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1. 发明公开

KR1020170026882A 질량분석기용 사중극자 질량 필터 및 이를 포함하는 사중극자 질량분석기 有权
标题翻译：包括其的四极杆质量过滤器和四极杆质谱仪
公开(公告)号：KR1020170026882A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150122617
申请日：2015-08-31
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준 , 안상정 , 윤세원
IPC分类号： H01J49/42 , H01J49/04 , H01J49/06 , G01N27/62
CPC分类号： G01N27/62 , H01J49/42
摘要： 본발명은 4개의전극과상기 4개의전극을고정하기위한절연체홀더를포함하는사중극자질량분석기용사중극자질량필터에관한것으로, 본발명에따른사중극자질량필터는절연체홀더의내부면중 각각의전극과접촉하는부분은평면으로이루어지며, 상기 4개의전극각각은상기절연체홀더와접촉하는부분이평면으로이루어짐으로써, 사중극자의평행도, 직진도및 조립정밀도가우수한사중극자질량분석기를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于四极质谱仪的四极质量过滤器，四极质量过滤器包括四个电极和用于固定四个电极的绝缘体保持器。在根据本发明的四极质量过滤器中，与每个电极接触的绝缘体保持器的内表面的一部分形成为平坦表面，并且四个电极中的每一个的一部分进入与绝缘体保持器接触形成为平坦表面。因此，本发明可以提供四极杆的平行度，直线性和组装精度优异的四极质谱仪。

2. 发明公开

KR1020120123481A 감도 및 질량 분해능이 개선된 사중극자 질량 분석기 无效
标题翻译：具有增强灵敏度和质量分辨力的QUADRUPOLE质谱仪
公开(公告)号：KR1020120123481A
公开(公告)日：2012-11-08
申请号：KR1020127022331
申请日：2011-02-28
申请人： 서모 피니건 엘엘씨
发明人： 쇼언앨런이 , 그로드쥬니어로버트에이
IPC分类号： H01J49/42
CPC分类号： H01J49/4215 , H01J49/0031 , H01J49/0036 , H01J49/025 , H01J49/26 , H01J49/42 , H01J49/421
摘要： 다중극자 기기의 하나 이상의 이온 출구 패턴의 이미지를 공간적 및 시간적으로 분해하는 신규의 방법 및 질량 분석 장치를 소개한다. 특히, 본 발명의 방법 및 구조는 어레이형 검출기를 통해 사중극자 질량 필터의 빔 횡단면에서 시간적 및 공간적 변위의 함수로서 이온 전류를 측정한다. 검출된 사중극자 이온 전류의 선형성은, 재생 가능한 시간적-공간적 구조와 협력하여, 감도 및 질량 분해능이 필수적인 복합 혼합에서 개별 이온종으로부터의 신호들의 기여도의 디컨볼루션을 가능하게 한다.

3. 发明公开

KR1020120060941A 정전 이온 트랩 有权
标题翻译：静电离子阱
公开(公告)号：KR1020120060941A
公开(公告)日：2012-06-12
申请号：KR1020117028183
申请日：2010-05-05
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 브루커,게라르도,에이. , 반앤트워프,케니스,디. , 래스본,쥐.,제프리 , 헤인부흐,스콧,씨. , 스콧,마이클,앤. , 힌치,바바라제인 , 에르마코브,알렉세이브이.
IPC分类号： H01J49/42 , G01N27/62
CPC分类号： H01J49/4245 , H01J49/0063 , H01J49/429 , H01J49/42 , G01N27/62 , H01J49/0027
摘要： 이온 트랩은 제1 및 제2 마주보는 미러 전극들과 이들 사이의 중앙 렌즈를 포함하며, 고유 진동 주파수들에 있는 이온들이 궤적들에 구속되는 정전 포텐셜을 생성하고 구속하는 포텐셜은 비조화인 전극 구조를 포함한다. 이온 트랩은 또한 구속된 이온들을 이온들의 고유 진동 주파수의 2배의 주파수로 여기시키는 여기 주파수(f)를 가지고 바람직하게는 중앙 렌즈에 연결된 AC 여기 소스를 포함한다. 일 실시예에서, 이온 트랩은 AC 여기 주파수와 이온들의 고유 진동 주파수의 약 2배 사이의 주파수 차이를 질량 선택적으로 감소시키는 스캔 제어부를 포함한다.

