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热词
    • 1. 发明专利
    • 含有粒狀物質的排廢氣淨化用過濾器,該排廢氣的淨化方法及裝置
    • 含有粒状物质的排废气净化用过滤器,该排废气的净化方法及设备
    • TW200521314A
    • 2005-07-01
    • TW093136303
    • 2004-11-25
    • 巴布考克日立股份有限公司 BABCOCK-HITACHI KABUSHIKI KAISHA
    • 加藤泰良道本孝司宮本英治今田尚美藤澤雅敏小林和樹 KOBAYASHI, KAZUKI石浩廣田健
    • F01N
    • F01N3/0231B01D53/9431B01J35/04F01N3/022F01N3/035F01N2330/42
    • 本發明之目的係在於提供不易產生堵塞或灰成分之堵塞,不須要設置回流沖刷或煤的加熱燃燒之特別手段,並且能以廉價的材料構成之粒狀物質的去除過濾器、使用此過濾器之排廢氣淨化方法及裝置。其解決手段為:(1)本發明之含有粒狀物質的排廢氣淨化用過濾器,係具有積層體,該積層體係以受載有排廢氣淨化觸媒之多孔質波板與多孔質平板的一組為基本單位,且積層成該多孔質波板的波板稜線交互地正交者,而與該成形體的前述波板稜線呈正交之側面的其中一個面、或該正交的側面也就是相互地鄰接的2個面被密封,經由前述多孔質平板,以在與前述多孔質波板之間分別形成排廢氣之流入路徑與流出路徑。(2)前述排廢氣淨化觸媒係氧化排廢氣中的一氧化氮之氧化觸媒。
    • 本发明之目的系在于提供不易产生堵塞或灰成分之堵塞,不须要设置回流冲刷或煤的加热燃烧之特别手段,并且能以廉价的材料构成之粒状物质的去除过滤器、使用此过滤器之排废气净化方法及设备。其解决手段为:(1)本发明之含有粒状物质的排废气净化用过滤器,系具有积层体,该积层体系以受载有排废气净化触媒之多孔质波板与多孔质平板的一组为基本单位,且积层成该多孔质波板的波板棱线交互地正交者,而与该成形体的前述波板棱线呈正交之侧面的其中一个面、或该正交的侧面也就是相互地邻接的2个面被密封,经由前述多孔质平板,以在与前述多孔质波板之间分别形成排废气之流入路径与流出路径。(2)前述排废气净化触媒系氧化排废气中的一氧化氮之氧化触媒。
    • 7. 发明专利
    • NZP形式耐火結構以及製造與使用方法
    • NZP形式耐火结构以及制造与使用方法
    • TW499405B
    • 2002-08-21
    • TW089123926
    • 2000-11-10
    • 康寧公司
    • 格羅亞伯莫克
    • C04B
    • C04B38/00B01D39/2068B01D39/2075C04B35/16C04B35/447C04B38/0006C04B2111/00198C04B2111/00793F01N3/022F01N2330/14F01N2370/22Y10S55/30Y10T428/24149C04B35/48C04B38/0051C04B38/0058C04B38/0074C04B38/068
    • 一種主要由NZP形式相所構成之結構體,其一般分子式為RxZ4P6-ySiyO24,其中0≦x≦8,0≦y≦6,R由Li,Na,K,Rb,Cs,Mg,Ca,Sr,Ba,Y及/或鑭系元素選取出,以及Z為Zr,Ti, Nb,Ta,Y,及/或鑭系元素,以及附加上燒結添加物。結構體具有至少20%體積比開放孔隙率,以微米為單位之中間值孔隙直徑大於或等於[10-0.10(%開放孔隙率)]所界定出之值,兩者孔隙率以汞孔隙儀量測,以及對實心圓形斷面桿件量測之四點破裂模數至少為300psi。製造結構體方法包含形成混合物,其由形成NZP原料粉末所構成,該粉末包含能夠反應形成NZP形式反應產物之金屬氧化來源,及/或預先反應粉末,其具有上述分子式。原料組成份中原料粉末中間值顆粒直徑體積平均值至少為15微米,至少65%之所有原料顆粒體積大於11微米。將混合物成形為生結構體,以及煆燒生結構體以產生具有NZP形式相之煆燒結構體。結構體優先為多小室例如為蜂巢體,流體進入結構體,通過小室以及產生反應以及離開結構體。結構體優先地為交替性封閉之蜂巢體適合作為柴油顆粒過濾器。
