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1. 发明公开

KR1020150135512A 디바이스들을 인라인 검사 및/또는 테스트하는 방법 및 그와 같은 방법을 수행하는 장치 审中-实审
标题翻译：在线检查和/或测试设备的方法以及执行此类方法的设备
公开(公告)号：KR1020150135512A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：KR1020157030993
申请日：2013-03-27
申请人： 윌코아게
发明人： 레만마틴
IPC分类号： G05B19/418 , G01M3/22 , G01M3/32
CPC分类号： G01M3/3272 , G01M3/229 , G01M3/3263 , G01M3/3281 , G01M3/329 , G05B19/4183 , G05B2219/31432 , G05B2219/40554 , Y02P80/114 , Y02P90/02 , Y02P90/10 , Y02P90/22 , Y02P90/265 , Y02P90/28
摘要： 인라인전달된디바이스들(1)의검사및/테스트는, 모니터링유닛(7)이디바이스(1)에적용되도록수행된다. 모니터링유닛(7)은제거영역(11)에서제거된다. 기간(T) 내에서, 모니터링유닛(7)은디바이스(1)에적용되고, 모니터링유닛(7)은독립적동작모드(T)로동작된다. 기간(T)동안, 모니터링유닛(7)이적용되는디바이스(1)에관한정보는모니터링유닛(7)에서수집된다. 수집하는기간(T)은, 모니터링유닛이독립적모드에서동작되는동안기간(T)의적어도일부를포함한다.
摘要翻译：执行在线传送设备的检查和/或测试，其中监控单元被应用于设备。监控单元在去除区域中被移除。在时间范围内，将监控单元应用于设备，监控单元以独立运行模式运行。在监视单元期间收集关于应用监视单元的设备的时间段信息。这个收集时间包括监视单元在独立模式下操作的至少一部分时间段。

2. 发明公开

KR1020150066962A 설비이상 사전감지 시스템에서 툴제어장치를 통해 공정 라인의 장치로부터 수신한 데이터를 이용하는 방법 및 툴제어장치 审中-实审
标题翻译：通过工具控制器和工具对比器在预测和预防系统中使用数据的方法
公开(公告)号：KR1020150066962A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：KR1020130152646
申请日：2013-12-09
申请人： 한화테크윈 주식회사
发明人： 방현진 , 조철형 , 김수영 , 황민석
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4183 , G05B23/0213
摘要： 본발명의바람직한일 실시예로서, 툴제어장치는공정라인의장치로부터데이터를수신하여취합하는데이터취합부; 상기취합한데이터를파싱하여, 파싱한데이터를상기공정라인의장치를관리하는관리장치에서호환되는호환데이터부분과호환되지않는비호환데이터부분으로분리하는데이터파싱부; 상기공정라인의장치로부터취합한데이터를상기관리장치에서이용가능하도록상기취합한데이터의구조를재구성하여표준화된데이터구조로규격화하는규격화부;및상기규격화부에서규격화된표준화된데이터구조를이용하여상기관리장치와통신을수행하는통신부;를포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：根据本发明的理想实施例的刀具控制装置包括：数据收集单元，从处理线上的装置接收和收集数据; 分析所收集的数据并将解析的数据分离成在用于管理处理线上的设备的管理设备中兼容的兼容数据部分以及在管理设备中不兼容的不兼容数据部分的数据解析单元; 归一化单元重新配置所收集的数据的结构并将重新配置的数据结构归一化为标准化数据结构，以使得从处理线上的设备收集的数据可用于管理设备; 以及通信单元，其使用由归一化单元归一化的标准化数据结构与管理设备进行通信。

