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1. 发明授权

KR102354054B1 이온 주입 시스템 및 이온 주입 방법 및 정전기 필터의 전도성 빔 광학계 有权
公开(公告)号：KR102354054B1
公开(公告)日：2022-01-24
申请号：KR1020197030141
申请日：2018-03-19
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/05 , H01J37/12
摘要： 이온주입시스템및 이온주입방법및 정전기필터의전도성빔 광학계가본 출원에제공된다. 정전기필터는이온주입시스템의챔버내에있고, EF는외부표면에형성된복수의홈을갖는전도성빔 광학계를포함한다. 파워서플라이는 EF와통신하고, 파워서플라이는전도성빔 광학계에전압및 전류를공급하도록구성된다. 홈또는표면피처를제공함으로써전도성빔 광학계의표면적을증가시키기위한접근법들이본 출원에제공된다.

2. 发明公开

KR20210028250A 다수 하전-입자 빔들을 위한 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20210028250A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：KR20217003844
申请日：2019-07-31
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/28
摘要： 멀티-빔장치에서샘플을관찰하는시스템들및 방법들이개시된다. 하전입자광학시스템은하전입자소스의가상이미지를형성하도록구성되는디플렉터및 이미지평면상에하전입자소스의실제이미지를형성하도록구성되는전달렌즈를포함할수 있다. 이미지평면은적어도소스에의해생성되는일차하전입자들과, 샘플과일차하전입자들의상호작용에의해생성되는이차하전입자들을분리하도록구성되는빔 분리기근처에형성될수 있다. 이미지평면은빔 분리기의편향평면에형성될수 있다. 멀티-빔장치는빔 분리기의분산을보상하기위한하전-입자분산보상기를포함할수 있다. 이미지평면은전달렌즈와하전-입자분산보상기사이에서, 빔분리기보다전달렌즈에더 가깝게형성될수 있다.

3. 发明授权

KR101761761B1 탠덤 가속기 및 이온 주입 시스템 有权
标题翻译：串联加速器和离子注入系统
公开(公告)号：KR101761761B1
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020177007912
申请日：2015-08-19
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 창,쉔우 , 루폴리,크리스토퍼 , 리,윌리엄데이비스 , 싱클레어,프랭크 , 픽슬리,제임스
IPC分类号： H01J37/30 , H01J37/05 , H01J37/317 , H05H5/06
CPC分类号： H01J37/3007 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/0473 , H01J2237/0815 , H05H5/063
摘要： 개선된성능을갖는탠덤가속기및 이온주입기가개시된다. 탠덤가속기는복수의입력전극들, 복수의출력전극들및 그사이에배치되는고 전압단자를포함한다. 고전압단자는스트리퍼튜브를포함한다. 중성분자들은, 인입네거티브이온빔으로부터전자들을제거하는스트리퍼튜브내로주입된다. 결과적인포지티브이온들이복수의출력전극들을향해가속된다. 스트리퍼튜브를빠져나오는희망되지않는포지티브이온들의양을감소시키기위하여바이어스전극이스트리퍼튜브의입구및 출구에배치된다. 바이어스전극들은, 단자에인가되는제 1 전압보다더 큰제 2 전압으로바이어싱된다. 바이어스전극들은느리게움직이는포지티브이온들을반사하며, 이는이들이스트리퍼튜브를빠져나가는것 및작업물을오염시키는것을방지한다.
摘要翻译：公开了具有改进性能的串列式加速器和离子注入器。串列加速器包括多个输入电极，多个输出电极以及设置在其上的高电压端子。高压端子包括剥线管。中性分子被注入到剥离管中，以从进入的负离子束中去除电子。所产生的正离子朝着多个输出电极加速。偏压电极设置在汽提管的入口和出口处以减少离开汽提管的不希望的正离子的量。偏置电极被偏置到大于施加到端子的第一电压的第二电压。偏置电极反射缓慢移动的正离子，从而防止它们逃离剥离管并污染工件。

