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1. 发明公开

KR1020170026882A 질량분석기용 사중극자 질량 필터 및 이를 포함하는 사중극자 질량분석기 有权
标题翻译：包括其的四极杆质量过滤器和四极杆质谱仪
公开(公告)号：KR1020170026882A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020150122617
申请日：2015-08-31
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준 , 안상정 , 윤세원
IPC分类号： H01J49/42 , H01J49/04 , H01J49/06 , G01N27/62
CPC分类号： G01N27/62 , H01J49/42
摘要： 본발명은 4개의전극과상기 4개의전극을고정하기위한절연체홀더를포함하는사중극자질량분석기용사중극자질량필터에관한것으로, 본발명에따른사중극자질량필터는절연체홀더의내부면중 각각의전극과접촉하는부분은평면으로이루어지며, 상기 4개의전극각각은상기절연체홀더와접촉하는부분이평면으로이루어짐으로써, 사중극자의평행도, 직진도및 조립정밀도가우수한사중극자질량분석기를제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于四极质谱仪的四极质量过滤器，四极质量过滤器包括四个电极和用于固定四个电极的绝缘体保持器。在根据本发明的四极质量过滤器中，与每个电极接触的绝缘体保持器的内表面的一部分形成为平坦表面，并且四个电极中的每一个的一部分进入与绝缘体保持器接触形成为平坦表面。因此，本发明可以提供四极杆的平行度，直线性和组装精度优异的四极质谱仪。

2. 发明公开

KR1020160020598A 하전입자 현미경의 입자빔 제어 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于控制充电颗粒显微镜中充电颗粒束的装置和方法
公开(公告)号：KR1020160020598A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 한철수 , 배문섭 , 조복래 , 박인용 , 박창준 , 김주황 , 안상정
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J49/02
CPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28 , H01J49/027 , H01J2231/50047
摘要： 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及带电粒子显微镜中控制带电粒子束的装置和方法。更具体地，控制带电粒子显微镜中的带电粒子束。由此，校正由静电法或磁法的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，以获得样品表面的信息。带电粒子束被发射到期望的位置。由此，能够防止测定的样品表面的图像的变形。图像可以高速获得。样品表面可以被处理成所需的形状。

3. 发明公开

KR1020150058596A 탐침현미경, 이를 이용한 탐침현미경의 정렬방법, 기록매체 및 정렬 시스템 有权
标题翻译：扫描探针显微镜，校准方法，记录介质和使用它的校正系统
公开(公告)号：KR1020150058596A
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020130139831
申请日：2013-11-18
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 한철수 , 안상정 , 박창준 , 박병천 , 조복래 , 박인용
IPC分类号： G01Q20/02 , G01Q10/00
摘要： 본발명은캔틸레버와대물렌즈사이에반사판인스크린을삽입하여광학빔을대물렌즈로직접확인하는방법으로광학빔정렬을용이하게하기위한탐침현미경, 이를이용한탐침현미경의광학빔정렬방법, 기록매체및 탐침현미경의광학빔자동정렬시스템에관한것이다. 이를위하여캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나의정밀한측정을위하여, 캔틸레버의상부면종단에설정되고, 광학빔이입사되는목표위치; 목표위치가포함된캔틸레버를확대하여표시하는확대수단; 확대수단에의해확대표시된캔틸레버를영상으로표시하는영상표시부; 및캔틸레버의연직상부에구비되고, 광학빔의반사광에의해광학빔의입사위치가영상표시부에의해영상으로표시되도록구성되는스크린;을포함하고, 스크린의영상에캔틸레버의영상이오버랩되도록하고, 스크린에서반사되는광학빔의반사광에의한입사위치을이용하여, 광학빔을목표위치에정렬하는것을특징으로하는탐침현미경이제공될수 있다. 이에따르면, 캔틸레버의상부면에정밀한광학빔을정밀하게정렬하여탐침현미경의정밀도를향상시키고, 분석결과의오차가최소화되는효과가있다.
摘要翻译：本发明涉及通过使用通过在悬臂和物镜之间插入作为反射板的屏幕直接确认物镜的光束的方法来简化光束的布置的探针显微镜，通过使用探针显微镜的光束布置方法，记录介质和自动布置探针显微镜的光束的系统。为了实现该目的，提供了一种探针显微镜，其包括设置在悬臂的上表面的端部并且光束进入的目标位置，以精确地测量运动位移，运动频率，和弯曲度; 放大单元，放大并显示包括目标位置的悬臂; 显示由放大单元放大的悬臂的图像显示装置作为图像; 以及安装在悬臂的垂直上部的屏幕，并且形成为使得由图像显示部显示的光束的入射位置作为图像。因此，由于精确的光束精确地布置在悬臂的上表面上，所以提高了探针显微镜的精度并且使分析结果的误差最小化。