4. 发明授权

KR101780180B1 질량분석기용 사중극자 질량 필터 및 이를 포함하는 사중극자 질량분석기 有权
公开(公告)号：KR101780180B1
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：KR1020150122617
申请日：2015-08-31
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준 , 안상정 , 윤세원
IPC分类号： H01J49/42 , H01J49/04 , H01J49/06 , G01N27/62
CPC分类号： G01N27/62 , H01J49/42
摘要： 본발명은 4개의전극과상기 4개의전극을고정하기위한절연체홀더를포함하는사중극자질량분석기용사중극자질량필터에관한것으로, 본발명에따른사중극자질량필터는절연체홀더의내부면중 각각의전극과접촉하는부분은평면으로이루어지며, 상기 4개의전극각각은상기절연체홀더와접촉하는부분이평면으로이루어짐으로써, 사중극자의평행도, 직진도및 조립정밀도가우수한사중극자질량분석기를제공할수 있다.

5. 发明公开

KR1020160053115A 희생층을 이용한 이온 트랩 장치 및 그 제작 방법 审中-实审
标题翻译：用于使用真空层进行剥离的装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020160053115A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140149616
申请日：2014-10-30
申请人： 에스케이텔레콤 주식회사 , 서울대학교산학협력단
发明人： 김태현 , 조동일 , 홍석준 , 이민재 , 천홍진 , 최병두
IPC分类号： H01J49/42
CPC分类号： H01J49/0018 , H01J49/42
摘要： 본발명의실시예는반도체기판상에 DC 연결패드, 및상기 DC 연결패드에연결된 DC 레일을포함하는하나이상의중앙 DC전극; 상기 DC 레일에인접하여위치하는하나이상의 RF 레일, 및상기하나이상의 RF 레일에연결된 RF 패드를포함하는 RF 전극; 상기 RF 전극을기준으로상기 DC전극반대측에위치하는하나이상의측방전극패드를포함하는하나이상의측방전극; 및각 전극과상기반도체기판사이에상기각 전극을지지하는절연층을포함하고, 상기각 전극중에서적어도하나의전극은상기절연층으로부터폭 방향으로돌출된돌출부(Overhang)를갖는이온트랩장치및 그제작방법을제공한다.
摘要翻译：本发明的目的是通过在离子捕获电极上实现具有均匀且准确的长度的电极悬垂，通过牺牲来制造最小化绝缘层的侧壁暴露于离子捕获位置的区域的离子捕获结构并且是提高通过离子捕获结构捕获的性能和稳定性。本发明的实施例提供了一种通过使用牺牲层捕获离子的装置及其制造方法。用于捕获离子的装置包括：一个或多个中心DC电极，包括半导体衬底上的DC连接焊盘和连接到DC连接焊盘的DC导轨; RF电极，其包括邻近所述DC导轨设置的至少一个RF轨和连接到所述至少一个RF轨的RF焊盘; 至少一个横向电极，其包括相对于所述RF电极与所述中心DC电极相对设置的至少一个横向电极焊盘; 以及设置在各个电极和半导体衬底之间并且支撑各个电极的绝缘层。各个电极中的至少一个具有从宽度方向从绝缘层突出的突出端。

6. 发明授权

KR101778124B1 일체형 잔류가스 분석계 有权
标题翻译：综合残余气体分析仪
公开(公告)号：KR101778124B1
公开(公告)日：2017-09-13
申请号：KR1020160114624
申请日：2016-09-06
申请人： 주식회사 코어밸런스
发明人： 박창준 , 이규찬 , 박서진 , 임용석 , 조태준 , 이대영
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/42 , H01J49/40
CPC分类号： G01N27/622 , H01J49/403 , H01J49/42
摘要： 본발명은일체형잔류가스분석계에관한것으로, 보다구체적으로는잔류가스이온의전하대질량비값(M/Z)을검지하는센서부; 상기센서부로부터의출력에근거하여잔류가스의분석처리를실시하는잔류가스분석처리부; 및잔류가스분석처리부에서의분석처리결과를화면에표시하는표시부;를구비하며, 상기잔류가스분석처리부는센서부로부터의출력을이온의전하대질량비값(M/Z)의질량스펙트럼으로전환하는신호처리부; 및매번측정할때마다, 검지된잔류가스이온의질량스펙트럼내전하대질량비값(M/Z) 중에적어도하나이상을이의실제값의전하대질량비값과비교하여, 검지된잔류가스이온의전하대질량비값을항상실제값의전하대질량비값과동일하도록보정하는질량위치제어부;를포함하는잔류가스분석계에관한것이다.
摘要翻译：用于检测，并且更具体地euroneun剩余气体离子jeonhadae重量比值（M / Z）的本发明的传感器单元涉及集成的残留气体分析仪; 残余气体分析处理部分，用于基于来自传感器部分的输出来分析残留气体; 和显示分析处理结果eseoui处理单元在显示器上的残余气体分析显示;包括信号处理单元，用于在所述离子的jeonhadae重量比值（M / Z）的质谱中的残留气体分析处理部传感器robuteoui输出转换; 每一次测量每个时间所检测的剩余气体离子光谱内收下腔质量比值（M / Z）来的这个实际值的比较jeonhadae重量比值中的至少一个的质量，检测剩余气体离子jeonhadae的质量比的值实际值与实际值的质量 - 质量比的质荷比。