4. 发明授权

KR101751309B1 이온 빔을 조작하기 위한 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101751309B1
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：KR1020127015076
申请日：2010-11-12
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 싱클레어,프랭크 , 벤베니스트,빅터,엠. , 라도바노브,스베틀라나 , 버프,제임스,에스.
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/05 , C23C14/48
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/153 , H01J2237/1532
摘要： 주축(principal axis)을갖는이온빔(104)을조작하기위한시스템은전체적으로상위부재의서로다른영역에배치되며, 서로독립적으로각기제 1 전류(808 또는 810 내) 및제 2 전류(808 또는 810 내)를전도하도록구성된제 1 및제 2 코일을구비하는상위부재를포함한다. 하위부재는전체적으로각각의제 1 및제 2 코일과대향되어배치되며, 서로독립적으로각기제 3 전류(812 또는 814 내) 및제 4 전류(각각, 812 또는 814 내)를전도하도록구성된제 3 및제 4 코일을포함한다. 렌즈갭(306)은상위부재와하위부재사이에형성되고, 이온빔을전달하도록구성되며, 제 1 내지제 4 전류들은그 주축에대하여이온빔 상의회전력(rotational force)을가하는 45도의사중극자(quadrupole) 필드를생성한다.

5. 发明公开

KR1020150146079A 모노크로메이터 및 이를 구비한 하전입자빔 장치 有权
标题翻译：单色显影器及其带电粒子装置
公开(公告)号：KR1020150146079A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075947
申请日：2014-06-20
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 오가와타카시 , 조복래 , 안상정 , 박인용 , 한철수
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/21 , G01N23/225 , H01J49/44
CPC分类号： H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485
摘要： 본발명은모노크로메이터및 이를구비한하전입자빔장치에관한것으로, 보다상세하게는저비용으로광축을일치시키는모노크로메이터(monochromator, MC) 및이를구비한하전입자빔장치에관한것이다. 이를위하여이미터에서방출된하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제1정전렌즈; 및중심축이제1정전렌즈의중심축과동축으로배치되고, 제1정전렌즈와특정이격거리만큼이격되며, 제1정전렌즈에서출사되는하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제2정전렌즈;를포함하고, 하전입자빔은정전렌즈의중심축에서특정오프셋만큼벗어난축외궤도를통과하도록구성되며, 하전입자빔의에너지폭이감축되는모노크로메이터가제공될수 있다. 이에따르면모노크로메이터를통과한후에도좋은하전입자빔프로파일을얻을수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明涉及一种单色仪及具有该单色仪的带电粒子束装置。更具体地，本发明涉及用于以低成本匹配光轴的单色仪（MC）和具有该单色仪的带电粒子束装置。为此，单色器包括：第一静电透镜，用于接收从发射器放出的带电粒子束，折射带电粒子束的轨迹，并由多个电极组成; 以及第二静电透镜，具有与第一静电透镜的中心轴同轴设置的中心轴，以特定间隔与第一静电透镜分离，接收从第一静电透镜放出的带电粒子束，折射带电粒子的轨迹并且由多个电极组成。带电粒子束通过偏离设置在静电透镜的中心轴外侧的离轴轨迹，特别是偏移，并且可以减少带电粒子束的能量宽度。因此，即使在带电粒子束通过单色仪之后，也可以获得良好的带电粒子束轮廓。

6. 发明公开

KR1020150112785A 이온주입장치, 최종에너지필터, 및 이온주입방법 审中-实审
标题翻译：离子植入装置，最终能量过滤器和离子注入方法
公开(公告)号：KR1020150112785A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：KR1020150028994
申请日：2015-03-02
申请人： 스미도모쥬기가이 이온 테크놀로지 가부시키가이샤
发明人： 야기타다카노리
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147 , H01J37/05 , H01J37/30
CPC分类号： H01J37/147 , H01J37/05 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/057
摘要： 넓은범위에서사용할수 있는이온주입장치및 이온주입방법을제공한다. 최종에너지필터(400)는, 입구측아인젤렌즈(304)와, 중간전극부(401)와, 출구측아인젤렌즈(308)를구비한다. 최종에너지필터(400)는, 입구측아인젤렌즈(304), 중간전극부(401), 및출구측아인젤렌즈(308)에각각개별적으로전압을인가하도록구성되어있는 FEF전원부(414)를구비한다. FEF전원부(414)는, 상류보조전극부(402)와편향전극부(306)와의사이의제1 영역에있어서의이온빔의에너지범위와, 편향전극부(306)와하류보조전극부(404)와의사이의제2 영역에있어서의이온빔의에너지범위가동일한정도가되도록, 상류보조전극부(402), 편향전극부(306), 및하류보조전극부(404)에각각전압을인가한다.
摘要翻译：提供了可以在宽范围内使用的离子注入装置和离子注入方法。最终能量过滤器（400）包括入口侧（304），中间电极单元（401）和出口侧（308）的平面透镜的双面透镜。最终能量过滤器（400）包括形成为将电压分别施加到入口侧（304）的中央电极单元（401）和出口侧（308）的双面透镜上的FEF功率单元（414）。 FEF动力单元414分别向上游辅助电极单元402，偏转电极单元306和下游侧辅助电极单元404施加电压，使离子束的能量范围成为第一区域在偏转电极单元（306）和下游辅助电极单元（404）之间的第二区域中与离子束的能量范围相同的上游辅助电极单元（402）和偏转电极单元（306）之间。

