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1. 发明授权

KR100943796B1 압전 구동 ＭＥＭＳ 디바이스 失效
标题翻译：压电驱动MEMS器件
公开(公告)号：KR100943796B1
公开(公告)日：2010-02-23
申请号：KR1020070031694
申请日：2007-03-30
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 니시가끼미찌히꼬 , 나가노도시히꼬 , 미야자끼다까시 , 이따야가즈히꼬 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H01L41/09 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094
摘要： MEMS 디바이스는: 제1 고정 말단을 가지며, 제1 하부 전극, 제1 압전막, 및 제1 상부 전극이 적층된 구조를 포함하며, 제1 하부 전극 및 제1 상부 전극에 전압을 인가함으로써 동작될 수 있는 제1 액츄에이터; 제2 고정 말단을 가지며, 제1 액츄에이터와 평행하게 배치되고, 제2 하부 전극, 제2 압전막, 및 제2 상부 전극이 적층된 구조를 포함하며, 제2 하부 전극 및 제2 상부 전극에 전압을 인가함으로써 동작될 수 있는 제2 액츄에이터; 및 제1 액츄에이터에 접속된 제1 액션부 및 제2 액츄에이터에 접속된 제2 액션부를 포함하는 전기 회로 소자를 포함한다.
압전 구동 MEMS 디바이스, 액츄에이터, 액션부, 가변 용량형 커패시터, 압전막

2. 发明公开

KR1020080087730A ＭＥＭＳ 디바이스 및 상기 ＭＥＭＳ 디바이스를 구비한휴대용 통신 단말기 失效
标题翻译：具有标定MEMS器件的MEMS器件和便携式通信终端
公开(公告)号：KR1020080087730A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：KR1020080027787
申请日：2008-03-26
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 나가노도시히꼬 , 니시가끼미찌히꼬
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/00 , H04B1/40
CPC分类号： H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
摘要： A MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) device and a portable communication terminal with the same are provided to achieve a highly reliable DC-type MEMS switch having low driving voltage and low contact resistance. A MEMS device includes a substrate(1), a supporting unit(7), a fixed electrode(10), an actuator, and a stopper(9). The supporting unit and the fixed electrode are formed on the substrate. The actuator includes first and second electrodes, and a first piezoelectric layer. The first piezoelectric layer is formed on the first electrode. The second electrode is formed on the first piezoelectric layer. The supporting unit fixes one end of the actuator on the substrate. The stopper is formed on a line connecting the supporting unit and the fixed electrode and faces the first electrode.
摘要翻译：提供了一种具有低驱动电压和低接触电阻的高可靠性DC型MEMS开关的MEMS（微电子机械系统）装置及其便携式通信终端。 MEMS器件包括基板（1），支撑单元（7），固定电极（10），致动器和止动件（9）。支撑单元和固定电极形成在基板上。致动器包括第一和第二电极以及第一压电层。第一压电层形成在第一电极上。第二电极形成在第一压电层上。支撑单元将致动器的一端固定在基板上。止动件形成在连接支撑单元和固定电极并且面对第一电极的线上。

3. 发明授权

KR100537128B1 압전박막 공진기 및 그러한 공진기를 이용하는 주파수가변 공진기 失效
标题翻译：使用谐振器的压电薄膜谐振器和频率可变谐振器
公开(公告)号：KR100537128B1
公开(公告)日：2005-12-19
申请号：KR1020020056854
申请日：2002-09-18
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 아베가즈히데 , 야나세나오꼬 , 야스모또다까아끼 , 오하라료이찌 , 시미즈다쯔오 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H03H9/13
CPC分类号： H03H9/176 , H03B5/366 , H03H9/173 , H03H9/175
摘要： 제1 전극; 제2 전극; 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 삽입되고, 티탄산바륨을 포함하는 에피택셜 강유전성 박막으로 형성되며, 상기 에피택셜 강유전성 박막의 자발분극은 막표면에 수직인 방향으로 단일축 배향되는(uniaxially oriented) 압전박막을 포함하는 압전박막 공진기.

