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1. 发明授权

KR102254199B1 중합체 복합재 진공 컴포넌트들 有权
公开(公告)号：KR102254199B1
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：KR1020177022705
申请日：2016-01-13
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 켈리,브래든,제이. , 퍼시,클린턴,엘. , 헨버취,스코트,씨. , 브루커,제라르도,에이. , 스위니,티모시,씨. , 피원카-코를,티모시,알.
IPC分类号： G01L21/34 , B29C45/14 , G01L21/30 , G01L19/00 , B29L31/00 , B29K23/00 , B29K69/00 , B29K71/00
摘要： 게이지는중합체재료로형성되는하우징을가지며, 그리고및 하나또는그 초과의전기피드스루핀들은하우징에배치된다. 전기피드스루핀들은실질적으로서로수직하게배향될수 있고, 복잡한형상들을가질수 있다.

2. 发明授权

KR102239901B1 격리 밸브에 의해 펄스 가스 전달을 위한 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102239901B1
公开(公告)日：2021-04-14
申请号：KR1020207024541
申请日：2019-01-28
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드
发明人： 딩,준후아 , 엘'바씨,마이클 , 힐,고든
IPC分类号： G01F15/00 , G01F1/36 , C23C16/455
摘要： 유체의펄스전달을위한유체제어시스템은, 유동채널, 유동채널로부터유체의펄스를개시및 종료하기위한격리밸브, 및펄스질량유량제어기(MFC)를포함한다. MFC는, 유체의펄스동안전달된유체의질량을제어하도록, 유동채널에서유체의유동을제어하기위한제어밸브, 유동채널에서의유량레이트를측정하기위한유동센서, 및제어밸브를통한유체의유동및 격리밸브의전환을제어하기위한제어기를포함한다. 제어밸브를통한유체의유동제어는, 격리밸브에의해개시및 종료되는펄스동안에유동센서로부터의피드백에기초할수 있다.

3. 发明授权

KR101824560B1 가스 분석기, 가스 분석 방법 및 가스 분석 시스템 有权
标题翻译：气体分析仪，气体分析方法和气体分析系统
公开(公告)号：KR101824560B1
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：KR1020127014884
申请日：2010-11-08
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 브룩커,제라르도,에이. , 반안트워프,케네쓰,디.,주니어
IPC分类号： G01L21/02 , G01M3/02 , G01J3/28 , G01N21/25
CPC分类号： G01M3/226 , G01M3/205 , G01M3/229 , G01M3/34
摘要： 진공챔버용가스분석기는질량스펙트럼데이터를수신하고, 진공챔버내의총 압력의입력을수신하고, 적어도하나의센서로부터의외부입력을수신하고, 질량스펙트럼데이터, 진공챔버내의총 압력및 적어도하나의센서로부터의외부입력을이용하여적어도하나의품질기준에기초하여진공품질인덱스를계산하도록구성된프로세싱전자기기를포함한다.
摘要翻译：用于真空室的气体分析仪接收质谱数据，接收真空室中的总压的输入，接收来自至少一个传感器的外部输入，并且接收质谱数据，真空室中的总压，以及处理电子器件，其被配置为使用外部输入基于所述至少一个质量标准来计算真空质量指数。

