专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW363231B 具有低速粒子放射之陰極濺鍍靶,諸靶之前驅物及其獲得製程失效
简体标题：具有低速粒子放射之阴极溅镀靶,诸靶之前驱物及其获得制程
公开(公告)号：TW363231B
公开(公告)日：1999-07-01
申请号：TW086100016
申请日：1997-01-03
申请人：百基尼鋁業公司
发明人：米歇爾.勒魯瓦 , 珍.穆勒
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C14/3414 , G01N29/11 , G01N29/30 , G01N2291/015 , G01N2291/0231 , G01N2291/0237 , G01N2291/0289 , G01N2291/044 , G01N2291/101 , G01N2291/2697
摘要：一種具有低位準之粒子發射之陰極濺鍍靶，諸靶之前驅物，以及，其獲得方法。
本發明係有關於陰極濺鍍靶，其作動部份係由很純之鋁或很純之鋁合金，其係依據一適當之製程而加以選擇，以及，其每立方公分包含不多於０﹒１個大於０﹒１ｍｍ之該靶之作動金屬之內部減聚物，特別是用於需要高度之蝕刻細微度時。
本發明同時也屬於一製程用以超音波測試該內部耐固性，其允許吾人獲得依據本發明之靶。特別是，於一作用於大於５ＭＨｚ，最好是１０至５０ＭＨｚ間之操作頻率之超音波感應器之選擇及調整適當量測順序後，本製程使用一浸於液體中之靶及具有某些人造缺陷模擬於靶中之減聚力者包含以內部減聚物每單位體積之大小及數目及選擇具有小於等於０﹒１個每立方公分，其係大於０﹒１ｍｍ者，以及，較佳係每立方公分少於０﹒１個大於０﹒０４ｍｍ之減聚物。
本發明同時也屬於陰極濺鍍靶之前驅物，其每立方公分包含少於０﹒１個大於０﹒０４ｍｍ之內部減聚物。
简体摘要：一种具有低位准之粒子发射之阴极溅镀靶，诸靶之前驱物，以及，其获得方法。本发明系有关于阴极溅镀靶，其作动部份系由很纯之铝或很纯之铝合金，其系依据一适当之制程而加以选择，以及，其每立方公分包含不多于０﹒１个大于０﹒１ｍｍ之该靶之作动金属之内部减聚物，特别是用于需要高度之蚀刻细微度时。本发明同时也属于一制程用以超音波测试该内部耐固性，其允许吾人获得依据本发明之靶。特别是，于一作用于大于５ＭＨｚ，最好是１０至５０ＭＨｚ间之操作频率之超音波感应器之选择及调整适当量测顺序后，本制程使用一浸于液体中之靶及具有某些人造缺陷仿真于靶中之减聚力者包含以内部减聚物每单位体积之大小及数目及选择具有小于等于０﹒１个每立方公分，其系大于０﹒１ｍｍ者，以及，较佳系每立方公分少于０﹒１个大于０﹒０４ｍｍ之减聚物。本发明同时也属于阴极溅镀靶之前驱物，其每立方公分包含少于０﹒１个大于０﹒０４ｍｍ之内部减聚物。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式