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    • 6. 发明专利
    • 測試材料之方法
    • 测试材料之方法
    • TW511205B
    • 2002-11-21
    • TW090113214
    • 2001-08-30
    • 哈尼威爾國際公司
    • 魯索 B 葛瑞羅納得 H 費爾明
    • H01L
    • G01N29/4445G01N29/11G01N29/265G01N29/30G01N2291/012G01N2291/015G01N2291/02854G01N2291/2632G01N2291/2698
    • 本發明包括一種測試材料之方法,該材料為諸如濺射標的材料、用於電子應用之其它材料或其它一般需要材料整體均勻性之材料。該方法將至少穿越一部分材料而定出多數位置。音波能量相繼地照射穿越過該多數位置。偵測由音波能量引發之回聲。至少某些偵測的回聲與觸發偵測的回聲之多數位置的各別位置有關。處理與至少一種偵測的回聲之物理屬性相關的訊息以將偵測的回聲分類成材料中雜相的第一組象徵,及非為材料中雜相的第二組。再將第一組回聲分類成數群,而這些群定義為多數位置之毗連位置的回聲。一起分析及考量與一般群相關之個別的回聲以產生與材料中之雜相有關的訊息。
    • 本发明包括一种测试材料之方法,该材料为诸如溅射标的材料、用于电子应用之其它材料或其它一般需要材料整体均匀性之材料。该方法将至少穿越一部分材料而定出多数码置。音波能量相继地照射穿越过该多数码置。侦测由音波能量引发之回声。至少某些侦测的回声与触发侦测的回声之多数码置的各别位置有关。处理与至少一种侦测的回声之物理属性相关的消息以将侦测的回声分类成材料中杂相的第一组象征,及非为材料中杂相的第二组。再将第一组回声分类成数群,而这些群定义为多数码置之毗连位置的回声。一起分析及考量与一般群相关之个别的回声以产生与材料中之杂相有关的消息。