4. 发明公开

KR1020070122163A 압전 구동형 ＭＥＭＳ 디바이스 失效
标题翻译：压电驱动MEMS器件
公开(公告)号：KR1020070122163A
公开(公告)日：2007-12-28
申请号：KR1020070061629
申请日：2007-06-22
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 나가노도시히꼬 , 니시가끼미찌히꼬
IPC分类号： H01L29/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01G5/16 , H01H2057/006
摘要： A piezoelectric driven MEMS(Micro Electro Mechanical System) device is provided to constantly maintain a distance between an action end and fixed electrode, regardless of dimension of residual strain. Second to fourth actuators(2,3,4) are provided in parallel with a first actuator(1), and have the same length as that of the first actuator. A first end(11) of the first actuator is fixed to a substrate(6) by an anchor. A second end(12) of the first actuator is connected to a first end(21) of the second actuator by a first connection portion(81). A movable electrode is provided on a second end(22) of the second actuator. A first end(31) of the third actuator is fixed to the substrate by an anchor. A second end(32) of the third actuator is connected to a first end(41) of the fourth actuator(4) by a second connection portion(82). A movable electrode is provided on a second end(42) of the fourth actuator. The end of the second actuator is connected to the end of the fourth actuator by a third connection portion.
摘要翻译：提供压电驱动的MEMS（微机电系统）装置，以不断维持动作端和固定电极之间的距离，而不管残余应变的尺寸。第二至第四致动器（2,3,4）与第一致动器（1）平行地设置，并且具有与第一致动器相同的长度。第一致动器的第一端（11）通过锚固件固定到基板（6）。第一致动器的第二端（12）通过第一连接部分（81）连接到第二致动器的第一端（21）。可动电极设置在第二致动器的第二端（22）上。第三致动器的第一端（31）通过锚固件固定到基板。第三致动器的第二端（32）通过第二连接部分（82）连接到第四致动器（4）的第一端（41）。可动电极设置在第四致动器的第二端（42）上。第二致动器的端部通过第三连接部分连接到第四致动器的端部。

5. 发明公开

KR1020030025834A 압전박막 공진기 및 그러한 공진기를 이용하는 주파수가변 공진기 失效
标题翻译：使用它的压电薄膜振动器和可变频率谐振器
公开(公告)号：KR1020030025834A
公开(公告)日：2003-03-29
申请号：KR1020020056854
申请日：2002-09-18
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 아베가즈히데 , 야나세나오꼬 , 야스모또다까아끼 , 오하라료이찌 , 시미즈다쯔오 , 가와꾸보다까시
IPC分类号： H03H9/13
CPC分类号： H03H9/176 , H03B5/366 , H03H9/173 , H03H9/175
摘要： PURPOSE: To provide a piezoelectric thin-film vibrator which has a large electromechanical coefficient, exhibits a large mechanical quality coefficient, and is capable of largely varying a resonance frequency by applying a DC electric field. CONSTITUTION: A thin film of barium titanium is used as a piezoelectric thin film, which is epitaxially grown in a (001) orientation. By suppressing distortion in surface, the thin film is used in a state of c-phase so as to have a polarization component in a film thickness direction. Also, the thin film is used in a region where the distortion in the surface is larger than -0.025.
摘要翻译：目的：提供一种具有大机电系数的压电薄膜振动器，具有较大的机械质量系数，能够通过施加直流电场来大幅度地改变谐振频率。构成：使用钡钛薄膜作为以（001）取向外延生长的压电薄膜。通过抑制表面的变形，薄膜以c相的状态被使用，以具有膜厚度方向的偏振分量。此外，薄膜用于表面变形大于-0.025的区域。

6. 发明公开

KR1020010093671A 산화물 에피택셜 스트레인 격자 막을 제조하는 방법 失效
标题翻译：用于生产氧化物外延应变片的方法
公开(公告)号：KR1020010093671A
公开(公告)日：2001-10-29
申请号：KR1020010014555
申请日：2001-03-21
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 야스모또다까아끼 , 아베가즈히데 , 야나세나오꼬
IPC分类号： H01L21/203
CPC分类号： C23C14/345 , C23C14/0068 , C23C14/088 , C23C14/3407 , C23C14/352 , C30B23/02 , C30B29/22 , C30B29/32 , H01L21/02197 , H01L21/02266 , H01L21/31691 , H01L28/55
摘要： PURPOSE: To simultaneously overcome such a problem as film damage by oxygen negative ion irradiation specific to the time of oxide sputtering and such a problem as relaxation of strain in film formation and removal of strain in a method for forming an epitaxial strain lattice film of oxide. CONSTITUTION: An RF electric power is applied to a substrate holder while preventing damage of a strain lattice film to be formed by an oxygen negative ion and an epitaxial strain lattice having excellent crystallizability is formed by irradiation with a positive ion having a proper energy.
摘要翻译：目的：为了同时克服由于氧化物溅射时的氧负离子照射引起的膜损伤等问题，以及在形成氧化物外延应变晶格膜的方法中成膜时的应变弛豫和应变的解除等问题。构成：通过用具有适当能量的正离子照射形成具有优异结晶性的RF电力，同时防止由氧负离子形成的应变格子膜的损伤，并形成具有优异结晶性的外延应变晶格。

