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1. 发明授权

KR100992680B1 압전 트랜지스터 및 그 제조방법 失效
标题翻译：压电晶体管及其方法
公开(公告)号：KR100992680B1
公开(公告)日：2010-11-05
申请号：KR1020080089587
申请日：2008-09-11
申请人： 주식회사 디비하이텍
发明人： 정은수
IPC分类号： H01L41/04 , H04R17/10 , H01L41/22
CPC分类号： H01L41/332 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/29 , Y10T29/42 , Y10T29/49155
摘要： According to the present application, a method of manufacturing a piezoelectric transistor may include forming a cavity over a substrate, such as a semiconductor substrate. The method may include depositing and patterning metal material over a portion of a cavity, and may include depositing an oxide film over a cavity and/or patterned metal material. Piezoelectric material may be deposited over an oxide film and patterned to avoid connection with metal material. The method may include depositing a second oxide film over a substrate including piezoelectric material. Metal wiring may be formed and may apply voltage to piezoelectric material that may be in contact with a semiconductor substrate.

2. 发明授权

KR100967771B1 마이크로스위칭 소자 및 마이크로스위칭 소자 제조 방법 有权
标题翻译：微控制器件及制造微波器件的方法
公开(公告)号：KR100967771B1
公开(公告)日：2010-07-05
申请号：KR1020080002588
申请日：2008-01-09
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 구엔,투엔안 , 나까따니다다시 , 우에다사또시 , 요네자와유 , 미시마나오유끼
IPC分类号： H01H59/00 , B81B3/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
摘要： 고정 컨택트 전극에 대한 가동 컨택트 전극의 배향 변동을 억제하는 데에 적합한 마이크로스위칭 소자 및 그 마이크로스위칭 소자의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 소자 X1은, 고정부(11)와, 가동부(12)와, 접촉부(13a', 13b')를 갖는 전극(13)과, 접촉부(13a')에 당접하는 접촉부(14a')를 갖는 전극(14A)과, 접촉부(13b')에 대향하는 접촉부(14b')를 갖는 전극(14B)을 구비한다. 본 발명의 방법은, 기판 상에 전극(13)을 형성하는 공정, 전극(13)을 덮도록 기판 상에 희생층을 형성하는 공정, 희생층에서 전극(13)에 대응하는 위치에, 제1 오목부와 이보다 얕은 제2 오목부를 형성하는 공정, 희생층을 개재하여 전극(13)에 대향하는 부위를 갖고 제1 오목부를 채우는 전극(14A)을 형성하는 공정, 희생층을 개재하여 전극(13)에 대향하는 부위를 갖고 제2 오목부를 채우는 전극(14B)을 형성하는 공정, 및 희생층을 제거하는 공정을 포함한다.
베이스 기판, 컨택트 전극, 구동 전극, 레지스트 패턴, 희생층

3. 发明授权

KR100943796B1 압전 구동 ＭＥＭＳ 디바이스 失效
标题翻译：压电驱动MEMS器件
公开(公告)号：KR100943796B1
公开(公告)日：2010-02-23
申请号：KR1020070031694
申请日：2007-03-30
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 니시가끼미찌히꼬 , 나가노도시히꼬 , 미야자끼다까시 , 이따야가즈히꼬 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H01L41/09 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094
摘要： MEMS 디바이스는: 제1 고정 말단을 가지며, 제1 하부 전극, 제1 압전막, 및 제1 상부 전극이 적층된 구조를 포함하며, 제1 하부 전극 및 제1 상부 전극에 전압을 인가함으로써 동작될 수 있는 제1 액츄에이터; 제2 고정 말단을 가지며, 제1 액츄에이터와 평행하게 배치되고, 제2 하부 전극, 제2 압전막, 및 제2 상부 전극이 적층된 구조를 포함하며, 제2 하부 전극 및 제2 상부 전극에 전압을 인가함으로써 동작될 수 있는 제2 액츄에이터; 및 제1 액츄에이터에 접속된 제1 액션부 및 제2 액츄에이터에 접속된 제2 액션부를 포함하는 전기 회로 소자를 포함한다.
압전 구동 MEMS 디바이스, 액츄에이터, 액션부, 가변 용량형 커패시터, 압전막

