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    • 10. 发明公开
    • 수평 공정 라인의 디스미어 모듈 및 그러한 디스미어 모듈로부터 디스미어 입자를 분리 및 제거하는 방법
    • 水平生产线的除胶渣模块和从这种除胶渣模块分离和去除去胶渣颗粒的方法
    • KR1020170078657A
    • 2017-07-07
    • KR1020177011761
    • 2015-10-15
    • 아토테크더치랜드게엠베하
    • 스쿠핀안드레아스그뤼쓰너슈테판
    • H05K3/00
    • H05K3/0055B81C1/00539H05K3/00H05K3/0088H05K2203/0796H05K2203/1545
    • 본발명은침전물의제거를위한피처리기판상에서의금속, 특히구리퇴적을위한수평갈바닉또는습식-화학공정라인을위한디스미어모듈에관한것으로, 이는디스미어유닛에연결될수 있는디스미어용기, 펌프및 상기펌프를상기디스미어유닛에연결하기위한적어도제 1 액체연결요소를포함하고, 상기펌프는상기적어도제 1 액체연결요소에의해상기디스미어유닛과연관되고, 상기디스미어모듈의내부에상기펌프의흡입영역의위에있는처리액체레벨이제공되고, 상기디스미어모듈은, 추가로, 적어도제 1 액체영역, 상기펌프의상기흡입영역을포함하는인접한적어도제 2 액체영역, 및상기적어도제 1 액체영역과상기적어도제 2 액체영역사이에배열된적어도제 1 분리요소를포함한다. 본발명은추가로, 상기디스미어모듈로부터디스미어입자를선택적으로분리하고후속하여제거하는방법에관한것이다.
    • 本发明目标衬底sangeseoui金属,特别是水平电偶或湿为用于除去沉积物涉及去污模块为其除污单元去污可连接到泵容器的化学工艺线铜沉积,和 所述泵包括至少一个第一流体连接元件,用于连接到去污单元到泵,并且所述至少第一和通过与去污单元,所述泵以去污模块的内部相关联的第一流体联接元件 被提供的吸入区域上方的处理液水平,去污模块,此外,至少一个第一液体区,邻近于至少一个第二流体区域包括泵的吸入区域中,并且所述至少第一液体 并且至少第一分离元件布置在所述区域与所述至少第二液体区域之间。 本发明进一步涉及一种用于选择性地分离并随后从去除污秽模块去除去沾污颗粒的方法。