4. 发明授权

KR101448199B1 초고진공에서의 미세팁의 클리닝 방법 有权
标题翻译：在超高真空下清洁锋利尖端的方法
公开(公告)号：KR101448199B1
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：KR1020130090248
申请日：2013-07-30
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박인용 , 안상정 , 조복래 , 한철수 , 박창준 , 김주황 , 허인혜
IPC分类号： H01J37/252 , H01L21/66
摘要： The present invention relates to a method for cleaning a metal tip used as a probe for a scanning probe microscope or a source for a particle beam under ultra-high vacuum. Provided is the method for cleaning the metal tip which includes the steps of: a) maintaining vacuum with a pressure of 10^-7 mbar in a chamber including the metal tip; b) introducing nitrogen gas into the chamber; and c) applying a positive voltage to the metal tip in the chamber to which the nitrogen gas is introduced.
摘要翻译：本发明涉及一种在超高真空下清洗用作扫描探针显微镜或粒子束源的金属尖端的方法。提供了用于清洁金属尖端的方法，其包括以下步骤：a）在包括金属尖端的室中保持10 ^ -7毫巴的压力的真空; b）将氮气引入室内; 以及c）向导入氮气的室中的金属尖端施加正电压。

5. 发明授权

KR100816081B1 리액션 셀에 이온을 저장/농축하여 감도를 향상시킨유도결합플라즈마 질량분석기 失效
标题翻译：具有改善敏感性的感应耦合等离子体质谱仪通过在反应池中储存和浓缩离子
公开(公告)号：KR100816081B1
公开(公告)日：2008-03-24
申请号：KR1020060130402
申请日：2006-12-19
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준
IPC分类号： G01N27/62 , G01N27/00
摘要： An inductively coupled plasma mass spectrometer is provided to obtain high-sensitivity analysis results of an ultramicro-element below ppq(10^-15) by concentrating ions of the element to improve concentration of the ions. An inductively coupled plasma mass spectrometer includes a plasma unit(10), an interface(20), an ion lens unit(30), a reaction cell(40), a mass analyzing unit(50), and an ion detector(60). The plasma converts a sample solution into ions. The interface extracts a required component from ion beam of the plasma unit. The ion lens unit focuses the ion beam passed through the interface. The reaction cell removes an interference component from the ions passed through the ion lens unit. The mass analyzing unit removes the remaining ions from the ions without the interference component. The ion detector detects the ions to be analyzed. Ion trap lenses(1a,1b) are installed at an inlet and an outlet of the reaction cell respectively to store and concentrate the ions with pulse voltage according to a fine time control program.
摘要翻译：提供电感耦合等离子体质谱仪，通过浓缩元素的离子以提高离子浓度，获得低于ppq（10 ^ -15）的超微量元素的高灵敏度分析结果。电感耦合等离子体质谱仪包括等离子体单元（10），界面（20），离子透镜单元（30），反应池（40），质量分析单元（50）和离子检测器（60）。等离子体将样品溶液转化为离子。界面从等离子体单元的离子束中提取所需的组分。离子透镜单元将通过界面的离子束聚焦。反应池从通过离子透镜单元的离子中除去干扰成分。质量分析单元从离子中除去剩余的离子而没有干扰成分。离子检测器检测要分析的离子。离子阱透镜（1a，1b）分别安装在反应池的入口和出口，以根据精细的时间控制程序以脉冲电压存储和浓缩离子。

