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1. 发明授权

KR101689367B1 다중 채널 에어로졸 산란 흡수 측정장치 有权
标题翻译：多通道气溶胶散射吸收测量装置
公开(公告)号：KR101689367B1
公开(公告)日：2016-12-26
申请号：KR1020157018379
申请日：2014-06-26
申请人： 난징 유니버시티
发明人： 한용
IPC分类号： G01N15/00 , G01N15/02 , G01N15/06 , G01N21/31 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N21/59 , G01N21/03 , G01F1/76 , G10K11/16
CPC分类号： G01N21/39 , G01N1/22 , G01N15/02 , G01N21/0332 , G01N21/1702 , G01N21/4785 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N23/227 , G01N29/2425 , G01N2001/2223 , G01N2015/0046 , G01N2021/052 , G01N2021/1704 , G01N2021/4711 , G01N2201/06113
摘要： 본발명은다중채널에어로졸산란흡수측정장치를제시하였는바, 광로장치, 검출장치와공기회로장치를포함하여구성되며, 광로장치는 3가지서로다른파장의레이저를제공하여순서대로검출장치에진입하게하며; 검출장치에는복수의다각도광검출기를설치하여측정을진행하기에에어로졸산란계수의측정오차를줄이며; 공기회로장치는표본진입유닛, 표본교정유닛과표본방출유닛을포함하고, 광로장치에서전송되는광원과공기회로장치에서전송되는기류는각각검출장치의광음향셀에진입하여제어유닛에의해검출된다. 본발명의에어로졸산란흡수측정장치는다중채널, 다각도, 풀사이즈로에어로졸입자의산란위상함수와흡수계수를직접측정하는특징을가지며, 에어로졸의산란계수, 흡광계수, 가시거리, 투광율, 단일산란반사율등 광학변수를동기적으로취득할수있는기능이있어에어로졸의각 광학변수의통합온라인검출을실현하며, 자동화수준이높고, 안정성이뛰어나다.
摘要翻译：本发明被配置成包括多通道气溶胶散射吸收措施提出hayeotneun酒吧，光路单元，所述检测装置和所述空气单元电路装置中，所述光路单元，以便提供具有三个不同波长的激光入射到检测装置和; 在检测装置中安装有多个多边形光电探测器，以减小气溶胶散射系数的测量误差，以便执行测量; 空气回路装置包括样品入口部，一个样本校准单元和所述样品放电单元，和从所述光源和要被从光路单元发送的空气回路装置发送由所述控制单元检测到的流分别进入检测装置的光声池。本发明的气溶胶散射吸收测量装置是一种多通道，多角度，全尺寸的特征在于直接测量散射相函数，和气溶胶粒子的吸收系数，气溶胶的散射参数，消光系数，视线，tugwangyul，单散射反射率等，可以得到光学可变的能力同步实现集成的在线检测具有高电平的自动化，具有优异的稳定性的气溶胶的光学参数。

2. 发明公开

KR1020070051252A 측정된 기초 스펙트럼을 사용하거나 및/또는 획득된스펙트럼에 기초한 박막의 비파괴적 특성화 有权
标题翻译：使用测量的基准光谱和/或基于获得的光谱的薄膜的非结晶特征
公开(公告)号：KR1020070051252A
公开(公告)日：2007-05-17
申请号：KR1020057012492
申请日：2003-12-23
申请人： 리베라 인코퍼레이티드
发明人： 라슨,폴,이 , 와트슨,데이비드,지 , 모울더,존,에프
IPC分类号： G01B11/06 , G01B21/08 , G01N21/25 , B82Y35/00
CPC分类号： G01B11/06 , G01B15/02 , G01N23/227
摘要： 본 발명은 (비선형 최소 제곱 조정 알고리즘을 사용하여) 수집된 스펙트럼 데이터에 대한 요소 및/또는 화학 종에 대한 측정된 피크 형상 (예를 들어, 모니터되는 특정한 프로세스에 대해 이전에 측정된 Si 피크 형상) 을 비교하기 위해 비교 프로세스 (예를 들어, 조정 프로세스) 를 사용하는 막의 특성화 (예를 들어, 실리콘 옥시니트라이드 막에 대한 두께 결정) 를 제공한다. 또한, 본 발명은 수집된 스펙트럼 데이터를 사용하는 막의 특성화 (예를 들어, 실리콘 옥시니트라이드막에 대한 두께 결정) 를 제공한다. 예를 들어, 획득된 스펙트럼은 누적 통합될 수도 있고 통합된 스펙트럼의 기하학적 특성이 성분 농도 정보를 결정하기 위해 사용될 수도 있다. 막에 대한 두께 측정은 성분 농도 정보에 기초하여 제공될 수도 있다.
통합된 스펙트럼, 획득된 스펙트럼

