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    • 1. 发明专利
    • 包含粒子分離器之CVD設備
    • 包含粒子分离器之CVD设备
    • TW201439363A
    • 2014-10-16
    • TW103102084
    • 2014-01-21
    • 愛思強歐洲公司AIXTRON SE
    • 高瑞斯 威爾菲德GOERES, WILFRIED列能 皮爾LEHNEN, PEER摩爾曼 安里希MALLMANN, HEINRICH
    • C23C16/455C23C16/54B01D46/00B01D46/52B08B15/00
    • C23C16/4412B01D46/0075F01N3/022F01N3/0233F01N3/0237F01N2450/30Y02C20/30
    • 本發明係關於一種用於在反應器殼體(1)之處理室(8)內塗佈基板的裝置,包括有用於將處理氣體導入處理室(8)的進氣機構(11)、及用於將廢氣流自處理室(8)導入粒子過濾器(4)的出氣機構(10),而該粒子過濾器係佈置於粒子分離器殼體(3)內,且具有多孔的過濾介質(16),用於從廢氣流中濾除處理氣體反應時所形成的粒子。為了改良CVD或PVD裝置上之粒子過濾器之過濾效率、並提供一種能達成此目的之粒子過濾器,本發明提出如下解決方案:選擇過濾介質(16)之孔徑與表面特性,使得廢氣流中的粒子附著於過濾介質(16)之表面,但不進入過濾介質(16)內,而且,諸粒子在過濾介質(16)外部生長成聚結物,其中,設有藉由機械地移除諸聚結物來清潔其粒子過濾器(4)的質量加速裝置。
    • 本发明系关于一种用于在反应器壳体(1)之处理室(8)内涂布基板的设备,包括有用于将处理气体导入处理室(8)的进气机构(11)、及用于将废气流自处理室(8)导入粒子过滤器(4)的出气机构(10),而该粒子过滤器系布置于粒子分离器壳体(3)内,且具有多孔的过滤介质(16),用于从废气流中滤除处理气体反应时所形成的粒子。为了改良CVD或PVD设备上之粒子过滤器之过滤效率、并提供一种能达成此目的之粒子过滤器,本发明提出如下解决方案:选择过滤介质(16)之孔径与表面特性,使得废气流中的粒子附着于过滤介质(16)之表面,但不进入过滤介质(16)内,而且,诸粒子在过滤介质(16)外部生长成聚结物,其中,设有借由机械地移除诸聚结物来清洁其粒子过滤器(4)的质量加速设备。