6. 发明公开

KR1020040103274A 평행형 동축 분무기 失效
标题翻译：并联型集中式NEBULIZER易于连接的氩气管和原子化
公开(公告)号：KR1020040103274A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：KR1020030035256
申请日：2003-06-02
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준
IPC分类号： B05B7/06
CPC分类号： B05B7/067 , C08L27/18 , G01N21/62
摘要： PURPOSE: A parallel type concentric nebulizer is provided to easily connect or disconnect an argon gas tube and to discharge more atomized particles having smaller sizes compared to the prior concentric nebulizer. CONSTITUTION: The parallel type concentric nebulizer comprises a main body(37) having a gas connecting part(34) formed on one end thereof and an orifice(39) formed on the other end of the main body and communicated with the gas connecting part(34) on an axis of the gas connecting part, a tube inserting part(36) formed on a side of a periphery of the gas connecting part and obliquely penetrating the main body, a sample injecting tube(32) into which a sample is injected and having an end connected to the tube inserting part, and a fine tube(40) mounted in the main body to be coaxial with the main body and having one end extending to the tube inserting part and the other end extending to the orifice.
摘要翻译：目的：提供一种并联型同心雾化器，以容易地连接或断开氩气管，并排出与现有的同心雾化器相比具有较小尺寸的更多雾化颗粒。构成：平行型同心式雾化器包括主体（37），其主体（37）具有形成在其一端的气体连接部（34）和形成在主体的另一端的孔（39），并与气体连接部 34），气体连接部的轴线上形成的管插入部（36），倾斜地贯穿主体的气体连接部的周边的管插入部（36），注入了样品的样本注入管并且具有连接到管插入部的端部和安装在主体中以与主体同轴并且具有延伸到管插入部的一端并且延伸到孔的另一端的细管（40）。

7. 发明公开

KR1019960042052A 플라즈마 질량 분석기 및 그 제조방법 失效
标题翻译：等离子质谱仪及其制造方法
公开(公告)号：KR1019960042052A
公开(公告)日：1996-12-19
申请号：KR1019950013451
申请日：1995-05-26
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준
IPC分类号： H01J49/26
摘要： 본 발명은 플라즈마 질량 분석기에 관한 것으로서, 플라즈마가 생성되어 있으며 시료 용액을 이온화하는 플라즈마부, 플라즈마부에서 이온화된 시료 이온빔에서 필요한 성분을 추출해내는 인터페이스, 인터페이스를 통과한 시료 이온빔을 포커싱하는 이온 렌즈부, 이온 렌즈부를 통과한 시료 이온중 필요한 성분을 추출하는 사중극자부, 사중극자부에서 추출된 시료 이온을 검출하는 이온 검출부를 포함하는 질량 분석기에 있어서, 진공 체임버와 인터페이스를 차단하는 게이트 밸브 기능을 인터페이스에 구비하고 있으며, 인터페이스는 샘플러콘과 스키머콘 모두를 끼울수 있는 구조로 되어 있고, 이온 렌즈부와 사중극자부가 포함되어 있는 진공 체임버는 알루미늄 기둥을 깎아 만들과, 플라즈마부에 RF 전류를 공급하는 로드 코일은 금도금한 구로 일을 나선형의 홈이 파져 있는 막대에 홈을 따라 감음을 특징으로 하는 플라즈마 질량 분석기에 관한 것이다. 이렇게 함으로써 본 발명은 이온빔의 통과 효율을 높이며, 제작 및 조립이 용이하며 제작비가 싸고 보수 유지가 용이한 플라즈마 질량 분석기를 제공할 수 있다.