3. 发明公开

KR1020160006155A 다중 채널 에어로졸 산란 흡수 측정장치 有权
标题翻译：多通道航空散射吸收测量仪器
公开(公告)号：KR1020160006155A
公开(公告)日：2016-01-18
申请号：KR1020157018379
申请日：2014-06-26
申请人： 난징 유니버시티
发明人： 한용
IPC分类号： G01N15/00 , G01N15/02 , G01N15/06 , G01N21/31 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N21/59 , G01N21/03 , G01F1/76 , G10K11/16
CPC分类号： G01N21/39 , G01N1/22 , G01N15/02 , G01N21/0332 , G01N21/1702 , G01N21/4785 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N23/227 , G01N29/2425 , G01N2001/2223 , G01N2015/0046 , G01N2021/052 , G01N2021/1704 , G01N2021/4711 , G01N2201/06113
摘要： 본발명은다중채널에어로졸산란흡수측정장치를제시하였는바, 광로장치, 검출장치와공기회로장치를포함하여구성되며, 광로장치는 3가지서로다른파장의레이저를제공하여순서대로검출장치에진입하게하며; 검출장치에는복수의다각도광검출기를설치하여측정을진행하기에에어로졸산란계수의측정오차를줄이며; 공기회로장치는표본진입유닛, 표본교정유닛과표본방출유닛을포함하고, 광로장치에서전송되는광원과공기회로장치에서전송되는기류는각각검출장치의광음향셀에진입하여제어유닛에의해검출된다. 본발명의에어로졸산란흡수측정장치는다중채널, 다각도, 풀사이즈로에어로졸입자의산란위상함수와흡수계수를직접측정하는특징을가지며, 에어로졸의산란계수, 흡광계수, 가시거리, 투광율, 단일산란반사율등 광학변수를동기적으로취득할수있는기능이있어에어로졸의각 광학변수의통합온라인검출을실현하며, 자동화수준이높고, 안정성이뛰어나다.
摘要翻译：本发明公开了一种多通道气溶胶散射吸收测量仪器，包括光路装置，检测装置和气体路径装置。光路装置依次提供进入检测装置的三种不同波长的激光; 检测装置设有多个角度的光电检测器进行测量，以减少气溶胶散射系数的测量误差; 气体通道装置包括样品加载单元，校准单元和样品排出单元; 并且来自光路装置的光源和来自气体路径装置的气流分别进入检测装置的光声腔，并由控制单元检测。本发明的气溶胶散射吸收测定仪的特征在于多通道，多角度，全尺度，直接测量气溶胶粒子的散射相位函数和吸收系数，结合了同步获取气溶胶光学参数的功能（如散射系数，消光系数，可见度，透射率，单散射反照率等），实现了自动化程度高，稳定性好的气溶胶的不同光学参数的在线检测。

