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1. 发明授权

KR100983441B1 ＭＥＭＳ 디바이스 및 상기 ＭＥＭＳ 디바이스를 구비한휴대용 통신 단말기 失效
标题翻译：具有标定MEMS器件的MEMS器件和便携式通信终端
公开(公告)号：KR100983441B1
公开(公告)日：2010-09-20
申请号：KR1020080027787
申请日：2008-03-26
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가와꾸보다까시 , 나가노도시히꼬 , 니시가끼미찌히꼬
IPC分类号： B81B7/02 , B81B7/00 , H04B1/40
CPC分类号： H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
摘要： 낮은 동작 전압, 큰 접촉 압력 및 큰 분리력를 갖는 MEMS 디바이스를 제공할 수 있다. MEMS 디바이스는, 기판과, 기판상에 마련하는 지지 유닛과, 기판상에 마련하는 고정 전극과, 제1 전극, 제1 전극상에 형성한 제1 압전막 및 제1 압전막상에 형성한 제2 전극을 구비한 액추에이터 - 액추에이터의 일단은 지지 유닛으로 기판상에 고정하고, 액추에이터는 지지 유닛 및 고정 전극을 연결하는 방향으로 연장하고, 제1 전극은 고정 전극에 대향하도록 위치함 - 와, 지지 유닛 및 고정 전극을 연결하는 직선 위에 위치하고, 제1 전극에 대향하도록 기판상에 위치하는 스토퍼 유닛을 포함한다.
MEMS, 지지 유닛, 고정 전극, 액추에이터, 스토퍼 유닛

2. 发明授权

KR100499823B1 정전 액추에이터 및 해당 액추에이터를 이용한 정전마이크로 릴레이와 그 밖의 기기 失效
标题翻译：静电致动器和静电微型放映机及其它使用该设备的设备
公开(公告)号：KR100499823B1
公开(公告)日：2005-07-08
申请号：KR1020020066394
申请日：2002-10-30
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 아키바아키라 , 우노케이스케 , 조지마마사오 , 세키토모노리 , 사노코지
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0084 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 본 발명은 정전 액추에이터에 있어서의 온 전압이나 오프 전압 등의 동작 전압 특성의 변동을 억제하여, 정전 액추에이터에 정격 전압을 인가하여도 정전 액추에이터가 온이 되지 않거나, 구동 전압을 오프로 하여도 정전 액추에이터가 오프로되지 않거나 하는 현상을 방지하는 것을 목적으로 하며 그것을 위한 수단으로서, 고정 전극(30)과 가동 전극(38)을 대향시켜 설치하고, 고정 전극(3)의 표면에 절연막(31)을 형성한다. 절연막(31)은 질화막(SiN)(37)을 주재료로서 구성되고, 질화막(37)의 표리 양면에 산화막(SiO
2 )(39, 48)이 형성된다. 또한, 절연막(31)의 윗 면중, 가동 전극(38)과 대향하는 영역에는 복수의 돌기(32)가 마련된다. 절연막(31)에 있어서의 대전량은 주로 산화막(48)의 막두께로 결정되고, 질화막(47)은 내전압 특성 등 필요한 막두께를 확보하기 위해 사용된다.

3. 发明公开

KR1020150010952A 무선 주파수 미세 전자 기계 시스템(MEMS) 정전 용량 스위치 审中-实审
标题翻译：射频微电子机械系统（MEMS）电容开关
公开(公告)号：KR1020150010952A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：KR1020147031503
申请日：2012-05-27
申请人： 레이티언 캄파니
发明人： 필란스,브랜던윌리암 , 무디,코디블레이크 , 모리스,프란시스조셉
IPC分类号： H01H59/00 , H01H1/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072 , H01H1/0036
摘要： 무선 주파수 미세 전자 기계 정전 용량 스위치는 스위치의 정전 용량비에 영향을 미치지 않고 포집된 전하를 감소시키도록 이의 전극들의 하나 내의 홀들을 유전 포스트들에 정렬시킨다. 작동될 때, 상기 전극이 상기 복수의 홀들 주위의 상기 포스트들의 하나 또는 그 이상의 콘택 표면들에 접촉되어 각각의 홀이 그가 정렬되는 적어도 상기 포스트의 중심 부분에 중첩된다. 상기 상부 전극이 무선 주파수의 주파수에서 대략적으로 연속적인 도전성 시트로 나타나도록 상기 홀 크기를 선택함에 의해, 상기 포스트들에 대한 상기 홀들의 정렬이 스위치 정전 용량을 저하시키지 않고 포집된 전하의 양을 감소시킨다. 다른 실시예들에서, 상기 포스트 직경이 상기 홀 직경 보다 작을 수 있으므로 상기 중첩이 완성되고, 이 경우에 포집된 전하가 대체로 소거된다.

