专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020150049390A ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치 및 그 방법 有权
标题翻译：装置和分析具有EXB过滤器和延迟分析仪的离子特性的方法
公开(公告)号：KR1020150049390A
公开(公告)日：2015-05-08
申请号：KR1020130129898
申请日：2013-10-30
申请人： 한국과학기술원
发明人： 최원호 , 김호락 , 임유봉 , 선종호
IPC分类号： H01J49/40 , H01J49/30 , G01N27/62
CPC分类号： H01J49/40 , G01N27/62 , H01J49/00 , H01J49/30
摘要： 본발명은, 이온코팅등에적용되는이온에대하여이온의종류, 이온의전하량, 에너지분포를동시에용이하고정밀하게측정할수 있도록하며, 동일에너지를가지는불순물이온을식별할수 있도록하는 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치및 그방법에관한것으로, 상기 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치는, 이온들의진행방향에수직인자기장을인가하고, 이온들의진행방향및 자기장에수직으로필터링전압(Vf)을인가하여특정하전량및 질량의이온들을통과시키는 ExB 필터를포함하는 ExB 필터부;와, 상기 ExB 필터의출구측에연결구성되어, 상기 ExB 필터부로부터입사된이온들에대한이온지연전압(Vr)을가변하여인가하는전압스위핑과정을수행하여이온지연전압에대응하는에너지를가지는이온들을차폐하고, 이온들의차폐에의해감소하는전류를검출하여이온들의이온에너지분포를검출하는전위지연탐침부;를포함하여구성되어, 이온특성정보및 동일에너지를가지는다른하전량의이온, 불순물이온의이온특성정보를동시에용이하고신속하게분석할수 있도록하는효과를제공한다.
摘要翻译：本发明涉及具有ExB滤波器单元和延迟电位探测单元的离子特性分析装置及其方法，其中可以同时存在离子的种类，离子的电荷量和能量分布，容易且精确地测量施加到离子涂层的离子，并且可以区分具有相同能量的杂质离子。离子特性分析装置包括：ExB滤波器单元，用于在离子的流动方向上施加垂直磁场，在离子的流动方向和磁场中垂直施加滤波电压（Vf），并且包括用于通过具有特定电荷量和特定质量的离子; 以及与ExB滤波器的出口侧连接的延迟电位探测单元，通过对从ExB滤波器投射的离子进行改变并施加离子延迟电压（Vr）进行电压扫除，屏蔽具有与离子延迟电压对应的能量的离子并且通过检测通过离子屏蔽减少的电流来检测离子的离子能量分布。可以同时，容易且快速地分析具有离子特性信息和相同能量的不同电荷量的离子和杂质离子的离子特征信息。

2. 发明公开

KR1020050074309A 기판에 주입하는 방법 및 상기 방법을 수행하기 위한 이온주입기 有权
标题翻译：一种用于实施方法的衬底和离子植入物的方法
公开(公告)号：KR1020050074309A
公开(公告)日：2005-07-18
申请号：KR1020050002438
申请日：2005-01-11
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뮤렐,아드리안 , 헤리슨,베르나르드에프. , 에드워드스,피터이보어투도르 , 킨더스레이,피터 , 로리에,크레이그 , 뱅크스,피터미첼 , 사카세,타카오 , 파레이,마빈 , 사토,슈 , 리딩,제오프레이
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/3023 , H01J49/30 , H01J2237/20228 , H01J2237/20285 , H01J2237/24507 , H01J2237/2487 , H01J2237/30488 , H01J2237/31703 , H01J2237/31708 , H01L21/67005 , H01L21/68714 , H01L21/68764
摘要： 주입기는 빔이 기판상에 래스터 스캔 라인들을 그리도록 주입 빔에 대해 기판의 2차원 스캐닝을 제공한다. 빔 전류는 기판의 전환 포인트들에서 측정되고 전류 값은 느린 스캔 방향에서 빔 전류의 임의의 변화 효과에 대한 도즈 균일성에 대해 보상하도록 추후 빠른 스캔 속도를 제어하기 위하여 사용된다. 스캐닝은 비교차 균일 간격 평행 래스터 스캔 라인들을 형성할 수 있고 라인들 사이의 간격은 적당한 도즈 균일성을 보장하기 위해 선택된다.

3. 发明授权

KR101640171B1 리본 이온 빔을 위한 질량 분석 자석 有权
标题翻译：用于RIBBON离子束的质量分析磁体
公开(公告)号：KR101640171B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020117010640
申请日：2009-11-12
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 벤베니스트,빅터,엠. , 버프,제임스,에스. , 싱클레어,프랭크 , 올슨,죠셉,씨.
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J49/30
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J49/30 , H01J2237/022 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/083 , H01J2237/31705
摘要： 제1 및제2 솔레노이드코일들및 강철요크배열을가지는질량분석기자석가개시된다. 각솔레노이드코일들은하나의리본이온빔이관통하는공간을형성하여실질적으로 '경주트랙' 모양을가진다. 상기솔레노이드코일들은리본이온빔의이동방향을따라이격하여위치한다. 각솔레노이드코일들은하나의이온소스로부터생성된이온들의희망하는이미지를생산하기위한넓은리본이온빔들의질량분해를수용하기위해균일한자기장을생성한다.