4. 发明公开

KR1020080050315A 수지막 평가 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 无效
标题翻译：树脂膜评估方法及制造半导体器件的方法
公开(公告)号：KR1020080050315A
公开(公告)日：2008-06-05
申请号：KR1020070121393
申请日：2007-11-27
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 가미야나기히사코 , 시바타사토시 , 가네키레이키 , 미야가와고헤이
IPC分类号： H01L21/265 , H01L21/306 , H01L21/027
CPC分类号： G01N23/227 , H01L22/14 , H01L22/24 , H01L2924/0002 , H01L21/265 , H01L21/67017 , H01L2924/00
摘要： A method for evaluating a resin layer and a method for manufacturing a semiconductor device is provided to quantitatively evaluate the formation of a deformed layer from a surface of the resin layer. A resin layer(3) having an opening(4) is formed on an insulating layer(2). The opening exposes a surface of the insulating layer. A charged energy particle is irradiated to a substrate on which the resin layer is formed. A surface potential of the substrate is measured. A potential difference is calculated between the surface potential of the resin layer and a surface potential of the insulating layer exposed by the opening based on the measured result. From the potential difference, physical amounts are estimated. The physical quantities are obtained when a process such as a resin layer elimination is performed on the resin layer to which the charged energy particle is irradiated.
摘要翻译：提供一种用于评估树脂层的方法和用于制造半导体器件的方法，以定量评价从树脂层的表面形成变形层。在绝缘层（2）上形成具有开口（4）的树脂层（3）。开口露出绝缘层的表面。将带电能粒子照射到其上形成有树脂层的基板上。测量衬底的表面电位。根据测定结果计算出树脂层的表面电位与露出的绝缘层的表面电位之间的电位差。从潜在的差异来看，物理量是估计的。在对被照射能量粒子的树脂层进行树脂层消除等处理的情况下，获得物理量。

5. 发明公开

KR1020070066524A 액정표시장치의 표면분석방법 无效
标题翻译：液晶显示器的表面分析方法
公开(公告)号：KR1020070066524A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：KR1020050127810
申请日：2005-12-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최효휘 , 오원식 , 이동하 , 어재호
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： G01N23/225 , G01N23/2255 , G01N23/227 , G01N2223/081 , G01N2223/086
摘要： A method for analyzing a surface in a liquid crystal display is provided to prevent electric charges generated by a charge effect from being introduced into an analyzing section due to an interruption section. A method for analyzing a surface in a liquid crystal display includes the steps of preparing for a material including an analyzing section(30) of the liquid crystal display, forming an interruption section(70) at the outer periphery of the upper surface of the analyzing section by using a connection ion beam, milling a side surface of the analyzing section by using the connection ion beam, performing a structural analysis on the analyzing section by using a scan electronic microscope, performing a component analysis on the analyzing section by using an electronic monochromator.
摘要翻译：提供了一种用于分析液晶显示器中的表面的方法，以防止由于中断部分而导致由电荷效应产生的电荷被引入分析部分。一种用于分析液晶显示器中的表面的方法包括以下步骤：制备包括液晶显示器的分析部分（30）的材料，在分析物的上表面的外周形成中断部分（70）通过使用连接离子束进行切断，使用连接离子束研磨分析部的侧面，通过使用扫描电子显微镜对分析部进行结构分析，使用电子元件对分析部进行成分分析单色。

6. 发明公开

KR1020160038387A 엑스선 디텍터 및 그 구동방법 审中-实审
标题翻译： X射线探测器及其驱动方法
公开(公告)号：KR1020160038387A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020140131406
申请日：2014-09-30
申请人： 주식회사 레이언스 , (주)바텍이우홀딩스
发明人： 이동진 , 김태우 , 전유성
IPC分类号： G01T1/24 , G01N23/227 , H01L27/14
CPC分类号： G01T1/241 , G01N23/227 , G01N2223/084 , G01N2223/50 , G01T1/24 , H01L27/14 , H01L31/02019 , H01L31/115
摘要： 본발명은기판상에형성된제1전극과; 상기제1전극상에형성된광도전층과; 상기광도전층상에형성되며, 바이어스전압을인가받아전압인가상태를갖거나플로팅(floating) 상태를갖는제2전극과; 상기바이어스전압의출력을온/오프하도록구성된전원회로를포함하는 X선디텍터를제공한다.
摘要翻译：本发明涉及一种降低功耗的X射线检测器。 X射线检测器包括：形成在基板上的第一电极; 形成在所述第一电极上的光电导层; 形成在所述光电导层上的第二电极，接收具有电压施加状态或浮置状态的偏置电压; 以及接通/关断偏置电压的输出的电源电路。