4. 发明授权

KR100738064B1 비선형적 복원력의 스프링을 가지는 ＭＥＭＳ 소자 有权
标题翻译：具有具有非线性恢复力的弹簧的MEMS装置
公开(公告)号：KR100738064B1
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020010009955
申请日：2001-02-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 심동하
IPC分类号： F16F1/22
CPC分类号： H01H59/0009 , B81B3/0013 , H01H2001/0089 , H01H2059/0063 , H01H2059/0072
摘要： 비선형적 복원력을 가지는 스프링 요소가 적용된 MEMS 소자에 관해 개시된다. 개시된 소자는: 기판 상에 형성되는 지지요소와; 지지요소에 의해 기판의 상방에 위치하여 기판에 대해 상대적인 운동을 하는 운동요소와; 상기 운동요소를 상기 지지체에 대해 탄력적 현가하는 스프링요소와; 상기 기판에 대한 상기 운동요소의 상대적 운동을 유발시키는 구동요소와; 상기 구동요소에 의해 운동요소가 운동을 할 때에 이를 지지하는 상기 스프링 요소가 소정량의 탄성변형이 이루어 졌을 때 스프링 요소의 반발력을 비선형적으로 증가시키는 반발력 변경 요소를; 구비한다.
이러한 MEMS 소자는 비선형적 반발력을 가지는 스프링요소를 이용하여 운동요소의 위치제어를 할 경우 위치 제어의 범위를 늘일 수 있다. 그리고 운동요소의 스틱션이 발생했을 경우 비선형적인 반발력을 가지는 스프링에 의해 큰 복원력을 얻을 수 있으며 공정 중 또는 동작 중에 발생할 수 있는 스틱션을 방지할 수 있다. 이러한 본 발명의 MEMS 소자는 종래의 MEMS 소자에 비해 신뢰성이 매우 높다.
MEMS, 비선형, 스프링

5. 发明授权

KR100619110B1 미세전자기계적 스위치 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：微机电系统开关及其制造方法
公开(公告)号：KR100619110B1
公开(公告)日：2006-09-04
申请号：KR1020040084407
申请日：2004-10-21
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이재우 , 제창한 , 강성원
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , Y10T29/417 , Y10T29/49105 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155 , Y10T29/49204 , Y10T29/49208
摘要： 본 발명은 고주파 대역의 무선통신 또는 고주파(RF) 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용되는 미세전자기계적(Micro-electro Mechanical Systems; MEMS) 스위치에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며 소정 부분이 개방된 신호선, 상기 신호선 양측의 기판에 각각 형성된 적어도 하나의 지지대, 지지대와 신호선 사이의 기판에 형성된 접지선, 지지대에 양측부가 고정되며 상, 하 이동이 가능한 이동판, 이동판에 위치되며 개방된 신호선을 연결시키기 위한 접촉수단를 구비하는 스위칭부, 이동판과 스위칭부를 지지하며, 기판과의 간격 유지를 위한 지지돌출부를 구비하는 지지층을 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호선, 스위칭부, 지지층, 지지돌출부

