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1. 发明专利

TW200928487A 抗蝕冷卻聲光裝置 CORROSION RESISTANT COOLED ACOUSTO-OPTIC DEVICES 审中-公开
简体标题：抗蚀冷却声光设备 CORROSION RESISTANT COOLED ACOUSTO-OPTIC DEVICES
公开(公告)号：TW200928487A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW097143775
申请日：2008-11-12
申请人：古奇及豪斯格公共有限公司 GOOCH AND HOUSEGO PLC
发明人：麥可德拉帕 DRAPER, MICHAEL
IPC分类号： G02F
CPC分类号： G02F1/33 , G02F1/11 , G02F2203/21
摘要：一種抗蝕流體冷卻聲光(AO)裝置包含一AO互動媒介及一附加至該AO媒介之壓電轉換器。一冷卻配置熱耦合至該AO媒介且包含一第一材料及至少一個冷卻管道,該至少一個冷卻管道與該第一材料熱接觸、由一第二不同材料形成且具有耦合至其的一入口及一出口。該管道提供一溝道,該溝道具有一用於使一冷卻劑流體流動通過之內表面,其中該管道包含一在該內表面之整個區域上之連續抗蝕材料層。該第一材料提供一與該抗蝕材料相比更接近該AO媒介之一特定聲學阻抗之特定聲學阻抗,及一在25 C下至少75 W/m.K之本體熱傳導性。
简体摘要：一种抗蚀流体冷却声光(AO)设备包含一AO交互媒介及一附加至该AO媒介之压电转换器。一冷却配置热耦合至该AO媒介且包含一第一材料及至少一个冷却管道,该至少一个冷却管道与该第一材料热接触、由一第二不同材料形成且具有耦合至其的一入口及一出口。该管道提供一沟道,该沟道具有一用于使一冷却剂流体流动通过之内表面,其中该管道包含一在该内表面之整个区域上之连续抗蚀材料层。该第一材料提供一与该抗蚀材料相比更接近该AO媒介之一特定声学阻抗之特定声学阻抗,及一在25 C下至少75 W/m.K之本体热传导性。

2. 发明专利

TW200617558A 使用複數個變換器以改進雷射系統效能之聲光調變器調變技術 AOM MODULATION TECHNIQUES EMPLOYING PLURALITY OF TRANSDUCERS TO IMPROVE LASER SYSTEM PERFORMANCE 审中-公开
简体标题：使用复数个变换器以改进激光系统性能之声光调制器调制技术 AOM MODULATION TECHNIQUES EMPLOYING PLURALITY OF TRANSDUCERS TO IMPROVE LASER SYSTEM PERFORMANCE
公开(公告)号：TW200617558A
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：TW094118732
申请日：2005-06-07
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：傑瓊森 JOHNSON, JAY
IPC分类号： G02F
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/082 , G02F1/0121 , G02F1/292 , G02F1/33 , G02F1/332 , G02F2201/16 , H01S3/005 , H01S3/1068 , H01S3/117 , H01S3/1306 , H01S3/136
摘要：腔內及腔外聲光調變器(AOM)(60)之頻率數位控制及／或振幅調變技術能實質上促進完全消除雷射光束(90)，而避免不需要的雷射能量衝擊工件(80)；透過脈衝至脈衝雷射能量之閉路控制來促進雷射脈衝振幅之穩定性；促進光束定位控制，其中包括諸如對準誤差修正、光束移走校正或第三定位等應用之閉路控制，但不以此為限；以及促進運用聲光調變器(60)上之一個以上的變換器來執行上列任何一種應用。
简体摘要：腔内及腔外声光调制器(AOM)(60)之频率数码控制及／或振幅调制技术能实质上促进完全消除激光光束(90)，而避免不需要的激光能量冲击工件(80)；透过脉冲至脉冲激光能量之闭路控制来促进激光脉冲振幅之稳定性；促进光束定位控制，其中包括诸如对准误差修正、光束移走校正或第三定位等应用之闭路控制，但不以此为限；以及促进运用声光调制器(60)上之一个以上的变换器来运行上列任何一种应用。

