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热词
    • 1. 发明专利
    • 拋光墊修整器
    • 抛光垫修整器
    • TW201600242A
    • 2016-01-01
    • TW103120952
    • 2014-06-18
    • 中國砂輪企業股份有限公司KINIK COMPANY
    • 周瑞麟王嘉群邱家豐林欣穎
    • B24B53/02B24B53/12
    • B24B53/017
    • 本創作提供一拋光墊修整器,其包含:一基板,其包含複數內凹成型於該基板之表面的內凹部;複數固定基座,各固定基座包含一底部、一頂部、至少一凹槽與一斜面,該底部設於對應之內凹部內,該頂部接合於該底部,所述之凹槽內凹成型於該頂部,該斜面自該頂部與該底部之接觸面往該凹槽傾斜成型,且該斜面與該內凹部之側壁間具有一夾角與一容置空間;與複數設於所述之凹槽內的磨料。本創作對拋光墊進行修整時,拋光墊於該容置空間中彈回其自然厚度,不再受限於磨料尺寸,使得磨料增加對拋光墊之切削深度,藉此增加切削、修整的效果。
    • 本创作提供一抛光垫修整器,其包含:一基板,其包含复数内凹成型于该基板之表面的内凹部;复数固定基座,各固定基座包含一底部、一顶部、至少一凹槽与一斜面,该底部设于对应之内凹部内,该顶部接合于该底部,所述之凹槽内凹成型于该顶部,该斜面自该顶部与该底部之接触面往该凹槽倾斜成型,且该斜面与该内凹部之侧壁间具有一夹角与一容置空间;与复数设于所述之凹槽内的磨料。本创作对抛光垫进行修整时,抛光垫于该容置空间中弹回其自然厚度,不再受限于磨料尺寸,使得磨料增加对抛光垫之切削深度,借此增加切削、修整的效果。
    • 3. 发明专利
    • 化學機械研磨修整器之尖點檢測方法及裝置
    • 化学机械研磨修整器之尖点检测方法及设备
    • TW201442825A
    • 2014-11-16
    • TW102116517
    • 2013-05-09
    • 中國砂輪企業股份有限公司KINIK COMPANY
    • 周瑞麟CHOU, JUI LIN王嘉群WANG, CHIA CHUN邱家豐CHIU, CHIA FENG廖文仁LIAO, WEN JEN
    • B24B49/18
    • B24B53/017B24B49/12B24B49/18
    • 本發明係有關於一種化學機械研磨修整器之尖點檢測方法及裝置,包括:提供一染色裝置,係包括一染色層;提供一化學機械研磨修整器,其含有一基板、一結合層、及複數個研磨顆粒,該些研磨顆粒係藉由該結合層以固定於該基板上;將該化學機械研磨修整器之該些研磨顆粒朝向該染色裝置,並提供一向下作用力使該化學機械研磨修整器接觸於該染色層;以及將該化學機械研磨修整器與該染色裝置進行分離,使具有一特定突出高度之研磨顆粒形成表面附著有該染色層之一染色研磨顆粒,且該染色研磨顆粒係判定為破壞該化學機械研磨修整器平坦度之缺陷。
    • 本发明系有关于一种化学机械研磨修整器之尖点检测方法及设备,包括:提供一染色设备,系包括一染色层;提供一化学机械研磨修整器,其含有一基板、一结合层、及复数个研磨颗粒,该些研磨颗粒系借由该结合层以固定于该基板上;将该化学机械研磨修整器之该些研磨颗粒朝向该染色设备,并提供一向下作用力使该化学机械研磨修整器接触于该染色层;以及将该化学机械研磨修整器与该染色设备进行分离,使具有一特定突出高度之研磨颗粒形成表面附着有该染色层之一染色研磨颗粒,且该染色研磨颗粒系判定为破坏该化学机械研磨修整器平坦度之缺陷。