7. 发明授权

KR102353625B1 이온주입장치 및 이온주입방법 有权
公开(公告)号：KR102353625B1
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：KR1020150042191
申请日：2015-03-26
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/147 , H01J37/304 , H01J37/141 , H01J37/244 , H01J37/05
摘要： 피처리물로의주입각도오차를저감한다. 이온주입장치(100)의빔라인부는, 스티어링전자석(30)과, 빔주사기(34)와, 빔평행화기(36)를구비한다. 빔라인부는이온빔의기준궤도를포함하고, z방향은기준궤도를따르는방향을나타내며, x방향은 z방향에직교하는일방향을나타낸다. 스티어링전자석(30)은이온빔을 x방향으로편향한다. 빔주사기(34)는이온빔을 x방향으로왕복적으로편향함으로써이온빔을주사한다. 빔평행화기(36)는, 주사된이온빔을 z방향으로평행화하도록구성되어있는평행화렌즈를구비하고, 평행화렌즈는빔주사기(34)의주사원점에초점을가진다. 제어부(104)는, 편향된이온빔의실궤도가 xz면에있어서주사원점에서기준궤도와교차하도록, 스티어링전자석(30)에있어서의 x방향의편향각도를보정한다.

8. 发明授权

KR102006810B1 이온빔 조사 장치 有权
公开(公告)号：KR102006810B1
公开(公告)日：2019-08-05
申请号：KR1020160149398
申请日：2016-11-10
申请人： 닛신 이온기기 가부시기가이샤
发明人： 타카하시나오야 , 후지타히데키 , 요시무라요스케 , 사카이시게키
IPC分类号： H01J37/05

9. 发明授权

KR101992992B1 에너지 오염을 감소시키는 빔 라인 설계 有权
公开(公告)号：KR101992992B1
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：KR1020147022590
申请日：2013-01-14
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 아이스너,에드워드 , 반데르베르크,보
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/16 , H01J37/05

10. 发明公开

KR1020170110378A 모노크로미터 및 이를 구비한 하전입자선 장치 审中-实审
公开(公告)号：KR1020170110378A
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：KR1020160034683
申请日：2016-03-23
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 오가와타카시 , 김주황 , 박인용
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/12 , H01J49/44 , G01N23/225 , H01J37/21
CPC分类号： H01J37/3007 , H01J29/62 , H01J29/70 , H01J31/24 , H01J37/3005 , H01J37/3053 , H01J37/3178 , H01J2237/103 , H01J2237/2802 , H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44
摘要： 본발명은하전입자선의진로를편향시키는원통형정전렌즈를대칭으로배열하고그 사이에에너지선택조리개(aperture)를배치하여중심에너지범위의하전입자선을선택하는것이가능한하전입자선장치에관한것으로, 모노크로미터중앙전극및 상기중앙전극을중심으로전방부와후방부에배열되는복수개의전극이절연을통해서로고정되는일체화구조를취하기때문에, 전방부와후방부에각각의렌즈를별도로마련하는경우에비해광축에대해오프셋을조정하는기구가간소해지는장점을가지며, 광학계의대칭성에의해출사면에서이차수차가상쇄된다.

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