4. 发明授权

KR101821314B1 압력-레스 오존화된 DI-수 (DIO3) 재순환 회수 시스템 및 방법 有权
标题翻译：无压力臭氧去离子水（DIO3）循环回收系统和方法
公开(公告)号：KR101821314B1
公开(公告)日：2018-03-08
申请号：KR1020177000525
申请日：2013-11-04
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 자이베르트,요하네스,하인리히 , 브람머,울리히,알프레드 , 블라카,마르틴 , 슈나이터,게르하르트,요아힘
IPC分类号： B01D19/00 , C02F1/20 , C02F1/78 , G03F7/42 , C02F103/34
CPC分类号： C02F1/20 , B01D19/00 , B01D19/0063 , B01D19/0068 , B01D19/0073 , C02F1/78 , C02F2103/346 , C02F2209/02 , C02F2209/235 , C02F2209/38 , C02F2301/046 , G03F7/423 , H01L21/02052 , Y10T137/0318 , Y10T137/85978 , Y10T137/87249
摘要： 본발명은일 양상에서, 오존화된액체(ozonated liquid)를재순환(recirculating)하기위한시스템을제공한다. 시스템은적어도 2개의인렛(inlet)들및 적어도 2개의아웃렛(outlet)들을포함하는콘택터(contactor)를포함한다. 콘택터는제 1 콘택터인렛에서제 1 액체소스와그리고제 2 콘택터인렛에서제 2 액체소스와유체연통하고, 제 2 콘택터인렛은제 1 콘택터인렛에서수신된액체로부터가스의적어도일부를퍼지(purge)하는가스를수신한다. 퍼지된가스는제 1 콘택터아웃렛에서콘택터를빠져나간다. 콘택터는제 2 콘택터아웃렛에서제 2 액체소스와유체연통하고, 콘택터는콘택터내의액체의적어도일부를드레인(drain)시키고, 드레인된액체는제 2 콘택터아웃렛에서콘택터를빠져나간다. 콘택터는제 1 액체소스와유체연통하는제 3 인렛을포함하고, 제 3 인렛은제 1 액체소스가주위압력(ambient pressure)에서액체를릴리즈(release)하도록허용한다.
摘要翻译：在一个方面，本发明提供了一种用于再循环臭氧化液体的系统。该系统包括接触器，该接触器包括至少两个入口和至少两个出口。该接触器包括一第一吹扫（清洗）的至少一个第一流体源的和部分并与其流体连通的第二流体源，所述第二接触器入口包括从在第二接触器入口在接触器入口在所述第一接触器入口接收所述液体的气体它接收到的气体。净化后的气体在第一个接触器出口离开接触器。接触器和流体连通在所述第二接触器，接触器的出口和漏极（漏极）至少在接触器中的液体的一部分的第二流体源，漏液体离开在第二接触器出口处的接触器。接触器包括与第一液体源流体连通的第三入口，并且第三入口允许第一液体源在环境压力下释放液体。

5. 发明授权

KR101817162B1 고속 펄스 가스 이송 시스템 및 방법 有权
标题翻译：高速脉冲气体输送系统和方法
公开(公告)号：KR101817162B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020167018534
申请日：2012-02-24
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩,준후아 , 엘'바씨,마이클엘. , 리,씅-청
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/448 , C23C16/52 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/8593
摘要： 툴에원하는질량의가스의펄스를이송하기위한시스템은, 유량센서와, 제어밸브와, 상기제어밸브를개폐하기위한일련의단계의레시피(recipe)의함수로서가스펄스의시퀀스로이송하기위하여상기레시피를수신하도록구성되고배치되는전용제어기를포함하는질량유량제어기를포함한다. 질량유량제어기는통상적인질량유량제어기(MFC) 모드또는펄스가스이송(PGD) 모드와같은적어도두 개의모드중 어느하나로동작하도록구성되고배치된다. 또한, 전용제어기는시간기반펄스이송공정, 몰기반펄스이송공정및 프로파일기반펄스이송공정인 3개의상이한타입의펄스가스이송공정에따라가스의펄스를이송하기위하여구성되고배치된다.
摘要翻译：用于将期望质量的气体的脉冲输送到工具的系统包括流量传感器，控制阀和控制阀，还有一个专门的控制器被配置和安排来接收配方。质量流量控制器被配置和布置成以至少两种模式操作，例如常规质量流量控制器（MFC）模式或脉冲气体输送（PGD）模式。另外，只有所述控制器被构造和布置成基于所述脉冲转移过程，转移过程和基于所述三种不同类型的脉冲气体转移过程的脉冲转移过程基于摩尔-脉冲轮廓时间来输送气体脉冲。