7. 发明公开

KR1020110011668A 원위치 차등 분광법 有权
标题翻译：现场差异光谱
公开(公告)号：KR1020110011668A
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：KR1020107027635
申请日：2009-05-07
申请人： 케이엘에이-텐코어 코오포레이션
发明人： 배즈-이라바니,메디 , 나세르그호디시,메흐란 , 차오,구오헹
IPC分类号： G01J3/00 , G01J3/42
CPC分类号： H01J37/244 , G01N2223/079 , G01N2223/086 , G01N2223/33 , H01J37/256 , H01J2237/24495 , H01J2237/2511 , H01J2237/2807 , G01J3/00 , G01J3/42 , G01N23/227
摘要： 샘플에 지향되는 전자 빔을 발생시키기 위한 전자 빔 발생기를 갖는 분광기가 기재된다. 전자 빔 포지셔너는 전자 빔을 샘플의 포지션 상으로 지향시켜 샘플로부터 이차 방출된 스트림을 생성하며, 이때 상기 이차 방출된 스트림은 전자들 및 x-레이들 중 적어도 하나를 포함한다. 이차 방출된 스트림 포지셔너는 상기 이차 방출된 스트림을 검출기 어레이 상으로 포지셔닝시키고, 상기 검출기 어레이는 상기 이차 방출된 스트림을 수신하고 상기 이차 방출된 스트림의 분량들 및 수신된 포지션들 모두를 검출한다. 변조기는 샘플 상으로 지향되는 전자 빔을 변조하여 샘플 상에서 제1 포지션 및 제2 포지션 사이에서 전자 빔을 스위핑한다. 추출기는 상기 변조기 및 상기 검출기 어레이 모두와 신호 통신한다.

8. 发明公开

KR1020070063916A 일차원 기체전자증폭 디지털 영상화 방사선 검출장치 및 그제어방법 有权
标题翻译：阵列数位成像辐射探测器的设备和方法
公开(公告)号：KR1020070063916A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：KR1020050124266
申请日：2005-12-16
申请人： 한창희
发明人： 한창희 , 김일곤 , 박성태 , 유재훈
IPC分类号： G01N23/04 , G01V5/00 , G21K4/00
CPC分类号： G01N23/227 , G01T1/2935
摘要： A single-dimension gas electron multiplier digital imaging radiation detector and a method of controlling the same are provided to remarkably increase performance in comparison with conventional products and reduce the thickness thereof. A single-dimension gas electron multiplier digital imaging radiation detector comprises an electrolytic electron generating part(110), a gas electron amplifying part(120), and an output part(130). The electrolytic electron generating part includes an incident window(111), and a first spacer(115). The incident window includes a transparent window and a cathode. The transparent window can be plated through sputtering or pulsed laser deposition. The gas electron amplifying part includes at least two gas electron multipliers. The electrolytic electron generating part is formed of a material that can transmit or block an X-ray, Gamma ray or a charged beam.
摘要翻译：提供单维气体电子倍增器数字成像放射线检测器及其控制方法，与常规产品相比显着提高性能并降低其厚度。单维气体电子倍增器数字成像放射线检测器包括电解电子发生部分（110），气体电子放大部分（120）和输出部分（130）。电解电子发生部分包括入射窗（111）和第一间隔物（115）。入射窗包括透明窗和阴极。可以通过溅射或脉冲激光沉积对透明窗进行电镀。气体电子放大部分包括至少两个气体电子倍增器。电解电子发生部由能够透射或阻挡X射线，γ射线或带电束的材料形成。