4. 发明公开

KR1020140047621A 질량 분석 가변 출구 어퍼처 审中-实审
标题翻译：质量分析可变出口孔
公开(公告)号：KR1020140047621A
公开(公告)日：2014-04-22
申请号：KR1020137034045
申请日：2012-05-24
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 함비,윌리암 , 발린스키,조셉
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02 , H01J49/06 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/023 , H01J37/05 , H01J49/30 , H01J2237/0455 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/24514
摘要： 이온 빔라인으로부터 이온 주입 종들의 원치않는 동위체들을 감소시키기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 여기서 기재되는 장치는 이온 빔에 의해 인지되는 바와 같은 출구 어퍼처의 크기를 선택적으로 감소시키는 질량 분석 가변 출구 어퍼처이다. 일 실시예에서, 가변 질량 분석 출구는 분해 어퍼처의 업스트림 위치에서 질량 분석기 내에 위치되고 원치않는 주입 동위체들의 통과를 차단하면서 원하는 주입 동위체(들)의 통과를 허용하도록 출구 어퍼처의 크기를 유효하게 제한하도록 구성된다. 일 특정한 실시예에서, 질량 분석 가변 출구 어퍼처는 빔 가이드에 장착되고, 이는 결국 AMU 자석(들)의 극들 사이에서 장착된다. 기계적 구동 매커니즘은 빔 특성들에 결속된 제어 유닛에 의해 안내되는 바와 같이 점진적인 방식으로 차단 구조가 빔 경로 내로 이동되는 것을 가능하게 한다.

5. 发明公开

KR1020070118027A 분석용 전자석 失效
标题翻译：分析电磁网
公开(公告)号：KR1020070118027A
公开(公告)日：2007-12-13
申请号：KR1020070055828
申请日：2007-06-08
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 도히쇼지로
IPC分类号： H01F7/06
CPC分类号： H01J49/30 , H01J37/1475 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/153 , H01J2237/31701
摘要： An analyzing electromagnet is provided to reduce distortion of a ribbon-shaped ion beam by decreasing non-uniformity of Lorenz force distribution in an x direction. An electromagnet is used for analyzing momentum of an ion beam(2) having a ribbon shape of which a y-directional dimension is larger than an x-directional dimension on a plane crossing a traveling direction. Magnetic poles(80) have a covered shape on a plan view. The magnetic poles are opposite to each other at a spacing in a y direction where the ion beam is inputted. Each magnetic pole is divided into the odd number of magnetic poles along the traveling direction. The spacing of a pair of divided magnetic poles(81,82,83) from an entrance of the ion beam is widened toward an outside of the curved portion.
摘要翻译：提供一种分析电磁铁，通过降低在x方向上的洛伦兹力分布的不均匀性来减少带状离子束的变形。电磁铁用于分析具有y方向尺寸大于沿行进方向的平面上的x方向尺寸的带状的离子束（2）的动量。磁极（80）在平面图上具有覆盖的形状。磁极在输入离子束的y方向上的间隔彼此相对。每个磁极沿行进方向分为奇数个磁极。离开离子束的入口的一对分开的磁极（81,82,83）的间隔朝向弯曲部分的外侧加宽。

6. 发明授权

KR101123841B1 기판에 주입하는 방법 및 상기 방법을 수행하기 위한 이온주입기 有权
标题翻译：一种用于实施方法的衬底和离子植入物的方法
公开(公告)号：KR101123841B1
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：KR1020050002438
申请日：2005-01-11
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 뮤렐,아드리안 , 헤리슨,베르나르드에프. , 에드워드스,피터이보어투도르 , 킨더스레이,피터 , 로리에,크레이그 , 뱅크스,피터미첼 , 사카세,타카오 , 파레이,마빈 , 사토,슈 , 리딩,제오프레이
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/3023 , H01J49/30 , H01J2237/20228 , H01J2237/20285 , H01J2237/24507 , H01J2237/2487 , H01J2237/30488 , H01J2237/31703 , H01J2237/31708 , H01L21/67005 , H01L21/68714 , H01L21/68764
摘要： 주입기는 빔이 기판상에 래스터(raster) 스캔 라인들을 그리도록 주입 빔에 대해 기판의 2차원 스캐닝을 제공한다. 빔 전류는 기판의 전환(turnaround) 포인트들에서 측정되고 전류 값은 저속 스캔 방향에서 빔 전류의 임의의 변화 효과에 대한 선량 균일성(dose uniformity)에 대해 보상하도록 추후 고속 스캔 속도를 제어하기 위하여 사용된다. 스캐닝은 비교차 균일 간격 평행 래스터 스캔 라인들을 형성할 수 있고 라인들 사이의 간격은 적당한 선량 균일성을 보장하기 위해 선택된다.

