专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020060124554A 박막 압전 공진기, 필터 및 전압 제어 발진기 失效
标题翻译：薄膜压电谐振器，滤波器和电压控制振荡器
公开(公告)号：KR1020060124554A
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020060026306
申请日：2006-03-23
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 야나세나오꼬 , 사노겐야 , 야스모또다까아끼 , 오하라료이찌 , 이따야가즈히꼬
IPC分类号： H03H9/15 , H01L41/08 , H01L41/047
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02125 , H03H9/02157 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/025
摘要： A thin-film piezoelectric resonator, a filter, and a voltage-controlled oscillator are provided to reduce a variation in a capacitance value of an excitation part by improving crystallinity of the excitation part arranged on a cavity or an acoustic reflection layer. A substrate(2) includes a first cavity(21,22,24,26,27) and a second cavity(23,25). The first and second cavities are separated from each other. A first excitation part(71,72,74,76,77) is arranged on the first cavity. A second excitation part(73,75) is arranged on the second cavity. The first excitation part includes a first electrode, a first piezoelectric material, and a second electrode. An overlapping region among the first electrode, the first piezoelectric material, and the second electrode defines a peripheral contour of the first excitation part. A first distance is defined as a distance from an end of the first excitation part to an opening end of the first cavity. The second excitation part includes a third electrode, a second piezoelectric material, and a fourth electrode. An overlapping region among the third electrode, the second piezoelectric material, and the fourth electrode defines a peripheral contour of the second excitation part. A second distance is defined as a distance from an end of the second excitation part to an opening end of the second cavity. The second distance is different from the first distance.
摘要翻译：提供薄膜压电谐振器，滤波器和压控振荡器，以通过改善布置在空腔或声反射层上的激励部分的结晶度来减小激励部分的电容值的变化。基板（2）包括第一腔（21,22,24,26,27）和第二腔（23,25）。第一和第二腔彼此分离。第一激励部分（71,72,74,76,77）布置在第一腔上。第二激励部分（73,75）布置在第二腔体上。第一激励部分包括第一电极，第一压电材料和第二电极。第一电极，第一压电材料和第二电极之间的重叠区域限定第一激励部分的外围轮廓。第一距离被定义为从第一激励部分的端部到第一腔体的开口端的距离。第二激励部包括第三电极，第二压电材料和第四电极。第三电极，第二压电材料和第四电极之间的重叠区域限定第二激励部分的外围轮廓。第二距离被定义为从第二激励部分的端部到第二腔的开口端的距离。第二距离与第一距离不同。

2. 发明授权

KR101036063B1 액추에이터 및 이를 사용한 전자 기기 失效
标题翻译：使用其的执行器和电子设备
公开(公告)号：KR101036063B1
公开(公告)日：2011-05-19
申请号：KR1020080135544
申请日：2008-12-29
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 니시가끼미찌히꼬 , 나가노도시히꼬 , 이따야가즈히꼬 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H02N2/02 , H02N2/04 , H01L41/04
CPC分类号： H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
摘要： 빔의 휨의 영향을 저감함으로써, 최대 정전 용량이 크고, 또한, 최대 정전 용량 부근에서의 정전 용량의 급준한 변화를 완화시킨 액추에이터 및 이를 사용한 전자 기기를 제공한다. 제1 고정단부로부터 제1 접속단부까지 연장되는 제1 빔과, 제1 고정단부와, 기판을 연결하고, 제1 빔을 기판의 주면의 상방에 간극을 두고 지지하는 제1 고정부와, 제2 접속단부로부터 제1 작용단부까지 연장되고, 제1 빔과 나란히 설치되고, 제1 작용단부로부터 제2 접속단부를 향해서 연장된 제1 슬릿에 의해 분할된 제1 분할부를 갖는 제2 빔과, 제1 접속단부와, 제2 접속단부를 연결하고, 제2 빔을 기판의 주면의 상방에 간극을 두고 유지되는 제1 접속부와, 제1 분할부의 제1 작용단부측의 일부에 대향하고, 기판의 주면에 설치된 제1 고정 전극을 구비한 것을 특징으로 하는 액추에이터가 제공된다.
액추에이터, 제1 빔, 제2 빔, 제1 접속부, 제1 분할부