7. 发明授权

KR100983441B1 ＭＥＭＳ 디바이스 및 상기 ＭＥＭＳ 디바이스를 구비한휴대용 통신 단말기 失效
标题翻译：具有标定MEMS器件的MEMS器件和便携式通信终端
公开(公告)号：KR100983441B1
公开(公告)日：2010-09-20
申请号：KR1020080027787
申请日：2008-03-26
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 나가노도시히꼬 , 니시가끼미찌히꼬
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/00 , H04B1/40
CPC分类号： H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
摘要： 낮은 동작 전압, 큰 접촉 압력 및 큰 분리력를 갖는 MEMS 디바이스를 제공할 수 있다. MEMS 디바이스는, 기판과, 기판상에 마련하는 지지 유닛과, 기판상에 마련하는 고정 전극과, 제1 전극, 제1 전극상에 형성한 제1 압전막 및 제1 압전막상에 형성한 제2 전극을 구비한 액추에이터 - 액추에이터의 일단은 지지 유닛으로 기판상에 고정하고, 액추에이터는 지지 유닛 및 고정 전극을 연결하는 방향으로 연장하고, 제1 전극은 고정 전극에 대향하도록 위치함 - 와, 지지 유닛 및 고정 전극을 연결하는 직선 위에 위치하고, 제1 전극에 대향하도록 기판상에 위치하는 스토퍼 유닛을 포함한다.
MEMS, 지지 유닛, 고정 전극, 액추에이터, 스토퍼 유닛

8. 发明授权

KR100886522B1 압전 구동형 ＭＥＭＳ 디바이스 失效
标题翻译：压电驱动MEMS器件
公开(公告)号：KR100886522B1
公开(公告)日：2009-03-02
申请号：KR1020070061629
申请日：2007-06-22
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 나가노도시히꼬 , 니시가끼미찌히꼬
IPC分类号： H01L29/00
CPC分类号： H01H57/00 , H01G5/16 , H01H2057/006
摘要： 본 발명은 잔류 변형이 크든 적든 간에 동작 단부와 고정 전극 간의 거리를 일정하게 유지하고, 재현성과 신뢰성이 뛰어난 메커니즘을 갖는 압전 구동형 MEMS 디바이스를 제공한다. 폴더형 빔 구조를 각기 갖는 2개의 압전 구동형 액추에이터들은 평행하고 선대칭인 방식으로 배치되고, 동작 단부 근방에서 서로 접속된다.
압전막, 액추에이터, 동작 단부, 고정 전극, 전왜 효과, 잔류 변형

9. 发明公开

KR1020030078800A 전압 제어 발진기 失效
公开(公告)号：KR1020030078800A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：KR1020030019813
申请日：2003-03-29
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 오하라료이찌 , 아베가즈히데 , 쯔루미히로시 , 요시다히로시 , 후지모또류이찌
IPC分类号： H03B5/32
CPC分类号： H03H9/173 , H03H9/0095 , H03H9/545 , H03H9/562 , H03H9/564 , H03H9/566 , H03H9/581 , H03H9/585 , H03H9/60 , H03H2009/02196
摘要： 넓은 주파수 가변 범위를 갖고 주파수 안정도가 높으며 위상 잡음이 우수하고 경시 변화가 적으며 초소형으로 동시에 복수의 주파수를 발진 가능한. 전압 제어 발진기를 제공한다. 분극 방향이 막 두께 방향으로 일정한 두께 10㎛ 이하의 단결정 강유전체를 압전체로서 이용한 박막 압전 공진자를 이용한다. 이 전극에 인가하는 전압을 변화시킴으로써 0.01%/V 이상의 큰 발진 주파수 변화율을 갖고 위상 잡음이 매우 작은 전압 제어 발진기를 제공한다.

10. 发明公开

KR1020030025821A 고주파 필터 失效
标题翻译：射频滤波器
公开(公告)号：KR1020030025821A
公开(公告)日：2003-03-29
申请号：KR1020020056360
申请日：2002-09-17
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 오하라료이찌 , 아베가즈히데 , 가와꾸보다까시 , 요시다히로시 , 쯔루미히로시 , 후지모또류이찌
IPC分类号： H03H9/54
CPC分类号： H03H9/605 , H03H9/0095 , H03H9/542 , H03H9/581 , H03H2009/02196
摘要： PURPOSE: An RF filter is provided to control variably a passing characteristic by using properly an external control unit. CONSTITUTION: An RF filter includes a plurality of thin film piezoelectric resonators which are connected serially and in parallel between an input terminal and an output terminal. The thin film piezoelectric resonator includes a piezoelectric film(2), the first electrode(1), and the second electrode(3). The first electrode(1) and the second electrode(3) are formed on both sides of the piezoelectric film(2). The RF filter further includes a filter and a voltage circuit. The filter is formed with a variable piezoelectric resonator including a piezoelectric film. The voltage circuit is electrically connected to the variable piezoelectric resonator.
摘要翻译：目的：提供RF滤波器，通过正确使用外部控制单元，可变地控制通过特性。构成：RF滤波器包括在输入端子和输出端子之间串联并联连接的多个薄膜压电谐振器。薄膜压电谐振器包括压电薄膜（2），第一电极（1）和第二电极（3）。第一电极（1）和第二电极（3）形成在压电膜（2）的两侧。 RF滤波器还包括滤波器和电压电路。滤波器由包括压电膜的可变压电谐振器形成。电压电路电连接到可变压电谐振器。

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