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热词
    • 2. 发明公开
    • 이온빔 조사 장치
    • 离子束辐照器
    • KR1020170098682A
    • 2017-08-30
    • KR1020160149398
    • 2016-11-10
    • 닛신 이온기기 가부시기가이샤
    • 타카하시나오야후지타히데키요시무라요스케사카이시게키
    • H01J37/05
    • H01J49/421H01J37/3171H01J49/065H01J49/30H01J49/463
    • 이온빔에포함되는불필요이온을종래보다도저감한다. 이온원(2)과, 이온원(2)으로부터인출된이온빔(IB)으로부터특정질량및 가수의도펀트이온을선별하여도출하는질량분리기(3)와, 이온빔(IB)이통과하는빔 통과영역을형성함과함께, 필터전압(V)이인가되어소정필터전위(V)가되고, 이온의에너지차를이용하여상기빔 통과영역을통과하는통과이온과통과하지않는비통과이온을선별하는에너지필터를구비하며, 상기통과이온에상기도펀트이온이포함되고, 상기비통과이온에질량분리기(3)에서상기도펀트이온으로는선별되지않는불필요이온의적어도일부가포함되도록필터전위(V)를설정했다.
    • 与常规离子束相比,包含在离子束中的不需要的离子减少。 质量分离器3,用于从从离子源2提取的离子束IB中选择性地提取特定质量和掺杂剂离子;以及光束分离器3,用于提取离子束1B通过的光束通过区域, 一种能量过滤器,用于通过使用离子的能量差来选择未通过束通过区域的非通过离子和穿过束通过区域的未通过离子以变为预定的过滤器电势(V) 并且设定滤波器电位(V),使得通过离子包含掺杂离子,并且未通过的离子中不包含的不需要的离子的至少一部分不被质量分离器(3)中的掺杂剂离子选择。
    • 3. 发明公开
    • 사중극자 이온필터 및 이를 이용한 2차이온 검출 배제방법.
    • QUADRUPOLE MASS FILTER
    • KR1020140075403A
    • 2014-06-19
    • KR1020120143703
    • 2012-12-11
    • 한국기초과학지원연구원
    • 양모김승용김현식
    • H01J49/26H01J49/10G01N27/62
    • H01J49/065H01J49/421H01J49/424Y10T29/49826
    • An ion trap mass spectrometer according to an embodiment of the present invention comprises: an electron emission source; an ion trap which stores ions ionized through a collision with electrons emitted from the electron emission source; a secondary ion filter which blocks secondary ions by the ions selectively emitted from the ion trap; an ion detector which detects the ions selectively emitted from the ion trap, wherein the electron emission source, the ion trap, the secondary ion filter, and the ion detector are coaxially arranged, and the ion trap and the secondary ion filter form a quadrupole. According to the present invention, the ion trap mass spectrometer can meter a pure mass spectrum by excluding secondary ions which cause a background noise signal in a process of detecting ions.
    • 根据本发明实施例的离子阱质谱仪包括:电子发射源; 离子阱,其存储通过与从电子发射源发射的电子碰撞而离子化的离子; 二次离子过滤器,其通过从离子阱选择性地发射的离子阻挡二次离子; 离子检测器,其检测从离子阱选择性地发射的离子,其中电子发射源,离子阱,二次离子过滤器和离子检测器同轴地布置,离子阱和二次离子过滤器形成四极。 根据本发明,离子阱质谱仪可以通过排除在检测离子的过程中引起背景噪声信号的二次离子来测量纯质谱。