7. 发明公开

KR1020110093997A 리본 이온 빔을 위한 질량 분석 자석 有权
标题翻译： RIBBON梁的质量分析磁铁
公开(公告)号：KR1020110093997A
公开(公告)日：2011-08-19
申请号：KR1020117010640
申请日：2009-11-12
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 벤베니스트,빅터,엠. , 버프,제임스,에스. , 싱클레어,프랭크 , 올슨,죠셉,씨.
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J49/30
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J49/30 , H01J2237/022 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/083 , H01J2237/31705
摘要： 제1 및 제2 솔레노이드 코일들 및 강철 요크 배열을 가지는 리본 빔 질량 분석기가 개시된다. 각 솔레노이드 코일들은 하나의 이온 리본 빔이 관통하는 공간을 형성하여 실질적으로 '경주 트랙' 모양을 가진다. 상기 솔레노이드 코일들은 리본 빔의 이동 방향을 따라 이격하여 위치한다. 각 솔레노이드 코일들은 하나의 이온 소스로부터 생성된 이온들의 희망하는 이미지를 생산하기 위한 넓은 리본 빔들의 질량 분해를 수용하기 위해 균일한 자기장을 생성한다.

8. 发明授权

KR100920433B1 분석용 전자석 失效
标题翻译：分析电磁网
公开(公告)号：KR100920433B1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：KR1020070055828
申请日：2007-06-08
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 도히쇼지로
IPC分类号： H01F7/06
CPC分类号： H01J49/30 , H01J37/1475 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/153 , H01J2237/31701
摘要： 분석용 전자석(40)에서, 평면도 상의 형상이 만곡된 각각의 자극(80)은 이온 빔(2)의 진행방향을 따라 3개의 부분 자극 쌍(81, 82, 83)으로 분할된다. 이온 빔(2)의 입구로부터 셀 때 제1 부분 자극 쌍(81)과 제3 부분 자극 쌍(83)의 간격은 만곡부의 바깥쪽을 향해 넓어지며, 제2 부분 자극 쌍(82)의 간격은 만곡부의 안쪽을 향해 넓어진다.
분석용 전자석, 이온 빔, 운동량 분석, 부분 자극 쌍

9. 发明授权

KR101915054B1 질량 분석 가변 출구 어퍼처 有权
公开(公告)号：KR101915054B1
公开(公告)日：2018-11-05
申请号：KR1020137034045
申请日：2012-05-24
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 함비,윌리암 , 발린스키,조셉
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02 , H01J49/06 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/023 , H01J37/05 , H01J49/30 , H01J2237/0455 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/24514
摘要： 이온빔라인으로부터이온주입종들의원치않는동위체들을감소시키기위한방법및 장치가제공된다. 여기서기재되는장치는이온빔에의해인지되는바와같은출구어퍼처의크기를선택적으로감소시키는질량분석가변출구어퍼처이다. 일실시예에서, 가변질량분석출구는분해어퍼처의업스트림위치에서질량분석기내에위치되고원치않는주입동위체들의통과를차단하면서원하는주입동위체(들)의통과를허용하도록출구어퍼처의크기를유효하게제한하도록구성된다. 일특정한실시예에서, 질량분석가변출구어퍼처는빔 가이드에장착되고, 이는결국 AMU 자석(들)의극들사이에서장착된다. 기계적구동매커니즘은빔 특성들에결속된제어유닛에의해안내되는바와같이점진적인방식으로차단구조가빔 경로내로이동되는것을가능하게한다.

10. 发明公开

KR1020170098682A 이온빔 조사 장치 审中-实审
标题翻译：离子束辐照器
公开(公告)号：KR1020170098682A
公开(公告)日：2017-08-30
申请号：KR1020160149398
申请日：2016-11-10
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 타카하시나오야 , 후지타히데키 , 요시무라요스케 , 사카이시게키
IPC分类号： H01J37/05
CPC分类号： H01J49/421 , H01J37/3171 , H01J49/065 , H01J49/30 , H01J49/463
摘要： 이온빔에포함되는불필요이온을종래보다도저감한다. 이온원(2)과, 이온원(2)으로부터인출된이온빔(IB)으로부터특정질량및 가수의도펀트이온을선별하여도출하는질량분리기(3)와, 이온빔(IB)이통과하는빔 통과영역을형성함과함께, 필터전압(V)이인가되어소정필터전위(V)가되고, 이온의에너지차를이용하여상기빔 통과영역을통과하는통과이온과통과하지않는비통과이온을선별하는에너지필터를구비하며, 상기통과이온에상기도펀트이온이포함되고, 상기비통과이온에질량분리기(3)에서상기도펀트이온으로는선별되지않는불필요이온의적어도일부가포함되도록필터전위(V)를설정했다.
摘要翻译：与常规离子束相比，包含在离子束中的不需要的离子减少。质量分离器3，用于从从离子源2提取的离子束IB中选择性地提取特定质量和掺杂剂离子;以及光束分离器3，用于提取离子束1B通过的光束通过区域，一种能量过滤器，用于通过使用离子的能量差来选择未通过束通过区域的非通过离子和穿过束通过区域的未通过离子以变为预定的过滤器电势（V）并且设定滤波器电位（V），使得通过离子包含掺杂离子，并且未通过的离子中不包含的不需要的离子的至少一部分不被质量分离器（3）中的掺杂剂离子选择。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式