4. 发明公开

KR1020080087730A ＭＥＭＳ 디바이스 및 상기 ＭＥＭＳ 디바이스를 구비한휴대용 통신 단말기 失效
标题翻译：具有标定MEMS器件的MEMS器件和便携式通信终端
公开(公告)号：KR1020080087730A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：KR1020080027787
申请日：2008-03-26
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 나가노도시히꼬 , 니시가끼미찌히꼬
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/00 , H04B1/40
CPC分类号： H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
摘要： A MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) device and a portable communication terminal with the same are provided to achieve a highly reliable DC-type MEMS switch having low driving voltage and low contact resistance. A MEMS device includes a substrate(1), a supporting unit(7), a fixed electrode(10), an actuator, and a stopper(9). The supporting unit and the fixed electrode are formed on the substrate. The actuator includes first and second electrodes, and a first piezoelectric layer. The first piezoelectric layer is formed on the first electrode. The second electrode is formed on the first piezoelectric layer. The supporting unit fixes one end of the actuator on the substrate. The stopper is formed on a line connecting the supporting unit and the fixed electrode and faces the first electrode.
摘要翻译：提供了一种具有低驱动电压和低接触电阻的高可靠性DC型MEMS开关的MEMS（微电子机械系统）装置及其便携式通信终端。 MEMS器件包括基板（1），支撑单元（7），固定电极（10），致动器和止动件（9）。支撑单元和固定电极形成在基板上。致动器包括第一和第二电极以及第一压电层。第一压电层形成在第一电极上。第二电极形成在第一压电层上。支撑单元将致动器的一端固定在基板上。止动件形成在连接支撑单元和固定电极并且面对第一电极的线上。

5. 发明公开

KR1020070102710A 도전성 유체를 사용한 릴레이 장치 失效
标题翻译：使用导电流体的继电器
公开(公告)号：KR1020070102710A
公开(公告)日：2007-10-19
申请号：KR1020077018423
申请日：2006-08-29
申请人： 파나소닉 전공 주식회사
发明人： 요코야마고지 , 우오토메리이치 , 후루쿠보에이이치 , 가키모토가쓰미 , 메시이료스케 , 우에다히데키 , 고바야시마사카즈
IPC分类号： H01H29/02
CPC分类号： H01H29/00 , H01H29/004 , H01H2029/008 , H01H2057/006
摘要： A relay device using a conductive fluid and having an excellent switching response is provided. The relay device is formed by bonding a semiconductor substrate to an insulator substrate, and mainly comprises a stacked layer body having an interior space, at least two contact points exposed to the interior space, a diaphragm portion facing the interior space, conductive fluid sealed in the interior space, and an actuator for elastically deforming the diaphragm portion. The diaphragm portion is provided on the semiconductor substrate, so that the drive force of the actuator necessary for elastically deforming the diaphragm portion can be reduced and the volume change of the interior space can be obtained with a fast response. This volume change causes the positional displacement of the conductive fluid in the interior space, thereby forming a conduction state or non-conduction state between the contact points.
摘要翻译：提供了使用导电流体并具有优异的切换响应的继电器装置。中继装置是通过将半导体基板接合到绝缘体基板而形成的，主要包括具有内部空间的叠层体，至少两个暴露于内部空间的接触点，面向内部空间的隔膜部分，密封在内部空间和用于弹性变形隔膜部分的致动器。隔膜部分设置在半导体基板上，从而可以减小振动板部分弹性变形所需的致动器的驱动力，并能够以较快的响应获得内部空间的体积变化。该体积变化导致导电流体在内部空间中的位置偏移，从而在接触点之间形成导通状态或非导通状态。