3. 发明公开

KR1020150061131A 기업의 제조의사결정 지원을 위한 스마트 제품 관리 시스템 및 그 방법 无效
标题翻译：支持企业决策制定产品的SMART系统及其方法
公开(公告)号：KR1020150061131A
公开(公告)日：2015-06-04
申请号：KR1020130144332
申请日：2013-11-26
申请人： (주)넥사비지니스그룹
发明人： 정태용 , 류한직
IPC分类号： G06Q50/04 , G06Q10/10
CPC分类号： Y02P90/30 , G05B19/41865 , G05B19/4183 , G06Q10/0631 , G06Q10/10 , G06Q50/04
摘要： 본발명은기업의제조의사결정을지원하기위한 ERP 솔루션시스템에관한것으로, 생산현장의제품의데이터를감지또는스캔하는하나이상의공장단말기와, 분석된데이터를수신받거나요구데이터를전송하는하나이상의내부관리자단말기및 외부협력업체단말기와, 네트워크망을통해연결되는제품관리시스템에있어서, 각공장단말기로부터전송된제품데이터가중계기를통해수집되고, 위지익기반코드생성기술을통해상기중계기를통해수집된데이터를아이콘기반형태로변환시키는데이터수집부와; 상기데이터수집부에서상기아이콘형태의각 공장의각 주기별생산량및 재고량을데이터저장부에읽어들인미리설정된생산계획량및 재고계획량과비교하여데이터포맷으로변환하고변환된데이터포맷을그래프형태로변환하여관리자데이터를생성하고생성된관리자데이터를상기하나이상의내부관리자단말기및 하나이상의외부협력업체단말기를전송하는데이터분석부와; 상기데이터수집부에서수집되는데이터, 미리설정된계획량의데이터, 및상기관리자데이터도저장되는데이터저장부를포함하는제품관리시스템을제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于支持公司制造决策的ERP解决方案系统。根据本发明的产品管理系统连接到一个或多个工厂终端以在生产现场检测或扫描产品数据，以及一个或多个内部管理者终端和外部分包商终端以经由网络接收分析的数据或发送所请求的数据。该产品管理系统包括：数据收集单元，用于通过中继装置收集从每个工厂终端发送的产品数据，并通过使用基于小部件的代码生成技术将从中继装置收集的数据转换成基于图标的格式; 数据分析单元，用于将来自数据收集单元的每个工厂的每个生产周期的基于图标的格式的生产数量和库存数量与预定的目标生产量和目标库存量相比较，读取到数据存储单元中以转换比较将数据格式转换成图形格式，生成管理器数据，并将管理器数据发送给内部管理终端和外部分包商终端; 以及数据存储单元，用于存储收集在数据收集单元中的数据，预定目标数量数据和管理器数据。

4. 发明授权

KR101388802B1 레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 및 그 방법 有权
标题翻译：辅助组件控制模块及其方法
公开(公告)号：KR101388802B1
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：KR1020097020285
申请日：2008-03-26
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 후앙청-호 , 루이앤드류
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/3065
CPC分类号： G05B19/4183 , G05B2219/32097 , G05B2219/33063 , G05B2219/33068 , G05B2219/45031 , Y02P90/08 , Y02P90/10 , Y02P90/18 , Y02P90/20
摘要： 레시피-앤-컴포넌트 제어 모듈 (RACCM) 이 제공된다. RACCM 은 복수의 컴포넌트를 갖는 플라즈마 처리 시스템에서 데이터 관리를 수행하는 서버이다. RACCM 은 복수의 지능형 에이전트를 포함한다. 복수의 지능형 에이전트의 각 지능형 에이전트는 복수의 컴포넌트의 각 컴포넌트와 상호작용하도록 구성된다. RACCM 은 복수의 지능형 에이전트로부터 처리된 데이터를 수신하도록 구성된 조정 에이전트를 더 포함한다.
RACCM, 지능형 에이전트, 플라즈마 처리 시스템, 컴포넌트, 레시피, 조정 에이전트

5. 发明公开

KR1020140018084A 포토레지스트 관리 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：光电管理装置和方法
公开(公告)号：KR1020140018084A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020127027616
申请日：2012-01-19
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 임병민 , 김원정 , 김석재 , 김영환 , 김관우 , 김영준 , 이효석 , 한명식 , 송상은
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G05B19/4183 , H01L21/6715 , Y02P90/10 , Y02P90/18 , H01L21/0273
摘要： 본 발명에 따른 포토레지스트 관리 장치는, 반도체 공정툴로부터 포토레지스트 용기가 빈 상태인 것을 나타내는 제1 메시지를 수신하면, 빈 상태의 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 무선 태그 리더에 요구하여 취득하고, 이 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제1 이벤트 처리부와, 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제2 메시지를 무선 태그 리더로부터 수신하면, 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 호스트에 전송하는 제2 이벤트 처리부와, 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기의 위치에 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제3 메시지를 무선 태그 리더로부터 수신하면, 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 호스트에 전송하는 제3 이벤트 처리부를 포함한 다.

