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    • 5. 发明授权
    • 일체형 잔류가스 분석계
    • 综合残余气体分析仪
    • KR101778124B1
    • 2017-09-13
    • KR1020160114624
    • 2016-09-06
    • 주식회사 코어밸런스
    • 박창준이규찬박서진임용석조태준이대영
    • G01N27/62H01J49/42H01J49/40
    • G01N27/622H01J49/403H01J49/42
    • 본발명은일체형잔류가스분석계에관한것으로, 보다구체적으로는잔류가스이온의전하대질량비값(M/Z)을검지하는센서부; 상기센서부로부터의출력에근거하여잔류가스의분석처리를실시하는잔류가스분석처리부; 및잔류가스분석처리부에서의분석처리결과를화면에표시하는표시부;를구비하며, 상기잔류가스분석처리부는센서부로부터의출력을이온의전하대질량비값(M/Z)의질량스펙트럼으로전환하는신호처리부; 및매번측정할때마다, 검지된잔류가스이온의질량스펙트럼내전하대질량비값(M/Z) 중에적어도하나이상을이의실제값의전하대질량비값과비교하여, 검지된잔류가스이온의전하대질량비값을항상실제값의전하대질량비값과동일하도록보정하는질량위치제어부;를포함하는잔류가스분석계에관한것이다.
    • 用于检测,并且更具体地euroneun剩余气体离子jeonhadae重量比值(M / Z)的本发明的传感器单元涉及集成的残留气体分析仪; 残余气体分析处理部分,用于基于来自传感器部分的输出来分析残留气体; 和显示分析处理结果eseoui处理单元在显示器上的残余气体分析显示;包括信号处理单元,用于在所述离子的jeonhadae重量比值(M / Z)的质谱中的残留气体分析处理部传感器robuteoui输出转换; 每一次测量每个时间所检测的剩余气体离子光谱内收下腔质量比值(M / Z)来的这个实际值的比较jeonhadae重量比值中的至少一个的质量,检测剩余气体离子jeonhadae的质量比的值 实际值与实际值的质量 - 质量比的质荷比。