6. 发明授权

KR100609589B1 가변용량 소자 有权
标题翻译：可变电容元件
公开(公告)号：KR100609589B1
公开(公告)日：2006-08-08
申请号：KR1020057008740
申请日：2004-07-07
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 요시다코이치 , 오구치타카히로 , 코나카요시히로
IPC分类号： H01G5/16 , H01G7/04 , H01P1/12
CPC分类号： H01P1/127 , H01G5/0136 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2059/0072
摘要： To stably change capacitance for a change in temperature by constantly warping a movable part, whereby reliability is enhanced. A movable part 6 is provided above a substrate 2 by using supporting portions 4, support beams 7, etc., so as to be displaced. An insulating film 8 and a movable electrode 9 are provided on a conductor facing surface 6A of the movable part 6. A driving electrode 13 is used to displace the movable part 6, etc., between a signal cutoff position and a signal passage position, whereby a high frequency signal transmitted through a transmission line 3 is cut off or allowed to pass. In this case, the insulating film 8 uses its compressive stress to warp the movable part 6 and the movable electrode 9 in a direction of warping in a convex form toward the transmission line 3, and constantly keeps this warping direction. This can prevent the capacitance between the movable electrode 9 and the transmission line 3 from being varied by change in the warping direction of the movable part 6, etc., which is caused by an increase or decrease in temperature, and makes it possible to perform a stable switching operation.

7. 发明授权

KR101906887B1 무선 주파수 미세 전자 기계 시스템(MEMS) 정전 용량 스위치 有权
公开(公告)号：KR101906887B1
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：KR1020147031503
申请日：2012-05-27
申请人： 레이티언 캄파니
发明人： 필란스,브랜던윌리암 , 무디,코디블레이크 , 모리스,프란시스조셉
IPC分类号： H01H59/00 , H01H1/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0018 , H01H2059/0072
摘要： 무선주파수미세전자기계정전용량스위치는스위치의정전용량비에영향을미치지않고포집된전하를감소시키도록이의전극들의하나내의홀들을유전포스트들에정렬시킨다. 작동될때, 상기전극이상기복수의홀들주위의상기포스트들의하나또는그 이상의콘택표면들에접촉되어각각의홀이그가정렬되는적어도상기포스트의중심부분에중첩된다. 상기상부전극이무선주파수의주파수에서대략적으로연속적인도전성시트로나타나도록상기홀 크기를선택함에의해, 상기포스트들에대한상기홀들의정렬이스위치정전용량을저하시키지않고포집된전하의양을감소시킨다. 다른실시예들에서, 상기포스트직경이상기홀 직경보다작을수 있으므로상기중첩이완성되고, 이경우에포집된전하가대체로소거된다.

8. 发明公开

KR1020140003474A RF MEMS 크로스포인트 스위치와, RF MEMS 크로스포인트 스위치들을 포함하는 RF MEMS 크로스포인트 스위치 매트릭스 无效
标题翻译： RF MEMS CROSSPOINT开关和CROSSPOINT开关矩阵，包含RF MEMS CROSSPOINT开关
公开(公告)号：KR1020140003474A
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：KR1020137018651
申请日：2012-03-20
申请人： 델프멤스
发明人： 파바쥬,크리스토프
IPC分类号： H01H59/00 , H01P1/12
CPC分类号： H01P1/15 , B81B5/00 , B81B2201/018 , H01H1/0036 , H01H1/20 , H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2001/0084 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , H01P3/003
摘要： RF 크로스포인트 스위치(1)는 제1 전송 라인(10)과 상기 제1 전송 라인을 교차하는 제2 전송 라인(11)을 포함하고, 상기 제1 전송 라인(10)은 2개의 공간이 분리된 전송 라인 부분(100, 101), 및 상기 2개의 공간이 분리된 전송 라인 부분들(100, 101)을 영구히 전기적으로 연결하는 스위치 구성요소(12)를 포함하고, 상기 제2 전송 라인(11)은 상기 2개의 공간이 분리된 전송 라인 부분들(100, 101) 사이에서 상기 제1 전송 라인(10)을 교차하고, 상기 RF MEMS 크로스포인트 스위치(1)는, 적어도 상기 스위치 구성요소(12)가 상기 제1 전송 라인(10)의 상기 2개의 공간이 분리된 전송 라인 부분들(100, 101)을 전기적으로 연결하고, 상기 제1 전송 라인(10)과 상기 제2 전송 라인(11)들은 전기적으로 단절되는 제 1위치와, 상기 스위치 구성요소(12)가 상기 제1 전송 라인(10)의 상기 2개의 공간� � 분리된 전송 라인 부분들(100, 101)을 전기적으로 연결하고, 또한 상기 2개의 전송 라인(10, 11)을 전기적으로 함께 연결하는 제2 위치 사이에서 상기 스위치 구성요소(12)를 시동하기 위한 시동 수단(121)을 더 포함한다.

