或近於由光柵產生的光譜最大量處的光;在線調窄技術上的重大改善係從在或近於較佳地被以校準器為基礎之輸出耦合器反射的光柵光譜最大量處的光之雷射共振腔室中的放大作用而產生;數個較佳方法被揭露用來調諧以校準器為基礎之輸出耦合器以匹配由以光柵為基礎之線調窄模組選取的波長。
简体摘要：一种线调窄激光，具有一以光栅为基础之线调窄模块、以校准器为基础的线调窄耦合器及用于谐调激光的一技术;以校准器为基础的输出耦合器被调整以较佳地反射在或近于由光栅产生的光谱最大量处的光;在线调窄技术上的重大改善系从在或近于较佳地被以校准器为基础之输出耦合器反射的光栅光谱最大量处的光之激光共振腔室中的放大作用而产生;数个较佳方法被揭露用来调谐以校准器为基础之输出耦合器以匹配由以光栅为基础之线调窄模块选取的波长。

3. 发明专利

TW381366B 具譜線窄化輸出耦合器之雷射失效
简体标题：具谱线窄化输出耦合器之激光
公开(公告)号：TW381366B
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：TW087112813
申请日：1998-08-04
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/0812 , H01S3/1055 , H01S3/225
摘要：一種具有譜線窄化輸出耦合器之雷射。這輸出耦合器反射增益媒體中所產生的一部份光線並且提供該反射光線之頻譜窄化。該譜線窄化光束之一部份被引回進入增益媒體以便進一步地放大並且一部份作為雷射輸出之部份而傳輸。在較佳實施例中，雷射在後方以及在譜線窄化輸出耦合器被譜線窄化。
简体摘要：一种具有谱线窄化输出耦合器之激光。这输出耦合器反射增益媒体中所产生的一部份光线并且提供该反射光线之频谱窄化。该谱线窄化光束之一部份被引回进入增益媒体以便进一步地放大并且一部份作为激光输出之部份而传输。在较佳实施例中，激光在后方以及在谱线窄化输出耦合器被谱线窄化。

4. 发明专利

TW381364B 具不穩定共振腔之極窄波帶雷射失效
简体标题：具不稳定共振腔之极窄波带激光
公开(公告)号：TW381364B
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：TW087110603
申请日：1998-06-30
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70483 , G02B5/1828 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/225
摘要：本案提供一種極窄波帶雷射;藉由使用一圓柱形部分反射鏡子,以提供與具有一光束擴大器和一曲線光柵的一線調窄模組組合的一輸出耦合器,而產生一不穩定共振腔,來達成極窄波帶寬度。
简体摘要：本案提供一种极窄波带激光;借由使用一圆柱形部分反射镜子,以提供与具有一光束扩大器和一曲线光栅的一线调窄模块组合的一输出耦合器,而产生一不稳定共振腔,来达成极窄波带宽度。

5. 发明专利

TW364231B 極窄波帶氪氟雷射失效
简体标题：极窄波带氪氟激光
公开(公告)号：TW364231B
公开(公告)日：1999-07-11
申请号：TW087105795
申请日：1998-04-16
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫 , 帕拉許P.戴斯
IPC分类号： G03F , H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/08009 , H01S3/0812 , H01S3/09713 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要：一種可在1000Hz以小於0.6毫微米之一帶寬(FWHM)，產生10毫焦耳雷射脈衝之極窄波帶氪氟準分子雷射。該極窄波帶寬係藉由降低氟的分壓至少於0.08且藉由增大該輸出耦合器之反射率至大於百分之25而達成。在一較佳實施例中，用在該習用技術線窄化模組中習用技術之熔凝氧化矽光束展開稜鏡係被以氟化鈣稜鏡替代。
简体摘要：一种可在1000Hz以小于0.6毫微米之一带宽(FWHM)，产生10毫焦耳激光脉冲之极窄波带氪氟准分子激光。该极窄波带宽系借由降低氟的分压至少于0.08且借由增大该输出耦合器之反射率至大于百分之25而达成。在一较佳实施例中，用在该习用技术线窄化模块中习用技术之熔凝氧化硅光束展开棱镜系被以氟化钙棱镜替代。