6. 发明授权

KR101275838B1 샘플링되지 않은 워크피스에 관한 데이터 표시 失效
标题翻译：关于非抽样工作的数据表示
公开(公告)号：KR101275838B1
公开(公告)日：2013-06-18
申请号：KR1020087008924
申请日：2006-08-23
申请人： 글로벌파운드리즈 인크.
发明人： 리브스스티븐피. , 매킨타이어마이클지.
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/00 , G06F19/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B19/4183 , G05B2219/32075 , G05B2219/32194 , G05B2219/37222 , G05B2219/45031 , Y02P90/10 , Y02P90/20 , Y02P90/22
摘要： 샘플링되지 않은 워크피스와 관련된 데이터 표시를 제공하는 방법, 장치, 시스템. 제 1 워크피스에 관한 측정된 계측 데이터가 수신된다. 제 2 워크피스에 대응하는 계측 데이터가 제 1 워크피스에 관한 계측 데이터에 근거하여 근사화되어 제 2 워크피스에 관한 예측된 계측 데이터를 제공한다.
워크피스, 데이터 재현, 계측 데이터

7. 发明授权

KR101083625B1 플라즈마 프로세싱 툴에서의 프로세싱 정보 관리 有权
标题翻译：在等离子体加工工具中处理信息管理
公开(公告)号：KR101083625B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020077020420
申请日：2006-02-16
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 윗맨채드알 , 후앙청호 , 세토재클린 , 젠슨존
IPC分类号： G11C11/34
CPC分类号： G05B19/4183 , G05B2219/31304 , G05B2219/35391 , G05B2219/45031 , Y02P90/10 , Y02P90/20
摘要： 본 발명은 기판 프로세싱 데이터를 관리하는 컴퓨터-구현 방법에 관한 것이다. 기판 프로세스 데이터는 기판이 클러스터 툴의 플라즈마 프로세싱 챔버에서 프로세싱되는 동안에 획득된다. 방법은 기판의 식별자와 프로세스 중 하나 이상을 식별하는 메타-데이터를 수신하는 단계를 포함한다. 이 방법은 트랜스듀서로부터 프로세스 데이터 스트림을 수신하는 단계를 포함하며, 프로세스 파라미터에 관한 프로세스 데이터 스트림의 각각은 모니터링된다. 각각의 프로세스 데이터 스트림에서 개별적인 데이터 아이템은 제 1 방법과 제 2 방법 중 하나에 따라 수집된다. 제 1 방법은 시간적으로 주기적인 데이터 수집을 나타낸다. 제 2 방법은 소정의 이벤트가 발생한 경우에 발생하는 데이터 수집을 나타낸다. 또한, 이 방법은 단일 파일 내의 프로세스 데이터 스트림과 연관되는 개별적인 데이터 아이템을 저장하는 단계를 포함한다. 단일 파일은 기판 프로세스에 사용되는 단일 레시피에 관한 데이터만을 저장한다.
기판 프로세싱 데이터, 메타-데이터, 클러스터 툴, 아카이브 데이터베이스

