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    • 4. 发明专利
    • 非破壞性信號傳播系統及基板完整性之判定方法 NON-DESTRUCTIVE SIGNAL PROPAGATION SYSTEM AND METHOD TO DETERMINE SUBSTRATE INTEGRITY
    • 非破坏性信号传播系统及基板完整性之判定方法 NON-DESTRUCTIVE SIGNAL PROPAGATION SYSTEM AND METHOD TO DETERMINE SUBSTRATE INTEGRITY
    • TW201104775A
    • 2011-02-01
    • TW099114409
    • 2010-05-05
    • 蘭姆研究公司
    • 微寇爾 約翰
    • H01L
    • G01N29/11G01N29/075G01N29/2475G01N2291/044G01N2291/106G01N2291/2697H01L22/12
    • 在本文中所述之各種例示實施例中,一種系統與相關方法係關於用以偵測在基板中之一個以上的缺陷的非破壞性信號傳播。此系統可內建於例如基板搬運機構之半導體處理工具中。使系統包含配置來將一個以上之頻率由一個電信號變換成至少一個機械脈衝之轉換器。此機械脈衝經由基板搬運機構與基板相耦合。將複數個遠端感應器遠離於轉換器而放置且配置來與基板做聲音或機械式耦合。複數個遠端感應器進一步配置來偵測機械脈衝以及脈衝之任何失真。將信號分析器與複數個遠端感應器相耦合,以將偵測之脈衝以及脈衝之任何失真與基線響應相比較。
    • 在本文中所述之各种例示实施例中,一种系统与相关方法系关于用以侦测在基板中之一个以上的缺陷的非破坏性信号传播。此系统可内置于例如基板搬运机构之半导体处理工具中。使系统包含配置来将一个以上之频率由一个电信号变换成至少一个机械脉冲之转换器。此机械脉冲经由基板搬运机构与基板相耦合。将复数个远程感应器远离于转换器而放置且配置来与基板做声音或机械式耦合。复数个远程感应器进一步配置来侦测机械脉冲以及脉冲之任何失真。将信号分析器与复数个远程感应器相耦合,以将侦测之脉冲以及脉冲之任何失真与基线响应相比较。
    • 9. 发明专利
    • 具有低速粒子放射之陰極濺鍍靶,諸靶之前驅物及其獲得製程
    • 具有低速粒子放射之阴极溅镀靶,诸靶之前驱物及其获得制程
    • TW363231B
    • 1999-07-01
    • TW086100016
    • 1997-01-03
    • 百基尼鋁業公司
    • 米歇爾.勒魯瓦珍.穆勒
    • H01L
    • C23C14/3414G01N29/11G01N29/30G01N2291/015G01N2291/0231G01N2291/0237G01N2291/0289G01N2291/044G01N2291/101G01N2291/2697
    • 一種具有低位準之粒子發射之陰極濺鍍靶,諸靶之前驅物,以及,其獲得方法。
      本發明係有關於陰極濺鍍靶,其作動部份係由很純之鋁或很純之鋁合金,其係依據一適當之製程而加以選擇,以及,其每立方公分包含不多於0﹒1個大於0﹒1mm之該靶之作動金屬之內部減聚物,特別是用於需要高度之蝕刻細微度時。
      本發明同時也屬於一製程用以超音波測試該內部耐固性,其允許吾人獲得依據本發明之靶。特別是,於一作用於大於5MHz,最好是10至50MHz間之操作頻率之超音波感應器之選擇及調整適當量測順序後,本製程使用一浸於液體中之靶及具有某些人造缺陷模擬於靶中之減聚力者包含以內部減聚物每單位體積之大小及數目及選擇具有小於等於0﹒1個每立方公分,其係大於0﹒1mm者,以及,較佳係每立方公分少於0﹒1個大於0﹒04mm之減聚物。
      本發明同時也屬於陰極濺鍍靶之前驅物,其每立方公分包含少於0﹒1個大於0﹒04mm之內部減聚物。
    • 一种具有低位准之粒子发射之阴极溅镀靶,诸靶之前驱物,以及,其获得方法。 本发明系有关于阴极溅镀靶,其作动部份系由很纯之铝或很纯之铝合金,其系依据一适当之制程而加以选择,以及,其每立方公分包含不多于0﹒1个大于0﹒1mm之该靶之作动金属之内部减聚物,特别是用于需要高度之蚀刻细微度时。 本发明同时也属于一制程用以超音波测试该内部耐固性,其允许吾人获得依据本发明之靶。特别是,于一作用于大于5MHz,最好是10至50MHz间之操作频率之超音波感应器之选择及调整适当量测顺序后,本制程使用一浸于液体中之靶及具有某些人造缺陷仿真于靶中之减聚力者包含以内部减聚物每单位体积之大小及数目及选择具有小于等于0﹒1个每立方公分,其系大于0﹒1mm者,以及,较佳系每立方公分少于0﹒1个大于0﹒04mm之减聚物。 本发明同时也属于阴极溅镀靶之前驱物,其每立方公分包含少于0﹒1个大于0﹒04mm之内部减聚物。