6. 发明公开

KR1020170115589A 자기-공진 디바이스로 플라즈마 점화를 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：具有自谐振装置的等离子体点火装置和方法
公开(公告)号：KR1020170115589A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：KR1020177025001
申请日：2016-01-27
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 스미스,샤운,티. , 왈터,스티븐,알. , 우,첸
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32192 , H01J37/32247 , H01J37/32311 , H05H2001/4607 , H05H2001/4652
摘要： 플라즈마챔버내의프로세스플라즈마를점화하기위한방법들및 장치가제공된다. 하나또는그 초과의자기-공진디바이스들은플라즈마챔버내부의플라즈마생성체적부에관련하여플라즈마챔버내에포지셔닝된다. 플라즈마생성체적부는플라즈마챔버에의해규정된다. 자기-공진디바이스들각각은점화플라즈마를생성한다. 점화플라즈마들은점화가스의부분이온화를유발한다. 부분적으로이온화된점화가스는플라즈마생성체적부에전기장을인가함으로써프로세스플라즈마의점화를허용한다.
摘要翻译：提供了用于在等离子体室中点燃过程等离子体的方法和设备。一个或多个自谐振装置相对于等离子体腔室内的等离子体产生体积位于等离子体腔室内。等离子体产生体积由等离子体室限定。每个自谐振装置产生点火等离子体。点火等离子体引起点火气体的部分电离。部分离子化的点火气体通过将电场施加到等离子体产生体积而允许点火等离子体。

7. 发明公开

KR1020170102553A 중합체 복합재 진공 컴포넌트들 审中-实审
标题翻译：聚合物复合真空部件
公开(公告)号：KR1020170102553A
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：KR1020177022705
申请日：2016-01-13
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 켈리,브래든,제이. , 퍼시,클린턴,엘. , 헨버취,스코트,씨. , 브루커,제라르도,에이. , 스위니,티모시,씨. , 피원카-코를,티모시,알.
IPC分类号： G01L21/34 , B29C45/14 , G01L21/30 , G01L19/00 , B29L31/00 , B29K23/00 , B29K69/00 , B29K71/00
CPC分类号： G01L21/34 , B29C45/14065 , B29K2023/12 , B29K2069/00 , B29K2071/00 , B29L2031/752 , G01L19/0084 , G01L21/30
摘要： 게이지는중합체재료로형성되는하우징을가지며, 그리고및 하나또는그 초과의전기피드스루핀들은하우징에배치된다. 전기피드스루핀들은실질적으로서로수직하게배향될수 있고, 복잡한형상들을가질수 있다.
摘要翻译：量规具有由聚合物材料形成的壳体，并且一个或多个电馈通翅片设置在壳体中。电馈通翅片可以基本彼此垂直定向并且可以具有复杂的形状。

8. 发明授权

KR101753694B1 RF 측정, 처리 및 제어를 동반하는 RF 펄스 신호의 동기화 有权
标题翻译： RF脉冲信号与RF测量，处理和控制同步
公开(公告)号：KR101753694B1
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020157023383
申请日：2013-11-21
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 쿠무,데이비드제이. , 피스크II,래리제이. , 라돔스키,애런티. , 김재현 , 이상원 , 스미카,조너선
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32174 , H01J37/3299
摘要： 무선주파수(RF) 시스템이개시된다. 상기 RF 시스템은 RF 센서, 아날로그-디지털컨버터(ADC) 모듈, 처리모듈, 및동기화모듈을포함한다. RF 센서는 RF 출력의파라미터를측정하고상기파라미터에기초하여 RF 신호를생성한다. ADC 모듈은 RF 신호의샘플을디지털값으로변환한다. 처리모듈은상기디지털값에기초하여처리된값을생성한다. 동기화모듈은 RF 출력의전이에응답하여상기처리된값들중 하나를출력한다.
摘要翻译：公开了一种射频（RF）系统。 RF系统包括RF传感器，模数转换器（ADC）模块，处理模块和同步模块。 RF传感器测量RF输出的参数并基于该参数生成RF信号。 ADC模块将RF信号的采样转换为数字值。处理模块基于数字值生成处理值。同步模块响应RF输出的转换而输出处理后的值之一。