3. 发明授权

KR100943796B1 압전 구동 ＭＥＭＳ 디바이스 失效
标题翻译：压电驱动MEMS器件
公开(公告)号：KR100943796B1
公开(公告)日：2010-02-23
申请号：KR1020070031694
申请日：2007-03-30
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 니시가끼미찌히꼬 , 나가노도시히꼬 , 미야자끼다까시 , 이따야가즈히꼬 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H01L41/09 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094
摘要： MEMS 디바이스는: 제1 고정 말단을 가지며, 제1 하부 전극, 제1 압전막, 및 제1 상부 전극이 적층된 구조를 포함하며, 제1 하부 전극 및 제1 상부 전극에 전압을 인가함으로써 동작될 수 있는 제1 액츄에이터; 제2 고정 말단을 가지며, 제1 액츄에이터와 평행하게 배치되고, 제2 하부 전극, 제2 압전막, 및 제2 상부 전극이 적층된 구조를 포함하며, 제2 하부 전극 및 제2 상부 전극에 전압을 인가함으로써 동작될 수 있는 제2 액츄에이터; 및 제1 액츄에이터에 접속된 제1 액션부 및 제2 액츄에이터에 접속된 제2 액션부를 포함하는 전기 회로 소자를 포함한다.
압전 구동 MEMS 디바이스, 액츄에이터, 액션부, 가변 용량형 커패시터, 압전막

4. 发明授权

KR100758093B1 박막 압전 공진기, 필터 및 전압 제어 발진기 失效
标题翻译：薄膜压电谐振器，滤波器和电压控制振荡器
公开(公告)号：KR100758093B1
公开(公告)日：2007-09-11
申请号：KR1020060026306
申请日：2006-03-23
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 야나세나오꼬 , 사노겐야 , 야스모또다까아끼 , 오하라료이찌 , 이따야가즈히꼬
IPC分类号： H03H9/15 , H01L41/08 , H01L41/047
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/02125 , H03H9/02157 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/025
摘要： 박막 압전 발진기는 기판, 제1 여기부 및 제2 여기부를 포함한다. 기판은 제1 공동 및 제2 공동을 포함한다. 제1 여기부는 제1 공동 상에 배치되고, 순차적으로 적층된 제1 전극, 제1 압전체 및 제2 전극을 포함한다. 제1 전극, 제1 압전체 및 제2 전극 사이의 중복 영역은 제1 여기부의 주변 윤곽을 한정한다. 제1 거리는 제1 여기부의 단부로부터 제1 공동의 개구 단부에 이르는 거리로 정의된다. 제2 여기부는 제2 공동 상에 배치되고, 순차적으로 적층되는 제3 전극, 제2 압전체 및 제4 전극을 포함한다. 제2 거리는 제2 여기부의 단부로부터 제2 공동의 개구 단부에 이르는 거리로 정의되며, 제1 거리와 다르다.
박막 압전 공진기, 필터, 여기부, 공동, 발진기