3. 发明专利

TWI396921B 使用變換器以調變整不同軸線之聲光調變器調變技術有权
简体标题：使用变换器以调制整不同轴线之声光调制器调制技术
公开(公告)号：TWI396921B
公开(公告)日：2013-05-21
申请号：TW094118733
申请日：2005-06-07
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 , ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：傑瓊森 , JOHNSON, JAY
IPC分类号： G02F1/33 , B23K26/06
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/082 , G02F1/0121 , G02F1/292 , G02F1/33 , G02F1/332 , G02F2201/16 , H01S3/005 , H01S3/1068 , H01S3/117 , H01S3/1306 , H01S3/136

4. 发明专利

TW201318744A 用於提供聲光束偏轉器與聲光調變器使用期間之溫度穩定性之系統與方法审中-公开
简体标题：用于提供声光束偏转器与声光调制器使用期间之温度稳定性之系统与方法
公开(公告)号：TW201318744A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：TW101124282
申请日：2012-07-05
申请人： GSI集團公司 , GSI GROUP CORPORATION
发明人：可丁尼詹姆士 , CORDINGLEY, JAMES , 梅特斯夫丁米翠 , MALTSEV, DIMITRY
IPC分类号： B23K26/02 , G02F1/11 , G02F1/33
CPC分类号： G02F1/33 , G02F1/113 , G02F2203/21
摘要：本發明提供具有熱穩定聲光束偏轉器的雷射處理方法。該方法包括下列步驟：產生對應於具有雷射脈衝重複率之雷射脈衝序列的射頻脈衝序列，該等射頻脈衝包括用於導致該雷射脈衝序列在個別的傳輸及非傳輸方向上偏轉之在傳輸射頻頻率的傳輸射頻脈衝以及在非傳輸射頻頻率的非傳輸射頻脈衝，各射頻脈衝包含射頻頻率、射頻振幅、以及持續時間；控制各射頻脈衝，使得該射頻脈衝序列提供經調變以在該聲光偏轉器上提供平衡熱負載的調變射頻驅動訊號；將該調變射頻驅動訊號施用至該聲光偏轉器；且使用該調變射頻驅動訊號用該聲光偏轉器偏轉至少一個雷射脈衝，以用預定脈衝能量照射經選擇的靶材位置。
简体摘要：本发明提供具有热稳定声光束偏转器的激光处理方法。该方法包括下列步骤：产生对应于具有激光脉冲重复率之激光脉冲串行的射频脉冲串行，该等射频脉冲包括用于导致该激光脉冲串行在个别的传输及非传输方向上偏转之在传输射频频率的传输射频脉冲以及在非传输射频频率的非传输射频脉冲，各射频脉冲包含射频频率、射频振幅、以及持续时间；控制各射频脉冲，使得该射频脉冲串行提供经调制以在该声光偏转器上提供平衡热负载的调制射频驱动信号；将该调制射频驱动信号施用至该声光偏转器；且使用该调制射频驱动信号用该声光偏转器偏转至少一个激光脉冲，以用预定脉冲能量照射经选择的靶材位置。

5. 发明专利

TWI384712B 用於促進雷射系統中全部光束消光之聲光調變器的調頻及調幅技術有权
简体标题：用于促进激光系统中全部光束消光之声光调制器的调频及调幅技术
公开(公告)号：TWI384712B
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW094118741
申请日：2005-06-07
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 , ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：傑瓊森 , JOHNSON, JAY , 大衛瓦特 , WATT, DAVID , 布萊恩拜爾德 , BAIRD, BRIAN , 理查哈芮斯 , HARRIS, RICHARD
IPC分类号： H01S3/117
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/082 , G02F1/0121 , G02F1/292 , G02F1/33 , G02F1/332 , G02F2201/16 , H01S3/005 , H01S3/1068 , H01S3/117 , H01S3/1306 , H01S3/136