8. 发明授权

KR101048413B1 통합 에너지 관리 클라이언트용 엠씨유 有权
标题翻译：用于总能源管理客户的MCU
公开(公告)号：KR101048413B1
公开(公告)日：2011-07-11
申请号：KR1020100139049
申请日：2010-12-30
申请人： 에스엠소프트웨어 (주) , 재단법인 광양만권 유아이티연구소
发明人： 박영임 , 전은만 , 홍석훈
IPC分类号： G05B19/02 , H04L12/26
CPC分类号： G05B23/02 , G05B19/4183 , G05B2219/24104 , G06F3/041 , G06F3/048 , Y02P90/10
摘要： PURPOSE: A Main Control Unit for an integrated energy management client is provided to manage and control generation equipments different from each other through an input/output touch monitor. CONSTITUTION: A Main Control Unit(100) for an integrated energy management client is operated by a program of an Operating System and is connected to an interface(30), a memory(40), an input/output touch monitor(50), and an Ethernet controller(60). The interface is connected to generation equipment(10) and exchanges a control signal for data. The memory stores the exchanged data. The input/output touch monitor displays a control page. The Ethernet controller communicates with a central server(70) connected to an internet network. The MCU is composed of an initialization function, a queue thread function, and a tracker function.
摘要翻译：目的：提供集成能源管理客户端的主控单元，通过输入/输出触摸显示器来管理和控制彼此不同的发电设备。构成：用于集成能量管理客户端的主控制单元（100）由操作系统的程序操作，并且连接到接口（30），存储器（40），输入/输出触摸监视器（50）和以太网控制器（60）。该接口连接到发电设备（10）并且交换用于数据的控制信号。存储器存储交换的数据。输入/输出触摸显示器显示控制页面。以太网控制器与连接到互联网的中央服务器（70）进行通信。 MCU由初始化函数，队列线程函数和跟踪器函数组成。

9. 发明授权

KR101019762B1 2차원코드의 형성방법 및 형성장치 失效
标题翻译： 2DIMENSIONAL CODE FORMATION METHOD AND FORMATION DEVICE
公开(公告)号：KR101019762B1
公开(公告)日：2011-03-04
申请号：KR1020067001771
申请日：2004-08-11
申请人： 아라이 가부시키가이샤
发明人： 사토카즈오 , 카토미쯔요시
IPC分类号： G06K1/12 , G06K15/00
CPC分类号： G05B19/4183 , G05B2219/31304 , G06K1/121 , Y02P90/10 , Y02P90/14
摘要： 본 발명의 2차원코드의 형성방법은, 2차원코드의 코드사이즈(code size)가 지정되는 공정과, 2차원코드에 기입된 격납정보(格納情報)가 지정되는 공정과, 2차원코드를 구성하는 단위셀(unit cell)의 셀사이즈(cell size)가 결정되는 공정과, 상기 단위셀 내 n × m(단,n, m은 자연수)에 종횡으로 배열된 도트(dot)의 스텝사이즈(step size) 또는 도트개수가 지정되는 공정과, 코드사이즈, 격납정보, 셀사이즈, 스텝사이즈 또는 도트개수에 근거하여, 레이저·마킹(laser-marking)정보가 생성되는 공정과, 그 레이저·마킹정보에 근거하여, 2차원코드가 레이저·마킹되는 공정을 구비하고 있다.
2차원코드, 마킹, 제조이력, 도트, 레이저

10. 发明授权

KR101001347B1 배선 레벨에서의 공정 제어 失效
标题翻译：互连级别的过程控制
公开(公告)号：KR101001347B1
公开(公告)日：2010-12-14
申请号：KR1020057005289
申请日：2003-09-19
申请人： 글로벌파운드리즈 인크.
发明人： 총로버트제이. , 그린에릭오.
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L22/20 , G05B19/4183 , G05B2219/32183 , G05B2219/36284 , G05B2219/45026 , G05B2219/45031 , H01L2223/54453 , H01L2924/0002 , Y02P90/10 , Y02P90/22 , H01L2924/00
摘要： 배선 레벨에서 공정 제어를 수행하기 위한 방법 및 장치. 워크피스에서 공정단계가 수행된다. 상기 워크피스의 배선 위치에 관한 제어 데이터가 얻어진다. 배선 특성 제어 공정은 제조 데이터에 기초하여 수행된다. 상기 배선 특성 제어 공정은 상기 배선 위치에 관한 특성을 제어하기 위한 워크피스의 배선 위치와 연관된 구조에 관한 공정을 제어하는 단계를 포함한다.

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