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1. 发明授权

KR101915054B1 질량 분석 가변 출구 어퍼처 有权
公开(公告)号：KR101915054B1
公开(公告)日：2018-11-05
申请号：KR1020137034045
申请日：2012-05-24
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 함비,윌리암 , 발린스키,조셉
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02 , H01J49/06 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/023 , H01J37/05 , H01J49/30 , H01J2237/0455 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/24514
摘要： 이온빔라인으로부터이온주입종들의원치않는동위체들을감소시키기위한방법및 장치가제공된다. 여기서기재되는장치는이온빔에의해인지되는바와같은출구어퍼처의크기를선택적으로감소시키는질량분석가변출구어퍼처이다. 일실시예에서, 가변질량분석출구는분해어퍼처의업스트림위치에서질량분석기내에위치되고원치않는주입동위체들의통과를차단하면서원하는주입동위체(들)의통과를허용하도록출구어퍼처의크기를유효하게제한하도록구성된다. 일특정한실시예에서, 질량분석가변출구어퍼처는빔 가이드에장착되고, 이는결국 AMU 자석(들)의극들사이에서장착된다. 기계적구동매커니즘은빔 특성들에결속된제어유닛에의해안내되는바와같이점진적인방식으로차단구조가빔 경로내로이동되는것을가능하게한다.

2. 发明公开

KR1020170132173A 이온 소스를 위한 통합 추출 전극 메니퓰레이터 审中-实审
标题翻译：用于离子源的集成式萃取电极操纵器
公开(公告)号：KR1020170132173A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020177027041
申请日：2016-03-22
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 밴더버그,보 , 발린스키,조셉 , 크리스토포로,마이클
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/08 , H01J27/02
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J27/024 , H01J37/08 , H01J2237/024 , H01J2237/061
摘要： 모듈형 이온소스및 추출장치는전압전위에선택적으로전기적으로결합되는이온소스챔버를포함하며, 상기이온소스챔버는추출구멍을포함한다. 추출전극은상기이온소스챔버의추출구멍에근접하여위치되고, 상기추출전극은전기적으로접지되고상기이온소스챔버로부터이온을추출하도록구성된다. 하나이상의링키지는이온소스챔버에작동가능하게연결되고, 하나이상의절연체는추출전극을각각의하나이상의링키지에연결하며, 상기하나이상의절연체는상기하나이상의링키지를상기추출전극으로부터전기적으로절연시키며, 상기추출전극과상기이온소스챔버를전기적으로절연시킨다. 하나이상의액츄에이터는하나이상의링키지를이온소스챔버에작동가능하게결합시키고, 상기하나이상의액츄에이터는하나이상의축에서상기추출전극을이동시키는상기이온소스챔버에대해상기하나이상의링키지를이동시키도록구성된다.
摘要翻译：模块化离子源和提取装置包括离子源室，该离子源室选择性地且电耦合到电势，离子源室包括提取孔。提取电极位于离子源室的提取孔附近，并且提取电极电接地并且被配置为从离子源室提取离子。至少一个连杆可操作地连接到所述离子源腔室，一个或多个绝缘体和连接到用于每个所述至少一个连杆的引出电极，所述一个或多个绝缘sikimyeo从所述至少一个连杆电绝缘从引出电极，所述并将提取电极与离子源室电隔离。一个或多个致动器可操作地联接到至少一个连杆至离子源腔室和所述至少一个致动器被构造成相对于移动所述至少一个连杆至离子源腔室以用于对一个或更多个轴移动的引出电极。

3. 发明公开

KR1020140047621A 질량 분석 가변 출구 어퍼처 审中-实审
标题翻译：质量分析可变出口孔
公开(公告)号：KR1020140047621A
公开(公告)日：2014-04-22
申请号：KR1020137034045
申请日：2012-05-24
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 함비,윌리암 , 발린스키,조셉
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/02 , H01J49/06 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/023 , H01J37/05 , H01J49/30 , H01J2237/0455 , H01J2237/055 , H01J2237/057 , H01J2237/24514
摘要： 이온 빔라인으로부터 이온 주입 종들의 원치않는 동위체들을 감소시키기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 여기서 기재되는 장치는 이온 빔에 의해 인지되는 바와 같은 출구 어퍼처의 크기를 선택적으로 감소시키는 질량 분석 가변 출구 어퍼처이다. 일 실시예에서, 가변 질량 분석 출구는 분해 어퍼처의 업스트림 위치에서 질량 분석기 내에 위치되고 원치않는 주입 동위체들의 통과를 차단하면서 원하는 주입 동위체(들)의 통과를 허용하도록 출구 어퍼처의 크기를 유효하게 제한하도록 구성된다. 일 특정한 실시예에서, 질량 분석 가변 출구 어퍼처는 빔 가이드에 장착되고, 이는 결국 AMU 자석(들)의 극들 사이에서 장착된다. 기계적 구동 매커니즘은 빔 특성들에 결속된 제어 유닛에 의해 안내되는 바와 같이 점진적인 방식으로 차단 구조가 빔 경로 내로 이동되는 것을 가능하게 한다.

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