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热词
    • 1. 发明专利
    • 混合式化學機械研磨修整器
    • 混合式化学机械研磨修整器
    • TW201714707A
    • 2017-05-01
    • TW104135197
    • 2015-10-27
    • 中國砂輪企業股份有限公司KINIK COMPANY LTD.
    • 周瑞麟CHOU, JUI-LIN邱家豐CHIU, CHIA-FENG陳裕泰CHEN, YU-TAI廖文仁LIAO, WEN-JEN蘇學紳SU, XUE-SHEN
    • B24B53/017H01L21/304
    • B24B53/017B24B53/12
    • 一種混合式化學機械研磨修整器,包括一基座、一第一研磨單元和複數個第二研磨單元,該第一研磨單元包括一第一結合層、設置於該第一結合層上的一研磨單元基板及設置於該研磨單元基板上的一研磨層,該研磨層係一鑽石鍍膜,該鑽石鍍膜表面具有複數個研磨尖端,該第二研磨單元包括一第二結合層、設置於該第二結合層上的一承載柱、設置於該承載柱上的一研磨顆粒及設置於該承載柱和該研磨顆粒之間的的一磨料結合層。利用具有該研磨層的該第一研磨單元和具有該研磨顆粒的該第二研磨單元,可使該化學機械研磨修整器兼具優異的切削力和平坦化能力。
    • 一种混合式化学机械研磨修整器,包括一基座、一第一研磨单元和复数个第二研磨单元,该第一研磨单元包括一第一结合层、设置于该第一结合层上的一研磨单元基板及设置于该研磨单元基板上的一研磨层,该研磨层系一钻石镀膜,该钻石镀膜表面具有复数个研磨尖端,该第二研磨单元包括一第二结合层、设置于该第二结合层上的一承载柱、设置于该承载柱上的一研磨颗粒及设置于该承载柱和该研磨颗粒之间的的一磨料结合层。利用具有该研磨层的该第一研磨单元和具有该研磨颗粒的该第二研磨单元,可使该化学机械研磨修整器兼具优异的切削力和平坦化能力。
    • 7. 发明专利
    • 化學機械研磨修整器及其製法
    • 化学机械研磨修整器及其制法
    • TW201417949A
    • 2014-05-16
    • TW101141305
    • 2012-11-07
    • 中國砂輪企業股份有限公司KINIK COMPANY
    • 王嘉群WANG, CHIA CHUN張凱翔CHANG, KAI HSIANG鄭忠義CHENG, CHUNG YI廖文仁LIAO, WEN JEN
    • B24B37/20
    • B24B53/017B24D18/0009
    • 本發明係有關於一種化學機械研磨修整器及其製法,其方法包括:(A)提供一非平面基板;(B)提供一結合層,係設置於該非平面基板之表面;(C)提供複數個研磨顆粒,係埋設於該結合層之表面;以及(D)加熱硬化該結合層,使該非平面基板在結合層硬化期間進行變形補償而形成一平面基板,且該些研磨顆粒藉由該結合層以固定於該平面基板之表面;其中,於步驟(D)後,該些研磨顆粒之尖端係具有一平坦化之高度。藉此,本發明可有效改善化學機械研磨修整器之基板在加熱硬化過程中所造成之熱變形問題,進而提升化學機械研磨修整器之表面平坦度。
    • 本发明系有关于一种化学机械研磨修整器及其制法,其方法包括:(A)提供一非平面基板;(B)提供一结合层,系设置于该非平面基板之表面;(C)提供复数个研磨颗粒,系埋设于该结合层之表面;以及(D)加热硬化该结合层,使该非平面基板在结合层硬化期间进行变形补偿而形成一平面基板,且该些研磨颗粒借由该结合层以固定于该平面基板之表面;其中,于步骤(D)后,该些研磨颗粒之尖端系具有一平坦化之高度。借此,本发明可有效改善化学机械研磨修整器之基板在加热硬化过程中所造成之热变形问题,进而提升化学机械研磨修整器之表面平坦度。