6. 发明专利

TW410184B 具雙任務光柵之線調窄裝置失效
简体标题：具双任务光栅之线调窄设备
公开(公告)号：TW410184B
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：TW087114211
申请日：1998-08-27
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： B23K
CPC分类号： H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/225
摘要：一種線調窄系統，其中極化光束分光器、極化旋轉器與反射透鏡被規劃成使得來自雷射增益媒介之擴張光束內的光於每次穿過線調窄系統時在返回到該增益媒介供進一步放大之前會照射光柵至少兩次。在較佳實施例中，該光柵是被配置於Littrow結構中的中階梯光柵。
简体摘要：一种线调窄系统，其中极化光束分光器、极化旋转器与反射透镜被规划成使得来自激光增益媒介之扩张光束内的光于每次穿过线调窄系统时在返回到该增益媒介供进一步放大之前会照射光栅至少两次。在较佳实施例中，该光栅是被配置于Littrow结构中的中阶梯光栅。

7. 发明专利

TW382842B 窄帶準分子雷射有权
简体标题：窄带准分子激光
公开(公告)号：TW382842B
公开(公告)日：2000-02-21
申请号：TW087114785
申请日：1998-09-05
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：石原敏彥 , 湯瑪斯.霍夫曼 , 帕拉許P.達斯 , 亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： H01S
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： A very narrow band pulse excimer laser capable of producing pulses at a rate in the range of about 500 to 2000 Hz with enhanced energy dose control and reproducibility. A prior art burst mode ""slug effect"" occuring at one gas circulation time after the beginning of a burst of pulses is eliminated by the addition of a minute quantity of oxygen. In a preferred embodiment very narrow bandwidth is achieved by reducing fluorine partial pressure to less than 0.10 percent and by increasing the reflectance of the output coupler to greater than 25 percent. In a preferred embodiment, prior art fused silica beam expansion prisms used in the prior art line narrowing module were replaced with calcium fluoride prisms.

8. 发明专利

TW358875B 多通道光譜儀失效
简体标题：多信道光谱仪
公开(公告)号：TW358875B
公开(公告)日：1999-05-21
申请号：TW087112366
申请日：1998-07-28
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：亞歷山大I.厄爾秀夫
IPC分类号： G01J
CPC分类号： G01J3/18
摘要：一種多路徑光譜儀。從一光源發出的光會被擴張並被一校整裝置校整成平行光束。該平行光束照射一諸如光柵的分散裝置，光會由此光柵朝向該校整裝置反射回去。有一透射／反射裝置被置設橫越該平行光束，而使至少部分的平行光束從該分散裝置產生至少二次反射。有一光度計於一特定位置的範圍測量該經過二次分散的光束，以決定從該光源發出之光的光譜特質。在一較佳實施例中，有一個部分反射鏡被置設於該光柵與校整裝置之間。該鏡係以稍微有異於90°的角度被定位，而使部分從該分散裝置反射的光，再以一稍微不同角度的範圍朝該分散裝置反射回去。有部分此等二次反射的光束再度被該分散裝置所分散，並以一不同角度的範圍來反射。有部分此等二次反射的光束穿過該部分反射鏡並得以被聚焦，而在空間不同位置之光的強度係被一光度計所測量以取得該光源之光譜特性。在一第二較佳實施例中，來自第三次反射光束的光乃被測量。
简体摘要：一种多路径光谱仪。从一光源发出的光会被扩张并被一校整设备校整成平行光束。该平行光束照射一诸如光栅的分散设备，光会由此光栅朝向该校整设备反射回去。有一透射／反射设备被置设横越该平行光束，而使至少部分的平行光束从该分散设备产生至少二次反射。有一光度计于一特定位置的范围测量该经过二次分散的光束，以决定从该光源发出之光的光谱特质。在一较佳实施例中，有一个部分反射镜被置设于该光栅与校整设备之间。该镜系以稍微有异于90°的角度被定位，而使部分从该分散设备反射的光，再以一稍微不同角度的范围朝该分散设备反射回去。有部分此等二次反射的光束再度被该分散设备所分散，并以一不同角度的范围来反射。有部分此等二次反射的光束穿过该部分反射镜并得以被聚焦，而在空间不同位置之光的强度系被一光度计所测量以取得该光源之光谱特性。在一第二较佳实施例中，来自第三次反射光束的光乃被测量。

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