5. 发明公开

KR1020090079161A 액추에이터 및 이를 사용한 전자 기기 失效
标题翻译：使用它的执行器和电子装置
公开(公告)号：KR1020090079161A
公开(公告)日：2009-07-21
申请号：KR1020080135544
申请日：2008-12-29
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 니시가끼미찌히꼬 , 나가노도시히꼬 , 이따야가즈히꼬 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H02N2/02 , H02N2/04 , H01L41/04
CPC分类号： H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
摘要： An actuator and an electronic device using the same are provided to increase maximum capacitance and to reduce a rapid change of capacitance around the maximum capacitance by reducing an influence due a bending effect of a beam. An actuator includes a substrate(101), a first lower electrode, a first upper electrode, a first piezoelectric layer, a first beam(110), a first fixing unit, a second lower electrode, a second upper electrode, a second piezoelectric layer, a second beam(210), a first connector(131), and a first fixing electrode. The first piezoelectric layer is installed between the first lower electrode and the upper electrode. The first beam is extended from a first fixing terminal to a first connective terminal. The first fixing unit connects the first fixing terminal with the substrate and supports the first beam. The second piezoelectric layer is installed between the second lower electrode and the second upper electrode. The second beam is extended from a second connective terminal to a first operating terminal. The second beam is installed in parallel to the first beam. The second beam has a first division part which is divided by a first slit extended from the first operating terminal to a second operating terminal. The first connector connects the first connective terminal with the second connective terminal and maintain the second beam. The first fixing electrode is installed opposite to a part of the first operating terminal at a main surface of the substrate.
摘要翻译：提供致动器和使用其的电子装置以通过减少由于光束的弯曲效应的影响而增加最大电容并且减小围绕最大电容的电容的快速变化。致动器包括基板（101），第一下电极，第一上电极，第一压电层，第一光束（110），第一固定单元，第二下电极，第二上电极，第二压电层，第二光束（210），第一连接器（131）和第一固定电极。第一压电层安装在第一下电极和上电极之间。第一光束从第一固定端子延伸到第一连接端子。第一固定单元将第一固定端子与基板连接并支撑第一梁。第二压电层安装在第二下电极和第二上电极之间。第二光束从第二连接终端延伸到第一操作终端。第二光束平行于第一光束安装。第二光束具有由从第一操作终端延伸到第二操作终端的第一狭缝分割的第一分割部分。第一连接器将第一连接端子与第二连接端子连接并保持第二梁。第一固定电极在基板的主表面与第一操作端子的一部分相对地安装。

6. 发明公开

KR1020070098735A 압전 구동 ＭＥＭＳ 디바이스 失效
标题翻译：压电驱动MEMS器件
公开(公告)号：KR1020070098735A
公开(公告)日：2007-10-05
申请号：KR1020070031694
申请日：2007-03-30
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 니시가끼미찌히꼬 , 나가노도시히꼬 , 미야자끼다까시 , 이따야가즈히꼬 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H01L41/09 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094
摘要： A piezoelectric driven MEMS device is provided to control a displacement quantity of a piezoelectric drive with high reproducibility and high precision. A piezoelectric driven MEMS device includes a first actuator(11), a second actuator(21), and an electrical circuit element. The first actuator(11) includes a lower electrode(13), a piezoelectric film(14), an intermediate electrode(15), a piezoelectric film(16), and an upper electrode(17). The first actuator(11) is a piezoelectric driven actuator having the bimorph structure. An action part(12) is connected to a second part of the first actuator(11). The second actuator(21) is formed with the same stacked structure as the first actuator(11), under the same fabrication condition as the first actuator(11), or concurrently with the first actuator(11). A first end of the first actuator(11) is a fixed end, and is fixed to a substrate through an anchor(28). The second actuator(21) includes a lower electrode(23), a piezoelectric film(24), an intermediate electrode(25), a piezoelectric film(26), and an upper electrode(27).
摘要翻译：提供了一种压电驱动MEMS器件，以高重现性和高精度来控制压电驱动器的位移量。压电驱动MEMS器件包括第一致动器（11），第二致动器（21）和电路元件。第一致动器（11）包括下电极（13），压电膜（14），中间电极（15），压电膜（16）和上电极（17）。第一致动器（11）是具有双压电晶片结构的压电驱动致动器。动作部分（12）连接到第一致动器（11）的第二部分。第二致动器（21）在与第一致动器（11）相同的制造条件下或与第一致动器（11）同时形成具有与第一致动器（11）相同的堆叠结构。第一致动器（11）的第一端是固定端，并且通过锚固件（28）固定到基板。第二致动器（21）包括下电极（23），压电膜（24），中间电极（25），压电膜（26）和上电极（27）。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式