6. 发明公开

KR1020070097963A 압전형 ＭＥＭＳ 스위치 및 그 제조방법 有权
标题翻译：压电MEMS开关及其制造方法
公开(公告)号：KR1020070097963A
公开(公告)日：2007-10-05
申请号：KR1020060028991
申请日：2006-03-30
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김종석 , 송인상 , 이상훈 , 권상욱 , 이창승 , 홍영택 , 김재흥
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01H2057/006 , Y10T403/7026
摘要： A piezoelectric MEMS(Micro Electric Mechanical system) switch and a manufacturing method for the same are provided to form a piezoelectric actuator firstly before an RF signal line for preventing the excessive etching process of the rear surface of the substrate, and for improving the driving efficiency of the actuator. A piezoelectric MEMS(Micro Electric Mechanical system) switch comprises a substrate(101), first and second fixed signal lines, a piezoelectric actuator(130), and a moving signal line(150). The piezoelectric actuator is placed at the same line as the first and second fixed signal lines. One end of the piezoelectric actuator is supported by the substrate to be longitudinally driven. At least one side of the moving signal line is connected to an upper surface of the piezoelectric actuator. One end of the piezoelectric actuator is connected to at least one of the signal lines, and the other end of the actuator is contacted and separated with or from the signal lines. An interval part of the substrate is formed with a first cavity. A second cavity is formed to one side of the first cavity. The moving signal line has first and second supports(151,153), and a contact part(155).
摘要翻译：提供压电MEMS（微电机械系统）开关及其制造方法，以在RF信号线之前形成压电致动器，以防止基板的后表面的过度蚀刻处理，并且用于提高驱动效率的执行器。压电MEMS（微机电系统）开关包括基板（101），第一和第二固定信号线，压电致动器（130）和移动信号线（150）。压电致动器被放置在与第一和第二固定信号线相同的线上。压电致动器的一端由被纵向驱动的基板支撑。移动信号线的至少一侧连接到压电致动器的上表面。压电致动器的一端连接到信号线中的至少一个，致动器的另一端与信号线接触或分离。衬底的间隔部分形成有第一腔。第二腔形成在第一腔的一侧。移动信号线具有第一和第二支撑件（151,153）和接触部分（155）。

7. 发明公开

KR1020070053515A ＲＦ 멤스 스위치 및 그 제조방법 无效
标题翻译： RF MEMS开关及其制造方法
公开(公告)号：KR1020070053515A
公开(公告)日：2007-05-25
申请号：KR1020050111380
申请日：2005-11-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김종석 , 권상욱 , 김동균 , 송인상 , 이상훈 , 이창승 , 홍영택 , 김재흥
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： H01P1/127 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , Y10T29/49002 , Y10T29/49016 , Y10T29/4913 , Y10T29/49144 , Y10T29/49155
摘要： 저전압에서 하방 구동하는 압전효과(piezoelectric effect)를 이용한 RF 멤스 스위치 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 RF 멤스 스위치는 RF 신호라인과 캐비티를 구비한 기판; 상기 캐비티 위에 위치하며 상기 기판에 일단이 고정된 캔틸레버; 및 상기 캔틸레버가 하방으로 구동할 때 상기 RF 신호라인과 접촉하여 상기 RF 신호라인을 연결하기 위한 접속패드;를 포함한다. 상기 RF 멤스 스위치는 기판의 캐비티 위에 캔틸레버를 제작하고, 상기 기판에 RF 신호라인을 형성한 후, 상기 캔틸레버의 상단부에 접속패드를 형성하여 제조한다.
MEMS, 스위치, 캔틸레버, RF, 압전

8. 发明授权

KR100681780B1 마이크로 스위칭 소자 有权
标题翻译：微动开关元件
公开(公告)号：KR100681780B1
公开(公告)日：2007-02-12
申请号：KR1020050093283
申请日：2005-10-05
申请人： 후지쯔 가부시끼가이샤
发明人： 나카타니다다시 , 안트엔구엔 , 시마노우치다케아키 , 이마이마사히코 , 우에다사토시
IPC分类号： H01L29/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
摘要： 본 발명은 닫힌 상태에서의 삽입 손실의 저감을 꾀하는데 적합하고, 또한 적절하게 제조할 수 있는 마이크로 스위칭 소자를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 마이크로 스위칭 소자(X1)는 베이스 기판과, 베이스 기판에 접합하고 있는 고정부(10)와, 고정부(10)에 고정된 고정단(20a)을 가지고 베이스 기판에 따라 연장하며, 또한 한 쌍의 폐단(閉端)(41a)을 갖는 슬릿(41)을 통하여 고정부(10)로 둘러싸인 가동부(20)와, 가동부(20)에서의 베이스 기판과 반대 측에 설치된 가동 콘택트부(31)와, 가동 콘택트부(31)에 대향하는 부위를 각각 갖고, 또한 각각 고정부(10)에 접합되어 있는 한 쌍의 고정 콘택트 전극(32)을 구비한다.
마이크로 스위칭 소자, 가동 콘택트부, 고정 콘택트 전극, 슬릿

