会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 9. 发明专利
    • 高溫過濾器組件
    • 高温过滤器组件
    • TW201722533A
    • 2017-07-01
    • TW105121712
    • 2016-07-07
    • 坎菲爾公司CAMFIL AB
    • 英格隆登 弗瑞德瑞克ENGLUND, FREDRIK修格爾特 斯維爾坷HUGERT, SVERKER
    • B01D25/02B01D46/10B01D46/52
    • B01D46/0005B01D39/2017B01D46/0002B01D46/523B01D46/526B01D2201/0415B01D2201/127B01D2201/605B01D2265/04B01D2265/06B01D2273/20
    • 本發明揭示一種用於高溫應用之高效空氣過濾器組件(100),其包括:一過濾器芯(102),其包含:一單一透氣性過濾器介質片,其以手風琴方式折疊以形成複數個並排褶襉,其中在兩個相對側上具有曲折邊緣且在另兩側上具有平板;及一間隔物部件,其位於連續褶襉之相對壁之間;一盒形金屬框架(108),其在四個側上以一氣密接合圍封該過濾器芯以界定延伸於該組件之上游側與下游側之間的一氣流開口,其中該單一透氣性過濾器介質片之該等曲折邊緣密封地嵌入該框架中之一固體無機密封劑組合物(118)中,且其中該單一透氣性過濾器介質片較佳地由一無黏合劑玻璃或礦物纖維過濾器介質組成。在其中過濾器組件被重複或連續地加熱至200℃至500℃之範圍內之一溫度之高溫應用中使用該高效空氣過濾器組件。
    • 本发明揭示一种用于高温应用之高效空气过滤器组件(100),其包括:一过滤器芯(102),其包含:一单一透气性过滤器介质片,其以手风琴方式折叠以形成复数个并排褶裥,其中在两个相对侧上具有曲折边缘且在另两侧上具有平板;及一间隔物部件,其位于连续褶裥之相对壁之间;一盒形金属框架(108),其在四个侧上以一气密接合围封该过滤器芯以界定延伸于该组件之上游侧与下游侧之间的一气流开口,其中该单一透气性过滤器介质片之该等曲折边缘密封地嵌入该框架中之一固体无机密封剂组合物(118)中,且其中该单一透气性过滤器介质片较佳地由一无黏合剂玻璃或矿物纤维过滤器介质组成。在其中过滤器组件被重复或连续地加热至200℃至500℃之范围内之一温度之高温应用中使用该高效空气过滤器组件。
    • 10. 发明专利
    • 包含粒子分離器之CVD設備
    • 包含粒子分离器之CVD设备
    • TW201439363A
    • 2014-10-16
    • TW103102084
    • 2014-01-21
    • 愛思強歐洲公司AIXTRON SE
    • 高瑞斯 威爾菲德GOERES, WILFRIED列能 皮爾LEHNEN, PEER摩爾曼 安里希MALLMANN, HEINRICH
    • C23C16/455C23C16/54B01D46/00B01D46/52B08B15/00
    • C23C16/4412B01D46/0075F01N3/022F01N3/0233F01N3/0237F01N2450/30Y02C20/30
    • 本發明係關於一種用於在反應器殼體(1)之處理室(8)內塗佈基板的裝置,包括有用於將處理氣體導入處理室(8)的進氣機構(11)、及用於將廢氣流自處理室(8)導入粒子過濾器(4)的出氣機構(10),而該粒子過濾器係佈置於粒子分離器殼體(3)內,且具有多孔的過濾介質(16),用於從廢氣流中濾除處理氣體反應時所形成的粒子。為了改良CVD或PVD裝置上之粒子過濾器之過濾效率、並提供一種能達成此目的之粒子過濾器,本發明提出如下解決方案:選擇過濾介質(16)之孔徑與表面特性,使得廢氣流中的粒子附著於過濾介質(16)之表面,但不進入過濾介質(16)內,而且,諸粒子在過濾介質(16)外部生長成聚結物,其中,設有藉由機械地移除諸聚結物來清潔其粒子過濾器(4)的質量加速裝置。
    • 本发明系关于一种用于在反应器壳体(1)之处理室(8)内涂布基板的设备,包括有用于将处理气体导入处理室(8)的进气机构(11)、及用于将废气流自处理室(8)导入粒子过滤器(4)的出气机构(10),而该粒子过滤器系布置于粒子分离器壳体(3)内,且具有多孔的过滤介质(16),用于从废气流中滤除处理气体反应时所形成的粒子。为了改良CVD或PVD设备上之粒子过滤器之过滤效率、并提供一种能达成此目的之粒子过滤器,本发明提出如下解决方案:选择过滤介质(16)之孔径与表面特性,使得废气流中的粒子附着于过滤介质(16)之表面,但不进入过滤介质(16)内,而且,诸粒子在过滤介质(16)外部生长成聚结物,其中,设有借由机械地移除诸聚结物来清洁其粒子过滤器(4)的质量加速设备。