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1. 发明专利

TW200510628A 微粒子去除裝置以及具有該裝置之柴油車审中-公开
简体标题：微粒子去除设备以及具有该设备之柴油车
公开(公告)号：TW200510628A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：TW093127281
申请日：2004-09-09
申请人：歐田股份有限公司 O-DEN CORPORATION
发明人：遠藤清武 KIYOMU ENDO
IPC分类号： F01N
CPC分类号： F01N3/022 , F01N3/021 , F01N3/0211 , F01N3/0218 , F01N3/0222 , F01N3/0237 , F01N3/031 , F01N3/035 , F01N9/002 , F01N13/0097 , F01N13/1827 , F01N13/1894 , F01N2240/20 , F01N2250/02 , F01N2260/10 , F01N2330/02 , F01N2330/32 , F01N2330/38 , F01N2330/40 , F01N2410/14 , F01N2450/22 , F01N2450/24 , F01N2450/30 , F01N2470/08 , F01N2560/08
摘要：【課題】提供一種能使阻塞之過濾器容易且低成本地再生使用的柴油微粒子去除裝置。【解決手段】一種微粒子去除裝置包括：外管(4)，組合入柴油引擎(1)排出路徑(2)上，於柴油排出氣體(3)流入側與流出側具有開口；以及複數過濾器(5，5)，收納安裝於前述外管(4)，用於捕捉或捕捉後加以燃燒去除前述柴油排出氣體(3)中之微粒子，其中，前述複數過濾器(5，5)，係沿著前述柴油排出氣體(3)之流動方向相互連接，而且，前述柴油排出氣體(3)之流入口管(6)與流出口管(7)也組合在一起，當除去流入側與流出側時，則構成密封構造之內管。
简体摘要：【课题】提供一种能使阻塞之过滤器容易且低成本地再生使用的柴油微粒子去除设备。【解决手段】一种微粒子去除设备包括：外管(4)，组合入柴油发动机(1)排出路径(2)上，于柴油排出气体(3)流入侧与流出侧具有开口；以及复数过滤器(5，5)，收纳安装于前述外管(4)，用于捕捉或捕捉后加以燃烧去除前述柴油排出气体(3)中之微粒子，其中，前述复数过滤器(5，5)，系沿着前述柴油排出气体(3)之流动方向相互连接，而且，前述柴油排出气体(3)之流入口管(6)与流出口管(7)也组合在一起，当除去流入侧与流出侧时，则构成密封构造之内管。

2. 发明专利

TW201439363A 包含粒子分離器之ＣＶＤ設備审中-公开
简体标题：包含粒子分离器之ＣＶＤ设备
公开(公告)号：TW201439363A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：TW103102084
申请日：2014-01-21
申请人：愛思強歐洲公司 , AIXTRON SE
发明人：高瑞斯威爾菲德 , GOERES, WILFRIED , 列能皮爾 , LEHNEN, PEER , 摩爾曼安里希 , MALLMANN, HEINRICH
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54 , B01D46/00 , B01D46/52 , B08B15/00
CPC分类号： C23C16/4412 , B01D46/0075 , F01N3/022 , F01N3/0233 , F01N3/0237 , F01N2450/30 , Y02C20/30
摘要：本發明係關於一種用於在反應器殼體(1)之處理室(8)內塗佈基板的裝置，包括有用於將處理氣體導入處理室(8)的進氣機構(11)、及用於將廢氣流自處理室(8)導入粒子過濾器(4)的出氣機構(10)，而該粒子過濾器係佈置於粒子分離器殼體(3)內，且具有多孔的過濾介質(16)，用於從廢氣流中濾除處理氣體反應時所形成的粒子。為了改良CVD或PVD裝置上之粒子過濾器之過濾效率、並提供一種能達成此目的之粒子過濾器，本發明提出如下解決方案：選擇過濾介質(16)之孔徑與表面特性，使得廢氣流中的粒子附著於過濾介質(16)之表面，但不進入過濾介質(16)內，而且，諸粒子在過濾介質(16)外部生長成聚結物，其中，設有藉由機械地移除諸聚結物來清潔其粒子過濾器(4)的質量加速裝置。
简体摘要：本发明系关于一种用于在反应器壳体(1)之处理室(8)内涂布基板的设备，包括有用于将处理气体导入处理室(8)的进气机构(11)、及用于将废气流自处理室(8)导入粒子过滤器(4)的出气机构(10)，而该粒子过滤器系布置于粒子分离器壳体(3)内，且具有多孔的过滤介质(16)，用于从废气流中滤除处理气体反应时所形成的粒子。为了改良CVD或PVD设备上之粒子过滤器之过滤效率、并提供一种能达成此目的之粒子过滤器，本发明提出如下解决方案：选择过滤介质(16)之孔径与表面特性，使得废气流中的粒子附着于过滤介质(16)之表面，但不进入过滤介质(16)内，而且，诸粒子在过滤介质(16)外部生长成聚结物，其中，设有借由机械地移除诸聚结物来清洁其粒子过滤器(4)的质量加速设备。

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