9. 发明公开

KR1020060035078A 미세전자기계적 스위치 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：微电机机械开关及其制造方法
公开(公告)号：KR1020060035078A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040084407
申请日：2004-10-21
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 이재우 , 제창한 , 강성원
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2059/0072 , H01P1/127 , Y10T29/417 , Y10T29/49105 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155 , Y10T29/49204 , Y10T29/49208
摘要： 본 발명은 고주파 대역의 무선통신 또는 고주파(RF) 시스템에서 신호의 전달을 제어하기 위해 사용되는 미세전자기계적(Micro-electro Mechanical Systems; MEMS) 스위치에 관한 것으로, 기판 상에 형성되며 소정 부분이 개방된 신호선, 상기 신호선 양측의 기판에 각각 형성된 적어도 하나의 지지대, 지지대와 신호선 사이의 기판에 형성된 접지선, 지지대에 양측부가 고정되며 상, 하 이동이 가능한 이동판, 이동판에 위치되며 개방된 신호선을 연결시키기 위한 접촉수단를 구비하는 스위칭부, 이동판과 스위칭부를 지지하며, 기판과의 간격 유지를 위한 지지돌출부를 구비하는 지지층을 포함한다.
미세전자기계적 스위치, 신호선, 스위칭부, 중앙지지층, 지지돌출부

10. 发明公开

KR1020050086669A 가변용량 소자 有权
标题翻译：可变电容元件
公开(公告)号：KR1020050086669A
公开(公告)日：2005-08-30
申请号：KR1020057008740
申请日：2004-07-07
申请人： 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
发明人： 요시다코이치 , 오구치타카히로 , 코나카요시히로
IPC分类号： H01G5/16 , H01G7/04 , H01P1/12
CPC分类号： H01P1/127 , H01G5/0136 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2059/0072
摘要： A variable capacitance element in which the capacitance can be varied stably relative to temperature variation etc. by warping a movable body constantly in one direction and reliability is enhanced. The movable body (6) is provided displaceably on a substrate (2) with a supporting part (4), a supporting beam (7), etc. in between, and an insulating coating (8) and a movable electrode (9) are provided on the surface (6A) facing a conductor. The movable body (6) etc. are displaced by a driving electrode (13) between a signal blocking position and a signal passing position, thus blocking or passing a high frequency signal transmitting on a transmission line (3). Compressive stress of the insulating coating (8) causes the movable body (6) and the movable electrode (9) to warp in the direction of forming a curve bulging toward the transmission line (3) and also constantly maintains the direction of the warp. This prevents the direction of warp of the movable body (6) etc. from changing by rise and fall in temperature, preventing capacitance between the movable electrode (9) and the transmission line (3) from varying. As a result, switching can be operated stably.
摘要翻译：可变电容元件通过使一个可动体在一个方向上恒定地翘曲并且可靠性得到提高，其中电容可以相对于温度变化等而稳定地变化。可移动体（6）可移动地设置在具有支撑部分（4）的基板（2）和支撑梁（7）等之间以及绝缘涂层（8）和可动电极（9）之间设置在面向导体的表面（6A）上。可移动体（6）等被信号阻挡位置和信号通过位置之间的驱动电极（13）移位，从而阻塞或通过在传输线（3）上传输的高频信号。绝缘涂层（8）的压缩应力使得可移动体（6）和可动电极（9）沿着形成朝向传输线（3）的凸起的方向弯曲，并且还恒定地保持翘曲的方向。这防止了可移动体（6）的翘曲方向由于温度的上升和下降而改变，防止可动电极（9）和传输线（3）之间的电容变化。结果，可以稳定地进行切换。

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