7. 发明公开

KR1020130124225A 발광 소자의 제작 방법 및 성막 장치 审中-实审
标题翻译：制造发光元件和沉积装置的方法
公开(公告)号：KR1020130124225A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020130050083
申请日：2013-05-03
申请人： 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
发明人： 요코야마고헤이 , 이케다히사오 , 히라사신이치 , 진보야스히로 , 다카세나츠코
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： C23C14/24 , A63F13/327 , C23C14/54 , C23C14/564 , F21S6/002 , F21Y2115/20 , H01J49/004 , H01J49/42 , H01L51/001 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： The present invention provides an organic EL element having high reliability. The present invention provides a deposition device capable of fabricating the organic EL element having high reliability. A first process, which is evaporating by heating deposition materials in a deposition chamber under a decompression condition, and a second process, which is decomposing a layer included in an EL layer in the decomposition chamber, are implemented while measuring the partial pressure of the water inside the decomposition chamber using an exhaust and mass analyzing instrument. When the second process is initiated, the partial pressure of the water is less than the average value of the partial pressure of the water of the first process. Further, the decomposition chamber included in a decomposition device has a decomposition material chamber and an exhaust instrument is connected. The decomposition material chamber is separated from the decomposition chamber by a water valve, comprises a decomposition material maintaining part comprising a heating instrument and a mass analyzing instrument and the exhaust instrument are connected. The diffusion of water from decomposition materials in the decomposition chamber can be restricted, because impurities such as water included in the decomposition material can be sufficiently eliminated at the decomposition material chamber in advance. [Reference numerals] (AA) Pressure;(BB) Temperature;(CC) Water partial pressure;(DD) Temperature of a heating device;(EE) Time
摘要翻译：本发明提供了一种具有高可靠性的有机EL元件。本发明提供能够制造高可靠性的有机EL元件的沉积装置。通过在减压条件下通过在沉积室中加热沉积材料而蒸发的第一工艺和在分解室中包含在EL层中的层分解的第二工艺在测量水的分压在分解室内使用废气和质量分析仪器。当第二过程开始时，水的分压小于第一过程的水的分压的平均值。此外，包含在分解装置中的分解室具有分解材料室和排气装置。分解材料室通过水阀与分解室分离，包括分解材料保持部分，其包括加热仪器和质量分析仪器，并且排气装置连接。由于可以预先在分解物质室充分除去分解物中所含的水分等杂质，因此可以限制分解室内的分解物质的扩散。（参考号）（AA）压力;（BB）温度;（CC）水分压;（DD）加热装置的温度;（EE）时间

8. 发明公开

KR1020130004561A 질량분석법에 의한 분자를 검출하기 위한 방법 无效
标题翻译：通过质谱分析检测分子的方法
公开(公告)号：KR1020130004561A
公开(公告)日：2013-01-11
申请号：KR1020127010654
申请日：2010-09-15
申请人： 비오메리으 , 위니베르시테 끌로드 베르나르 리옹 Ⅰ , 상뜨르 나쇼날 드 라 러쉐르쉬 샹띠피끄
发明人： 르무안느,제롬 , 살바도르,아르노 , 샤리에,쟝-필리프 , 포르뗑,땅귀 , 드고우흐드,필립
IPC分类号： H01J49/26 , G01N33/68
CPC分类号： G01N33/6848 , H01J49/0031 , H01J49/42 , H01J49/427
摘要： 본 발명은 질량분석법에 의해서 시료에서 하나 이상의 대상 분자를 검출하기 위한 방법에 관한 것이며, a) 시료의 분자를 이온화는 단계,
b) 하기의 단계 (i) 및 (ii)는 n 회 실시되고, n은 0, 1, 2, 3 또는 4이다:
(i) 상기 단계에서 얻어진 하나 이상의 이온을 질량분석기에서 대상 분자에 기초해서 선택하는 단계, 및
(ii) 이와 같이 선택된 이온을 분해 셀에서 분해하는 단계,
c) n이 0인 경우에 단계 a), 또는 n이 0 아닌 경우에 단계 b)에서 얻어진 2개 이상의 다른 이온을 질량분석기에서 트랩핑하는 단계, 이와 같이 트랩핑된 상기 2개 이상의 이온이 대상 분자의 특징인 질량-대-전하 비율 m/z을 갖는 단계,
d) 이와 같이 트랩핑된 상기 특징적인 이온을 상기 질량분석기로부터 방출하는 단계, 및
e) 이와 같이 방출된 상기 특징적인 이온을 검출장치에 의해서 검출하는 단계. 본 발명의 방법은 상기 특징적인 이온이 단계 d)와 동일한 시간에 방출되고 단계 e)와 동일한 시간에 검출되는 것을 특징으로 한다.

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