9. 发明公开

KR1020070013950A 정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치 失效
标题翻译： MEMS开关由静电力和PIEZOELECRIC力驱动
公开(公告)号：KR1020070013950A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：KR1020050068648
申请日：2005-07-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 권상욱 , 김준오 , 송인상 , 이상훈 , 김동균 , 정희문 , 홍영택 , 김종석 , 김재흥
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2057/006
摘要： A MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) switch is provided to prevent stiction from occurring between contact points by turning the switch on and/or off by using electrostatic and piezoelectric forces. A first contact point(120) is positioned in a predetermined first area on an upper surface of a substrate(110). A support layer(130) is suspended at a predetermined distance from the upper surface of the substrate. A second contact point(140) is formed on a lower surface of the support layer. A first actuator(150) moves the support layer in a predetermined direction by using an electrostatic force. A second actuator(160) moves the support layer in a predetermined direction by using a piezoelectric force. If a predetermined first power source is connected to the first actuator, the first actuator moves the support layer toward the substrate so that the second contact point contacts the first contact point.
摘要翻译：提供了一种MEMS（微机电系统）开关，以通过使用静电和压电力来打开和/或关闭开关来防止接触点之间发生静摩擦。第一接触点（120）位于衬底（110）的上表面上的预定的第一区域中。支撑层（130）从衬底的上表面预定距离悬挂。第二接触点（140）形成在支撑层的下表面上。第一致动器（150）通过使用静电力使支撑层沿预定方向移动。第二致动器（160）通过使用压电力使支撑层沿预定方向移动。如果预定的第一电源连接到第一致动器，则第一致动器将支撑层移向基板，使得第二接触点接触第一接触点。

10. 发明公开

KR1020060002988A 전기 릴레이 및 전기 회로 스위칭 방법 无效
标题翻译：湿润手指式压电继电器
公开(公告)号：KR1020060002988A
公开(公告)日：2006-01-09
申请号：KR1020057019425
申请日：2004-01-15
申请人： 애질런트 테크놀로지스, 인크.
发明人： 웡마빈글렌 , 카슨폴토마스
IPC分类号： H01H29/04
CPC分类号： H01H57/00 , H01H2001/0042 , H01H2029/008 , H01H2057/006
摘要： An electrical relay having two wettable electrical contacts (118 and 120), each supporting a conducting liquid (126). A wettable switch finger (114) is moved from a non-deflected position to first and second positions by action of an actuator (130, 132 or 140). In the first position the switch finger (114) touches the conducting liquid (126) and causes it to wet between the contacts and the switch and thereby complete an electrical circuit between the contacts. When the switch finger (114) is in the second position, the conducting liquid (126) cannot wet between first and second contacts and the switch finger and the electrical circuit between the first and second contacts is broken. The switch finger (114) may be located at the free end of a beam (112) that is deflected or bent by the action of piezoelectric elements (130, 132 or 140).
摘要翻译：一种具有两个可润湿电触点（118和120）的继电器，每个支撑导电液体（126）。通过致动器（130,132或140）的作用，可湿性开关手指（114）从非偏转位置移动到第一和第二位置。在第一位置，开关手指（114）接触导电液体（126）并使其在触点和开关之间湿润，从而在触点之间完成电路。当开关手指（114）处于第二位置时，导电液体（126）不会在第一和第二触点之间湿润，并且开关指状物和第一和第二触点之间的电路断开。开关指状物（114）可以位于通过压电元件（130,132或140）的作用而偏转或弯曲的梁（112）的自由端。

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