8. 实用新型

KR2019960038293U 플라즈마 질량 분석기용 이온 렌즈 失效
标题翻译：等离子体质谱仪的离子透镜
公开(公告)号：KR2019960038293U
公开(公告)日：1996-12-18
申请号：KR2019950011503
申请日：1995-05-26
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준
IPC分类号： H01J49/26

9. 发明公开

KR1019960040462A 초음파 분무기 失效
标题翻译：超声波雾化器
公开(公告)号：KR1019960040462A
公开(公告)日：1996-12-17
申请号：KR1019950013452
申请日：1995-05-26
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준
IPC分类号： B05B17/06
摘要： 본 발명은 초음파 분무기에 관한 것으로서, 에어졸 체임버에서 발생하는 기체의 흐름을 원활하게 하여 시료 분석의 효율을 높을 뿐 아니라 제작이 편리하도록 시료를 에어졸로 변환시키는 트랜스듀서, 트랜스듀서가 생성한 시료 에어졸을 운반하며 에어졸 상태가 되지 못한 시료를 배출하는 배출구를 가지고 있는 에어졸 체임버, 그리고 상기 트랜스듀서 및 에어졸 체임버가 결합될 수 있는 수단을 구비하고 있으며 상기 통로의 벽에는 시료가 공급되는 시료 공급구와 기체를 공급하는 기체 공급구가 형성되어 있는 연결 수단을 포함한다.
또, 전선을 통하여 교류 전류를 공급받는 판형 트랜스듀서, 그리고 내부에 전선이 통과할 수 있는 관통공을 가지고 있는 방열 수단을 포함하며, 상기 전선은 상기 관통공을 통하여 상기 트랜스듀서와 전기적으로 연결되어 있고, 상기 전선은 상기 방열 수단과는 전기적으로 연결되어 있지 않으며, 상기 트랜스듀서의 일면은 상기 전선과 연결되는 부분을 제외하고는 모두 상기 방열 수단과 접촉하도록 한다.

10. 发明授权

KR101134022B1 코일 애노드가 형성된 이온 소스기 및 이를 이용하는 잔류가스 분석장치 有权
标题翻译：具有线圈阳极的离子源和用于分析残留气体的装置
公开(公告)号：KR101134022B1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：KR1020090094009
申请日：2009-10-01
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 박창준
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/08
摘要： 본 발명은 코일 형태의 코일 애노드가 형성된 이온 소스기, 이를 이용하여 잔류가스를 분석하는 잔류가스 분석장치 및 잔류가스 분석방법에 관한 것이다. 간격 없이 압착되어 있는 코일을 일정 코일 간격으로 인장하여 형성되는 코일 애노드를 이온 소스기에 장착하고 이를 통해 가스 분자를 이온화하며 잔류 가스 성분을 분석함으로써 이온 소스기의 오염을 완화하고 장시간 이온 전류를 안정된 상태로 유지할 수 있으며, 소모품에 해당하는 이온 소스기의 교체 주기를 연장할 수 있다. 이를 위해 특히, 열전자 방출을 통해 특정 공간에 분포하는 가스 분자를 이온화하기 위하여 전자빔을 방출하는 원호 형태의 필라멘트(110); 필라멘트(110) 내부의 공간에 위치하며 코일 간격으로 방출된 전자빔을 투과시키는 코일 애노드(120); 및 코일 애노드(120)의 내부에 위치하여 코일 애노드(120)가 장착되는 거치대(130);를 포함하는 것을 특징으로 하는 코일 애노드가 형성된 이온 소스기가 개시된다.
이온원(ion source), 잔류 가스 분석장치(Residual Gas Analyzer), 잔류 가스, 애노드(Anode), 필라멘트

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