9. 发明公开

KR1020160136420A 전력 균일성이 개선된 마이크로파 플라즈마 인가기 审中-实审
标题翻译：具有改进功率均匀性的MICROWAVE等离子体应用器
公开(公告)号：KR1020160136420A
公开(公告)日：2016-11-29
申请号：KR1020167029541
申请日：2015-03-19
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 첸,싱 , 지,쳉시앙 , 매든,에린 , 포키도브,일리아 , 웬젤,케빈,더블유.
IPC分类号： H01J37/32 , H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32229 , H01J37/32201 , H01J37/32311 , H01J37/32522 , H05H1/46 , H05H2001/4622
摘要： 플라즈마발생장치는, 플라즈마방전관, 및플라즈마방전관의외면둘레에나선형으로권취된전도성코일을포함한다. 도파관은, 플라즈마가플라즈마방전관에서발생하게끔마이크로파에너지를플라즈마방전관내로유도하도록플라즈마방전관을둘러싸는마이크로파캐비티에결합된다. 도파관은, 마이크로파에너지의전계가플라즈마방전관의길이방향축선에대하여소정의각도로배향되도록위치한다. 그결과, 전도성코일에유도되는전류는플라즈마방전관에서의전력흡수에영향을끼치고, 소정의각도는, 플라즈마방전관에서의전력흡수가플라즈마방전관의길이방향축선에대한소정의프로파일에따르도록선택가능하다.
摘要翻译：用于产生等离子体的装置包括等离子体放电管和螺旋缠绕在等离子体放电管的外表面上的导电线圈。波导耦合到围绕等离子体放电管的微波腔，以将微波能量引导到等离子体放电管中，使得等离子体在等离子体放电管中产生。波导被定位成使得微波能量的电场相对于等离子体放电管的纵向轴线定向成预定角度。导电线圈中产生的感应电流影响等离子体放电管中的功率吸收，该预定角度是可选择的，使得等离子体放电管中的功率吸收相对于等离子体放电管的纵向轴线具有预定的轮廓。

10. 发明公开

KR1020160132835A 고속 펄스 가스 이송 시스템 및 장치 审中-实审
标题翻译：快速脉冲气体输送系统及方法
公开(公告)号：KR1020160132835A
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：KR1020167024706
申请日：2015-02-11
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩,준후아 , 르바시,마이클 , 리,쳉-청
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/52 , G05D7/06
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/45523 , C23C16/45561 , G05D7/0635
摘要： 툴에원하는질량의가스의펄스를이송하기위한시스템은, 유량센서와, 제어밸브와, 제어밸브를개폐하기위한일련의단계의레시피(recipe)의함수로서가스펄스의시퀀스로이송하기위하여레시피를수신하도록구성되고배치되는전용제어기를포함하는질량유량제어기를포함한다. 질량유량제어기는, 전통적인질량유량제어기(MFC) 모드또는펄스가스이송(PGD) 모드인적어도 2개의모드중 하나로동작하도록구성되고배치된다. 또한, 질량유량제어기는, 입력신호를수신하도록구성된입력부; 출력신호를제공하도록구성된출력부; 프로그램명령어를수신하도록구성된통신포트; 질량유량제어기의프로그래밍된구성을디지털구성또는아날로그구성으로서판단하는프로그래밍데이터를수신하도록구성되고배치된메모리; 및프로그래밍된구성에따라질량유량제어기를동작시키도록구성되고배치된프로세서/제어기를포함한다.
摘要翻译：一种用于将期望质量的气体脉冲输送到工具的系统，包括：质量流量控制器，包括流量传感器，控制阀和专用控制器，其被配置和布置成接收用于打开和关闭控制的一系列步骤的配方阀门，以作为配方的函数输送气体脉冲序列。质量流量控制器被配置和布置成以至少两种模式中的任一种操作：作为传统质量流量控制器（MFC）模式或脉冲气体输送（PGD）模式。此外，质量流量控制器包括被配置为接收输入信号的输入; 被配置为提供输出信号的输出; 通信端口，被配置为接收程序指令; 存储器被配置和布置成接收将质量流量控制器的编程配置确定为数字或模拟配置的编程数据; 以及用于根据编程配置操作质量流量控制器的处理器/控制器。

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