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1. 发明专利

TWI636702B 碳加熱器以及碳加熱器的製造方法有权
简体标题：碳加热器以及碳加热器的制造方法
公开(公告)号：TWI636702B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：TW105139645
申请日：2016-12-01
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：山村和市 , YAMAMURA, WAICHI , 加藤公二 , KATO, KOJI , 狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H05B3/14 , C01B32/20 , C01B35/08

2. 发明专利

TW201641419A 被覆石墨構件审中-公开
简体标题：被覆石墨构件
公开(公告)号：TW201641419A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW105109314
申请日：2016-03-25
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： C01B31/04 , C23C16/04 , C23C16/38
摘要：本發明的目的是提供一種在減壓或真空下難以產生被覆膜內外的壓力差且耐熱衝擊、不容易發生被覆膜剝離的被覆石墨構件。本發明是一種在石墨基材表面被覆有PBN、PG、SiC、TaC等不同材料的被覆石墨構件，其特徵在於，該石墨基材的一部分露出。該石墨基材的露出部具有相對於基材表面呈凹形狀的沉頭孔或螺絲孔形狀，其面積較佳為1 mm2 以上且1200 mm2 以下。
简体摘要：本发明的目的是提供一种在减压或真空下难以产生被覆膜内外的压力差且耐热冲击、不容易发生被覆膜剥离的被覆石墨构件。本发明是一种在石墨基材表面被覆有PBN、PG、SiC、TaC等不同材料的被覆石墨构件，其特征在于，该石墨基材的一部分露出。该石墨基材的露出部具有相对于基材表面呈凹形状的沉头孔或螺丝孔形状，其面积较佳为1 mm2 以上且1200 mm2 以下。

3. 发明专利

TWI588090B 被覆石墨構件有权
简体标题：被覆石墨构件
公开(公告)号：TWI588090B
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：TW105109314
申请日：2016-03-25
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： C01B31/04 , C23C16/04 , C23C16/38

4. 发明专利

TW201722197A 碳加熱器以及碳加熱器的製造方法审中-公开
简体标题：碳加热器以及碳加热器的制造方法
公开(公告)号：TW201722197A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105139645
申请日：2016-12-01
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：山村和市 , YAMAMURA, WAICHI , 加藤公二 , KATO, KOJI , 狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H05B3/14 , C01B31/04 , C01B35/08
摘要：本發明的目的在於提供一種具有準確的電阻值、發熱分佈均勻且長壽命的碳加熱器及其製造方法。本發明是一種包含電阻率實質上具有2D正交各向異性的碳基材、且主發熱部為大致圓筒形狀或大致圓盤形狀的碳加熱器，並且其特徵在於：碳加熱器中心軸方向與碳基材的電阻率的各向異性方向實質上一致。另外，本發明是一種主發熱部為具有旋轉對稱性或螺旋對稱性的形狀的碳加熱器，並且其特徵在於：碳加熱器形狀的旋轉軸方向或螺旋軸方向與碳基材的電阻率的各向異性方向實質上一致。
简体摘要：本发明的目的在于提供一种具有准确的电阻值、发热分布均匀且长寿命的碳加热器及其制造方法。本发明是一种包含电阻率实质上具有2D正交各向异性的碳基材、且主发热部为大致圆筒形状或大致圆盘形状的碳加热器，并且其特征在于：碳加热器中心轴方向与碳基材的电阻率的各向异性方向实质上一致。另外，本发明是一种主发热部为具有旋转对称性或螺旋对称性的形状的碳加热器，并且其特征在于：碳加热器形状的旋转轴方向或螺旋轴方向与碳基材的电阻率的各向异性方向实质上一致。