6. 发明专利

TW201800737A 用於寬帶光源之光譜調諧之系統及方法审中-公开
简体标题：用于宽带光源之光谱调谐之系统及方法
公开(公告)号：TW201800737A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106110226
申请日：2017-03-28
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：希爾安卓 V , HILL, ANDREW V. , 馬納森雅姆儂 , MANASSEN, AMNON , 貝洽爾歐哈德 , BACHAR, OHAD
IPC分类号： G01N21/31
CPC分类号： F21V9/40 , G01J3/00 , G02B5/1828 , G02B5/22 , G02B5/26 , G02B26/0825 , G02F1/33 , G02F2201/305 , G02F2203/055
摘要：一種可調諧光譜濾光器包含一第一可調諧色散元件、一第一光學元件、位於焦平面處之一空間濾光元件、一第二光學元件及一第二色散元件。該第一可調諧色散元件利用一可調整色散將光譜色散引入至一照明光束。該第一光學元件將該照明光束聚焦於一焦平面處，其中可藉由調整該第一可調諧色散元件之該色散而控制該經光譜色散照明光束之一光譜在該焦平面處之一分佈。該空間濾光元件基於該照明光束之該光譜在該焦平面處之該分佈而將該照明光束之該光譜濾光。該第二光學元件收集自該空間濾光元件透射之該經光譜色散照明光束。該第二可調諧色散元件自該照明光束移除由該第一可調諧色散元件引入之該色散。
简体摘要：一种可调谐光谱滤光器包含一第一可调谐色散组件、一第一光学组件、位于焦平面处之一空间滤光组件、一第二光学组件及一第二色散组件。该第一可调谐色散组件利用一可调整色散将光谱色散引入至一照明光束。该第一光学组件将该照明光束聚焦于一焦平面处，其中可借由调整该第一可调谐色散组件之该色散而控制该经光谱色散照明光束之一光谱在该焦平面处之一分布。该空间滤光组件基于该照明光束之该光谱在该焦平面处之该分布而将该照明光束之该光谱滤光。该第二光学组件收集自该空间滤光组件透射之该经光谱色散照明光束。该第二可调谐色散组件自该照明光束移除由该第一可调谐色散组件引入之该色散。

7. 发明专利

TW201629610A 雷射振盪機構审中-公开
简体标题：激光振荡机构
公开(公告)号：TW201629610A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW104133534
申请日：2015-10-13
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：能丸圭司 , NOMARU, KEIJI
IPC分类号： G02F1/33 , G02B5/18 , H01S3/00
CPC分类号： G02F1/33 , B23K26/064 , B23K2203/56 , G02B5/1814
摘要：本發明的課題為提供一種能夠在無需將裝置大型化的情形下，藉由使用了聲光元件(AOD)的聲光偏向手段來變更雷射光線振盪器所振盪產生的雷射光線的光軸之角度的雷射振盪機構。解決手段是雷射振盪機構，其包含振盪產生脈衝雷射光線的脈衝雷射振盪器、以及變更脈衝雷射線振盪器所振盪產生的脈衝雷射光線的光路之角度的光路變更手段。光路變更手段是由聲光偏向手段和體積布拉格光柵所構成，該聲光偏向手段使用了可在有效區域中變更脈衝雷射振盪器所振盪產生的雷射光線的光路的聲光元件，該體積布拉格光柵將已藉由聲光偏向手段的聲光元件變更過光路的角度的脈衝雷射光線之中欲排除的雷射光線從有效區域折射而排除。
简体摘要：本发明的课题为提供一种能够在无需将设备大型化的情形下，借由使用了声光组件(AOD)的声光偏向手段来变更激光光线振荡器所振荡产生的激光光线的光轴之角度的激光振荡机构。解决手段是激光振荡机构，其包含振荡产生脉冲激光光线的脉冲激光振荡器、以及变更脉冲激光线振荡器所振荡产生的脉冲激光光线的光路之角度的光路变更手段。光路变更手段是由声光偏向手段和体积布拉格光栅所构成，该声光偏向手段使用了可在有效区域中变更脉冲激光振荡器所振荡产生的激光光线的光路的声光组件，该体积布拉格光栅将已借由声光偏向手段的声光组件变更过光路的角度的脉冲激光光线之中欲排除的激光光线从有效区域折射而排除。