    • 一种主要由NZP形式相所构成之结构体,其一般分子式为RxZ4P6-ySiyO24,其中0≦x≦8,0≦y≦6,R由Li,Na,K,Rb,Cs,Mg,Ca,Sr,Ba,Y及/或镧系元素选取出,以及Z为Zr,Ti, Nb,Ta,Y,及/或镧系元素,以及附加上烧结添加物。结构体具有至少20%体积比开放孔隙率,以微米为单位之中间值孔隙直径大于或等于[10-0.10(%开放孔隙率)]所界定出之值,两者孔隙率以汞孔隙仪量测,以及对实心圆形断面杆件量测之四点破裂模数至少为300psi。制造结构体方法包含形成混合物,其由形成NZP原料粉末所构成,该粉末包含能够反应形成NZP形式反应产物之金属氧化来源,及/或预先反应粉末,其具有上述分子式。原料组成份中原料粉末中间值颗粒直径体积平均值至少为15微米,至少65%之所有原料颗粒体积大于11微米。将混合物成形为生结构体,以及煅烧生结构体以产生具有NZP形式相之煅烧结构体。结构体优先为多小室例如为蜂巢体,流体进入结构体,通过小室以及产生反应以及离开结构体。结构体优先地为交替性封闭之蜂巢体适合作为柴油颗粒过滤器。
    • 10. 发明专利
    • 包含粒子分離器之CVD設備
    • 包含粒子分离器之CVD设备
    • TW201439363A
    • 2014-10-16
    • TW103102084
    • 2014-01-21
    • 愛思強歐洲公司AIXTRON SE
    • 高瑞斯 威爾菲德GOERES, WILFRIED列能 皮爾LEHNEN, PEER摩爾曼 安里希MALLMANN, HEINRICH
    • C23C16/455C23C16/54B01D46/00B01D46/52B08B15/00
    • C23C16/4412B01D46/0075F01N3/022F01N3/0233F01N3/0237F01N2450/30Y02C20/30
    • 本發明係關於一種用於在反應器殼體(1)之處理室(8)內塗佈基板的裝置,包括有用於將處理氣體導入處理室(8)的進氣機構(11)、及用於將廢氣流自處理室(8)導入粒子過濾器(4)的出氣機構(10),而該粒子過濾器係佈置於粒子分離器殼體(3)內,且具有多孔的過濾介質(16),用於從廢氣流中濾除處理氣體反應時所形成的粒子。為了改良CVD或PVD裝置上之粒子過濾器之過濾效率、並提供一種能達成此目的之粒子過濾器,本發明提出如下解決方案:選擇過濾介質(16)之孔徑與表面特性,使得廢氣流中的粒子附著於過濾介質(16)之表面,但不進入過濾介質(16)內,而且,諸粒子在過濾介質(16)外部生長成聚結物,其中,設有藉由機械地移除諸聚結物來清潔其粒子過濾器(4)的質量加速裝置。
    • 本发明系关于一种用于在反应器壳体(1)之处理室(8)内涂布基板的设备,包括有用于将处理气体导入处理室(8)的进气机构(11)、及用于将废气流自处理室(8)导入粒子过滤器(4)的出气机构(10),而该粒子过滤器系布置于粒子分离器壳体(3)内,且具有多孔的过滤介质(16),用于从废气流中滤除处理气体反应时所形成的粒子。为了改良CVD或PVD设备上之粒子过滤器之过滤效率、并提供一种能达成此目的之粒子过滤器,本发明提出如下解决方案:选择过滤介质(16)之孔径与表面特性,使得废气流中的粒子附着于过滤介质(16)之表面,但不进入过滤介质(16)内,而且,诸粒子在过滤介质(16)外部生长成聚结物,其中,设有借由机械地移除诸聚结物来清洁其粒子过滤器(4)的质量加速设备。