5. 发明专利

TW201448657A 陶瓷加熱器审中-公开
简体标题：陶瓷加热器
公开(公告)号：TW201448657A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103108533
申请日：2014-03-12
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H05B3/10 , H05B3/74
CPC分类号： H05B3/03 , H05B3/06 , H05B3/283
摘要：本發明的目的是提供一種陶瓷加熱器，它可用作在單晶製造等中使用的加熱源，即使當連接到供電構件時也能夠防止由墊圈等引起的破損。本發明的特徵在於：在基材上具有由導電構件構成的加熱器圖案和在其上形成的由絕緣性陶瓷構件構成的包覆層的陶瓷加熱器中，導電構件的露出面與包覆層的上表面位置形成在同一平面上。由此，能夠消除導電構件的露出面與周圍的包覆層之間的高低差以及包覆層的邊緣，從而能夠避免以往供電構件的墊圈等碰到周圍的包覆層的邊緣而使包覆層受損傷的問題。
简体摘要：本发明的目的是提供一种陶瓷加热器，它可用作在单晶制造等中使用的加热源，即使当连接到供电构件时也能够防止由垫圈等引起的破损。本发明的特征在于：在基材上具有由导电构件构成的加热器图案和在其上形成的由绝缘性陶瓷构件构成的包覆层的陶瓷加热器中，导电构件的露出面与包覆层的上表面位置形成在同一平面上。由此，能够消除导电构件的露出面与周围的包覆层之间的高低差以及包覆层的边缘，从而能够避免以往供电构件的垫圈等碰到周围的包覆层的边缘而使包覆层受损伤的问题。

6. 发明专利

TW201830487A 加熱元件审中-公开
简体标题：加热组件
公开(公告)号：TW201830487A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106136993
申请日：2017-10-27
申请人：日商信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/683 , H05B3/10 , H05B3/20
摘要：本發明提供一種加熱元件，其可抑制供電端子之腐蝕，耐久性高，製造成本低，且溫度分佈良好。本發明之加熱元件，於其棒狀部之與發熱體連接之連接部，在棒狀部之與發熱體連接之面設有連接手段；在該棒狀部之設有該連接手段之面的相反側之面，形成有用以供電到該加熱元件之供電端子，該供電端子設有用以固定該加熱元件之固定手段；且該棒狀部在該連接手段與該固定手段之間具有中空部。
简体摘要：本发明提供一种加热组件，其可抑制供电端子之腐蚀，耐久性高，制造成本低，且温度分布良好。本发明之加热组件，于其棒状部之与发热体连接之连接部，在棒状部之与发热体连接之面设有连接手段；在该棒状部之设有该连接手段之面的相反侧之面，形成有用以供电到该加热组件之供电端子，该供电端子设有用以固定该加热组件之固定手段；且该棒状部在该连接手段与该固定手段之间具有中空部。

7. 发明专利

TWI548301B 陶瓷加熱器有权
简体标题：陶瓷加热器
公开(公告)号：TWI548301B
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW103108533
申请日：2014-03-12
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：狩野正樹 , KANO, SHOJI
IPC分类号： H05B3/10 , H05B3/74
CPC分类号： H05B3/03 , H05B3/06 , H05B3/283

8. 发明专利

TW201233841A 氮化鋁膜的成膜方法 METHOD FOR FORMING ALUMINUM NITRIDE THIN FILM 审中-公开
简体标题：氮化铝膜的成膜方法 METHOD FOR FORMING ALUMINUM NITRIDE THIN FILM
公开(公告)号：TW201233841A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：TW100138082
申请日：2011-10-20
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：加藤公二 , 狩野正樹 , 山村和市
IPC分类号： C23C , H01L
CPC分类号： C23C16/4404 , C23C16/34 , C23C16/45576
摘要：本發明旨在提供一種氮化鋁膜的成膜方法，可藉由CVD法，形成耐熱衝擊性高，且質地細密的氮化鋁膜。其中，在含鋁原子(Al)的氣體和含氮原子(N)的氣體中，混合含氧原子(O)的氣體，對應由氮化鋁膜被覆的被處理物供給之。
简体摘要：本发明旨在提供一种氮化铝膜的成膜方法，可借由CVD法，形成耐热冲击性高，且质地细密的氮化铝膜。其中，在含铝原子(Al)的气体和含氮原子(N)的气体中，混合含氧原子(O)的气体，对应由氮化铝膜被覆的被处理物供给之。

