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1. 发明授权

KR101640171B1 리본 이온 빔을 위한 질량 분석 자석 有权
标题翻译：用于RIBBON离子束的质量分析磁体
公开(公告)号：KR101640171B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020117010640
申请日：2009-11-12
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 벤베니스트,빅터,엠. , 버프,제임스,에스. , 싱클레어,프랭크 , 올슨,죠셉,씨.
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J49/30
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J49/30 , H01J2237/022 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/083 , H01J2237/31705
摘要： 제1 및제2 솔레노이드코일들및 강철요크배열을가지는질량분석기자석가개시된다. 각솔레노이드코일들은하나의리본이온빔이관통하는공간을형성하여실질적으로 '경주트랙' 모양을가진다. 상기솔레노이드코일들은리본이온빔의이동방향을따라이격하여위치한다. 각솔레노이드코일들은하나의이온소스로부터생성된이온들의희망하는이미지를생산하기위한넓은리본이온빔들의질량분해를수용하기위해균일한자기장을생성한다.

2. 发明授权

KR101984366B1 핵심 성분으로서의 희소 금속의 용도 有权
公开(公告)号：KR101984366B1
公开(公告)日：2019-05-30
申请号：KR1020167021387
申请日：2015-02-04
申请人： 에프. 호프만-라 로슈 아게
发明人： 쉬크볼프강 , 이바흐알렉산더 , 이스괴렌일마즈 , 퀼머카이
IPC分类号： G01N33/553 , G01N27/62 , H01J49/30

3. 发明公开

KR1020160106131A 핵심 성분으로서의 희소 금속의 용도 审中-实审
标题翻译：作为主要成分的稀有金属的使用
公开(公告)号：KR1020160106131A
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：KR1020167021387
申请日：2015-02-04
申请人： 에프. 호프만-라 로슈 아게
发明人： 쉬크볼프강 , 이바흐알렉산더 , 이스괴렌일마즈 , 퀼머카이
IPC分类号： G01N33/553 , G01N27/62 , H01J49/30
CPC分类号： G01N33/525 , G01N33/20 , G01N33/553 , G01N2033/0096 , H01J49/105 , G01N27/62 , H01J49/30
摘要： 본발명은진단시험요소의제조분야에관한것이다. 구체적으로, 본발명은코팅내의건조된코팅조성물의양을측정하기위한, 코팅조성물에포함된희소금속성분, 특히희소알칼리금속성분의용도에관한것이다. 게다가, 본발명은코팅내의건조된코팅조성물의양을측정하기위한방법을포함한다. 추가로, 본발명은희소금속성분, 특히희소알칼리금속성분을포함하는코팅조성물, 및진단시험요소의제조를위한상기코팅조성물의용도뿐 아니라상기시험요소에관한것이다.

4. 发明授权

KR101549119B1 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치 및 그 방법 有权
标题翻译： ExB设备和分析具有ExB过滤器和延迟潜在分析仪的离子特性的方法
公开(公告)号：KR101549119B1
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020130129898
申请日：2013-10-30
申请人： 한국과학기술원
发明人： 최원호 , 김호락 , 임유봉 , 선종호
IPC分类号： H01J49/40 , H01J49/30 , G01N27/62
摘要： 본발명은, 이온코팅등에적용되는이온에대하여이온의종류, 이온의전하량, 에너지분포를동시에용이하고정밀하게측정할수 있도록하며, 동일에너지를가지는불순물이온을식별할수 있도록하는 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치및 그방법에관한것으로, 상기 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치는, 이온들의진행방향에수직인자기장을인가하고, 이온들의진행방향및 자기장에수직으로필터링전압(Vf)을인가하여특정하전량및 질량의이온들을통과시키는 ExB 필터를포함하는 ExB 필터부;와, 상기 ExB 필터의출구측에연결구성되어, 상기 ExB 필터부로부터입사된이온들에대한이온지연전압(Vr)을가변하여인가하는전압스위핑과정을수행하여이온지연전압에대응하는에너지를가지는이온들을차폐하고, 이온들의차폐에의해감소하는전류를검출하여이온들의이온에너지분포를검출하는전위지연탐침부;를포함하여구성되어, 이온특성정보및 동일에너지를가지는다른하전량의이온, 불순물이온의이온특성정보를동시에용이하고신속하게분석할수 있도록하는효과를제공한다.