9. 发明公开

KR1020080088057A 엑스선 형광분석장치 및 그 장치를 이용한 엑스선 형광분석방법 有权
标题翻译： X射线荧光光谱仪
公开(公告)号：KR1020080088057A
公开(公告)日：2008-10-02
申请号：KR1020070030406
申请日：2007-03-28
申请人： 주식회사 아이에스피
发明人： 박정권
IPC分类号： G01N23/223 , G01N23/00 , B82Y35/00
CPC分类号： G01N23/223 , G01N23/2076 , G01N23/227 , G01N2223/076 , G01N2223/313 , G01N2223/615
摘要： An X-ray fluorescence spectrometer and an X-ray fluorescence spectrometry method are provided to radiate X-ray to a part of a sample according to the elements of the sample by rotating a filter. An X-ray fluorescence spectrometer includes an X-ray generator(10), a reflective filter(20), a collimator(30), a sample holding unit(40), a detector(50), a signal processor(60), and a display device(70). The reflective filter reflects monochromatic X-rays radiated from the X-ray generator. The collimator filters the monochromatic X-rays to radiate predetermined energy band of the monochromatic X-rays. The sample holding unit holds a sample. The detector detects fluorescence X-rays only generated from the sample. The signal processor divides the fluorescence X-rays by energy to detect characteristic radiation of each element of the sample and processes the characteristic radiation into signals. The display device displays the signals produced by the signal processor.
摘要翻译：提供X射线荧光光谱仪和X射线荧光光谱法，通过旋转滤光片，根据样品元素向样品的一部分辐射X射线。 X射线荧光光谱仪包括X射线发生器（10），反射滤光片（20），准直仪（30），样品保持单元（40），检测器（50），信号处理器（60）和显示装置（70）。反射滤光镜反射从X射线发生器辐射的单色X射线。准直器对单色X射线进行过滤以辐射单色X射线的预定能带。样品保持单元保持样品。检测器检测到仅从样品产生的荧光X射线。信号处理器通过能量分离荧光X射线以检测样品的每个元件的特征辐射并将特征辐射处理成信号。显示装置显示由信号处理器产生的信号。

10. 发明授权

KR100784196B1 일차원 기체전자증폭 디지털 영상화 방사선 검출장치 및 그제어방법 有权
标题翻译：阵列GEM数字成像辐射探测器的设备和方法
公开(公告)号：KR100784196B1
公开(公告)日：2007-12-10
申请号：KR1020050124266
申请日：2005-12-16
申请人： 한창희
发明人： 한창희 , 김일곤 , 박성태 , 유재훈
IPC分类号： G01N23/04 , G01V5/00 , G21K4/00
CPC分类号： G01N23/227 , G01T1/2935
摘要： 본 발명은 일차원 기체전자증폭 디지털 영상화 방사선 검출장치 및 그 제어방법을 제공하기 위한 것으로, 입사한 엑스선 또는 감마선으로 내부 충진기체에서 전리전자를 발생시키거나 또는 입사한 하전입자로 내부 충진기체에서 전리전자를 발생시키는 전리전자발생부와; 상기 전리전자발생부에서 발생된 전리전자를 입력받아 GEM을 이용해 GEM 구멍 내부 충진기체에서 전자사태를 통해 증폭시켜 전자구름을 형성시키는 기체전자증폭부와; 상기 기체전자증폭부에서 증폭되어 형성된 전자구름이 출력전극에 도달한 위치를 전기신호로 받아들임으로써 전자구름의 좌표를 파악하여 출력하는 출력부;를 포함하여 일차원 기체전자증폭 검출부를 구성함으로써, 엑스선 또는 감마선과 같은 고에너지 입사 광에 의한 광전효과나 컴프턴효과를 유도하여 발생된 내부 충진기체의 전리전자 또는 입사 하전입자에 의해 직접 발생된 내부 충진기체의 전리전자를 기체전자증폭기를 이용하여 GEM 구멍에서 전자사태를 통해 증폭시켜 피사체 내외부의 화상정보를 실시간에 이차원으로 영상화하여 항만이나 공항 등의 보안검색용이나 또는 산업용 비파괴검사장치의 핵심부품 등으로 사용할 수 있게 하는 것이다.
기체전자증폭기, 디지털영상화 방사선 검출장치, 실시간위치감지, 일차원 방 사선 검출기, 엑스선, 감마선, 하전입자, 방사선, 주기체, 완충기체 , 광전효과, 컴프턴효과, 전리전자, 이온화, 기체 이온화에너지, 베떼-블로흐 공식, 란다우 분포

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