8. 发明专利

TW200607194A 用於促進雷射系統中全部光束消光之聲光調變器的調頻及調幅技術 AOM FREQUENCY AND AMPLITUDE MODULATION TECHNIQUES FOR FACILITATING FULL BEAM EXTINCTION IN LASER SYSTEMS 审中-公开
简体标题：用于促进激光系统中全部光束消光之声光调制器的调频及调幅技术 AOM FREQUENCY AND AMPLITUDE MODULATION TECHNIQUES FOR FACILITATING FULL BEAM EXTINCTION IN LASER SYSTEMS
公开(公告)号：TW200607194A
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：TW094118741
申请日：2005-06-07
申请人：伊雷克托科學工業股份有限公司 ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：傑瓊森 JOHNSON, JAY , 大衛瓦特 WATT, DAVID , 布萊恩拜爾德 BAIRD, BRIAN , 理查哈芮斯 HARRIS, RICHARD
IPC分类号： H01S
CPC分类号： B23K26/0626 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0665 , B23K26/082 , G02F1/0121 , G02F1/292 , G02F1/33 , G02F1/332 , G02F2201/16 , H01S3/005 , H01S3/1068 , H01S3/117 , H01S3/1306 , H01S3/136
摘要：腔內及腔外聲光調變器(AOM)(60)之頻率數位控制及／或振幅調變技術能實質上促進完全消除雷射光束(90)，而避免不需要的雷射能量衝擊工作(80)；透過脈衝至脈衝雷射能量之閉路控制來促進雷射脈衝振幅之穩定性；促進光束定位控制，其中包括諸如對準誤差修正、光束移走校正或第三定位等應用之閉路控制，但不以此為限；以及促進運用聲光調變器(60)上之一個以上的變換器來執行上列任何一種應用。
简体摘要：腔内及腔外声光调制器(AOM)(60)之频率数码控制及／或振幅调制技术能实质上促进完全消除激光光束(90)，而避免不需要的激光能量冲击工作(80)；透过脉冲至脉冲激光能量之闭路控制来促进激光脉冲振幅之稳定性；促进光束定位控制，其中包括诸如对准误差修正、光束移走校正或第三定位等应用之闭路控制，但不以此为限；以及促进运用声光调制器(60)上之一个以上的变换器来运行上列任何一种应用。

9. 发明专利

TWI608886B 用於提供聲光束偏轉器與聲光調變器使用期間之溫度穩定性之系統與方法有权
简体标题：用于提供声光束偏转器与声光调制器使用期间之温度稳定性之系统与方法
公开(公告)号：TWI608886B
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：TW101124282
申请日：2012-07-05
申请人：電子科學工業股份有限公司 , ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
发明人：可丁尼詹姆士 , CORDINGLEY, JAMES , 梅特斯夫丁米翠 , MALTSEV, DIMITRY
IPC分类号： B23K26/02 , G02F1/11 , G02F1/33
CPC分类号： G02F1/33 , G02F1/113 , G02F2203/21

10. 发明专利

TW201727393A 圖案描繪裝置及圖案描繪方法审中-公开
简体标题：图案描绘设备及图案描绘方法
公开(公告)号：TW201727393A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105131295
申请日：2016-09-29
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：加藤正紀 , KATO, MASAKI , 中山修一 , NAKAYAMA, SHUICHI
IPC分类号： G03F7/24 , G02B26/12 , G02F1/13 , G03F7/20
CPC分类号： G02B26/12 , G02F1/33 , G03F7/20 , G03F7/24
摘要：本發明係一種圖案描繪裝置，其係一面將來自光源之射束根據圖案資訊進行強度調變，一面將上述射束投射至基板上而於主掃描方向進行掃描，藉此於上述基板上形成圖案者，且具備：掃描裝置，其係為了使上述射束於主掃描方向上掃描，而將包含使來自上述光源之射束偏向之偏向構件之複數個掃描單元，以投射至上述基板上之上述射束之掃描軌跡相互錯開之方式配置；及電光偏向裝置，其係為了將來自上述光源之上述射束分時供給至上述複數個掃描單元之各者，而可將來自上述光源之射束切換為偏向狀態或非偏向狀態，並且為了使上述射束之掃描軌跡於與上述主掃描方向交叉之副掃描方向移位，而可調整上述射束之偏向角。
简体摘要：本发明系一种图案描绘设备，其系一面将来自光源之射束根据图案信息进行强度调制，一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描，借此于上述基板上形成图案者，且具备：扫描设备，其系为了使上述射束于主扫描方向上扫描，而将包含使来自上述光源之射束偏向之偏向构件之复数个扫描单元，以投射至上述基板上之上述射束之扫描轨迹相互错开之方式配置；及电光偏向设备，其系为了将来自上述光源之上述射束分时供给至上述复数个扫描单元之各者，而可将来自上述光源之射束切换为偏向状态或非偏向状态，并且为了使上述射束之扫描轨迹于与上述主扫描方向交叉之副扫描方向移位，而可调整上述射束之偏向角。

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