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    • 3. 发明授权
    • 다층 배선 구조를 이용한 고용량 권선 인덕터 및 그 제조방법
    • KR102393721B1
    • 2022-05-04
    • KR1020200154901
    • 2020-11-18
    • H01F17/00H05K1/16
    • 본발명의일실시예에따르면, 기판의제1 면에서제2 면까지관통형성되어전기신호를전달하는복수의전도성비아, 상기기판의제1 면에형성되고상기복수의전도성비아중에서두개를연결하는복수의제1 내측패턴, 상기기판의제1 면으로부터상기제1 내측패턴보다멀리형성되고상기복수의전도성비아중에서상기제1 내측패턴이연결하지않은두개를연결하는복수의제1 외측패턴, 상기기판의제2 면에형성되고상기복수의전도성비아중에서두개를연결하는복수의제2 내측패턴, 및상기기판의제2 면으로부터상기제2 내측패턴보다멀리형성되고상기복수의전도성비아중에서상기제2 내측패턴이연결하지않은두개를연결하는복수의제2 외측패턴을포함하고, 상기복수의전도성비아, 제1 내측패턴, 제2 내측패턴, 제1 외측패턴, 제2 외측패턴이연결되어하나이상의솔레노이드구조를형성하는, 다층배선구조를이용한고용량권선인덕터및 제조방법을제공하며, 기판의양면에다층배선구조를형성하여미세배선공정을적용하지않더라도라인사이의간격을최소화하거나라인이중첩된인덕터를제공할수 있다.