5. 发明公开

KR1020150049390A ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치 및 그 방법 有权
标题翻译：装置和分析具有EXB过滤器和延迟分析仪的离子特性的方法
公开(公告)号：KR1020150049390A
公开(公告)日：2015-05-08
申请号：KR1020130129898
申请日：2013-10-30
申请人： 한국과학기술원
发明人： 최원호 , 김호락 , 임유봉 , 선종호
IPC分类号： H01J49/40 , H01J49/30 , G01N27/62
CPC分类号： H01J49/40 , G01N27/62 , H01J49/00 , H01J49/30
摘要： 본발명은, 이온코팅등에적용되는이온에대하여이온의종류, 이온의전하량, 에너지분포를동시에용이하고정밀하게측정할수 있도록하며, 동일에너지를가지는불순물이온을식별할수 있도록하는 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치및 그방법에관한것으로, 상기 ExB 필터부와전위지연탐침부를구비한이온특성분석장치는, 이온들의진행방향에수직인자기장을인가하고, 이온들의진행방향및 자기장에수직으로필터링전압(Vf)을인가하여특정하전량및 질량의이온들을통과시키는 ExB 필터를포함하는 ExB 필터부;와, 상기 ExB 필터의출구측에연결구성되어, 상기 ExB 필터부로부터입사된이온들에대한이온지연전압(Vr)을가변하여인가하는전압스위핑과정을수행하여이온지연전압에대응하는에너지를가지는이온들을차폐하고, 이온들의차폐에의해감소하는전류를검출하여이온들의이온에너지분포를검출하는전위지연탐침부;를포함하여구성되어, 이온특성정보및 동일에너지를가지는다른하전량의이온, 불순물이온의이온특성정보를동시에용이하고신속하게분석할수 있도록하는효과를제공한다.
摘要翻译：本发明涉及具有ExB滤波器单元和延迟电位探测单元的离子特性分析装置及其方法，其中可以同时存在离子的种类，离子的电荷量和能量分布，容易且精确地测量施加到离子涂层的离子，并且可以区分具有相同能量的杂质离子。离子特性分析装置包括：ExB滤波器单元，用于在离子的流动方向上施加垂直磁场，在离子的流动方向和磁场中垂直施加滤波电压（Vf），并且包括用于通过具有特定电荷量和特定质量的离子; 以及与ExB滤波器的出口侧连接的延迟电位探测单元，通过对从ExB滤波器投射的离子进行改变并施加离子延迟电压（Vr）进行电压扫除，屏蔽具有与离子延迟电压对应的能量的离子并且通过检测通过离子屏蔽减少的电流来检测离子的离子能量分布。可以同时，容易且快速地分析具有离子特性信息和相同能量的不同电荷量的离子和杂质离子的离子特征信息。

6. 发明公开

KR1020110093997A 리본 이온 빔을 위한 질량 분석 자석 有权
标题翻译： RIBBON梁的质量分析磁铁
公开(公告)号：KR1020110093997A
公开(公告)日：2011-08-19
申请号：KR1020117010640
申请日：2009-11-12
申请人： 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크.
发明人： 벤베니스트,빅터,엠. , 버프,제임스,에스. , 싱클레어,프랭크 , 올슨,죠셉,씨.
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/317 , H01J49/30
CPC分类号： H01J37/05 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J49/30 , H01J2237/022 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/083 , H01J2237/31705
摘要： 제1 및 제2 솔레노이드 코일들 및 강철 요크 배열을 가지는 리본 빔 질량 분석기가 개시된다. 각 솔레노이드 코일들은 하나의 이온 리본 빔이 관통하는 공간을 형성하여 실질적으로 '경주 트랙' 모양을 가진다. 상기 솔레노이드 코일들은 리본 빔의 이동 방향을 따라 이격하여 위치한다. 각 솔레노이드 코일들은 하나의 이온 소스로부터 생성된 이온들의 희망하는 이미지를 생산하기 위한 넓은 리본 빔들의 질량 분해를 수용하기 위해 균일한 자기장을 생성한다.

7. 发明公开

KR870005246A 공간 전하 렌즈를 사용한 고전류 질량 분석계 失效
公开(公告)号：KR870005246A
公开(公告)日：1987-06-05
申请号：KR860009166
申请日：1986-10-31
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/30 , H01J37/317 , H01J49/06 , H01J49/30
摘要： 내용없음

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