9. 发明专利

TWI337763B 加熱元件 HEATING ELEMENT 失效
简体标题：加热组件 HEATING ELEMENT
公开(公告)号：TWI337763B
公开(公告)日：2011-02-21
申请号：TW096106788
申请日：2007-02-27
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：木村昇 , 久保田芳宏 , 山村和市 , 狩野正樹
IPC分类号： H01L , H05K
CPC分类号： H01L21/67103 , H05B3/143
摘要：本發明旨在提供一種壽命長且製造成本低之加熱元件，於保護層上形成有電阻係數或硬度經調整過之耐腐蝕層，即使於高溫且具有腐蝕性之氣體環境下，腐蝕性氣體亦難以穿透，而可避免因為導電層特別是供電端子部之腐蝕所造成之劣化，且即使於具有夾持圖案之情形時，亦可作為靜電夾盤發揮高度之功能。
本發明之加熱元件10至少包含有：耐熱性基材1；導電層3，具有形成於該耐熱性基材上之加熱器圖案3a；及絕緣性之保護層4，形成於該導電層上；其特徵為至少於該保護層之上設有耐腐蝕層4p，該耐腐蝕層4p為含氧量在理想配比以下之氧化物。
简体摘要：本发明旨在提供一种寿命长且制造成本低之加热组件，于保护层上形成有电阻系数或硬度经调整过之耐腐蚀层，即使于高温且具有腐蚀性之气体环境下，腐蚀性气体亦难以穿透，而可避免因为导电层特别是供电端子部之腐蚀所造成之劣化，且即使于具有夹持图案之情形时，亦可作为静电夹盘发挥高度之功能。本发明之加热组件10至少包含有：耐热性基材1；导电层3，具有形成于该耐热性基材上之加热器图案3a；及绝缘性之保护层4，形成于该导电层上；其特征为至少于该保护层之上设有耐腐蚀层4p，该耐腐蚀层4p为含氧量在理想配比以下之氧化物。

10. 发明专利

TWI354508B 加熱元件 HEATING ELEMENT 失效
简体标题：加热组件 HEATING ELEMENT
公开(公告)号：TWI354508B
公开(公告)日：2011-12-11
申请号：TW096112817
申请日：2007-04-12
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：木村昇 , 久保田芳宏 , 山村和市 , 狩野正樹
IPC分类号： H05B , H01L
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67098 , H05B3/143 , H05B2203/003
摘要：本發明旨在提供一種壽命長而製造成本低之加熱元件，即使於高溫．腐蝕性氣體環境下，腐蝕性氣體亦難以透射，可避免因導電層(特別是供電端子部)受到腐蝕所造成之劣化。
加熱元件10，至少具有：耐熱性之基材1；導電層3，具有形成於該耐熱性基材上之加熱器圖案3a；及絕緣性之保護層4，形成於該導電層上；其特徵為：於該保護層4上至少具有一耐蝕層4p，該耐蝕層4p由一化合物所構成，該化合物之氮氣透射率在1×10－2cm2/sec以下，且含有第三元素。
简体摘要：本发明旨在提供一种寿命长而制造成本低之加热组件，即使于高温．腐蚀性气体环境下，腐蚀性气体亦难以透射，可避免因导电层(特别是供电端子部)受到腐蚀所造成之劣化。加热组件10，至少具有：耐热性之基材1；导电层3，具有形成于该耐热性基材上之加热器图案3a；及绝缘性之保护层4，形成于该导电层上；其特征为：于该保护层4上至少具有一耐蚀层4p，该耐蚀层4p由一化合物所构成，该化合物之氮气透射率在1×10－2cm2/sec以下，且含有第三元素。

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