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1. 发明授权

KR101264457B1 광전자 분광법을 이용한 레이어 두께 결정 有权
标题翻译：使用光电子光谱测定层厚度
公开(公告)号：KR101264457B1
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020077027804
申请日：2006-04-19
申请人： 리베라 인코퍼레이티드
发明人： 쉴러브루노
IPC分类号： H01J40/00 , H01J49/02
CPC分类号： G01B15/02 , H01J2237/2511 , H01J2237/2522 , H01J2237/2814
摘要： 본발명의일 실시형태에따라, 기판상의단일의또는멀티-레이어구조에서하나이상의레이어의두께를결정하기위해광전자분광법이이용된다. 이두께는, 광자와충돌한경우기판에의해방출된 2 개의광전자종 또는다른원자-특정특성전자종의강도를측정함으로써결정될수도있다. 레이어의두께에의존하는예측강도함수는각각의광전자종에대해결정된다. 2 개의예측강도함수의비가공식화되어, 구조중 레이어의두께를결정하기위해이 비가반복된다. 일실시형태에따라, 2 개의광전자종이단일의레이어로부터측정되어이 레이어의두께를결정할수도있다. 또다른실시형태에따라, 레이어의두께를결정하기위해상이한레이어로부터또는기판으로부터의 2 개의광전자종이측정될수도있다.

2. 发明授权

KR101524022B1 원위치 차등 분광법 有权
标题翻译： INSITU差分光谱
公开(公告)号：KR101524022B1
公开(公告)日：2015-05-29
申请号：KR1020107027635
申请日：2009-05-07
申请人： 케이엘에이-텐코어 코오포레이션
发明人： 배즈-이라바니,메디 , 나세르그호디시,메흐란 , 차오,구오헹
IPC分类号： G01J3/00 , G01J3/42
CPC分类号： H01J37/244 , G01N2223/079 , G01N2223/086 , G01N2223/33 , H01J37/256 , H01J2237/24495 , H01J2237/2511 , H01J2237/2807
摘要： 샘플에지향되는전자빔을발생시키기위한전자빔 발생기를갖는분광기가기재된다. 전자빔 포지셔너는전자빔을샘플의포지션상으로지향시켜샘플로부터이차방출된스트림을생성하며, 이때상기이차방출된스트림은전자들및 x-레이들중 적어도하나를포함한다. 이차방출된스트림포지셔너는상기이차방출된스트림을검출기어레이상으로포지셔닝시키고, 상기검출기어레이는상기이차방출된스트림을수신하고상기이차방출된스트림의분량들및 수신된포지션들모두를검출한다. 변조기는샘플상으로지향되는전자빔을변조하여샘플상에서제1 포지션및 제2 포지션사이에서전자빔을스위핑한다. 추출기는상기변조기및 상기검출기어레이모두와신호통신한다.

3. 发明公开

KR1020110011668A 원위치 차등 분광법 有权
标题翻译：现场差异光谱
公开(公告)号：KR1020110011668A
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：KR1020107027635
申请日：2009-05-07
申请人： 케이엘에이-텐코어 코오포레이션
发明人： 배즈-이라바니,메디 , 나세르그호디시,메흐란 , 차오,구오헹
IPC分类号： G01J3/00 , G01J3/42
CPC分类号： H01J37/244 , G01N2223/079 , G01N2223/086 , G01N2223/33 , H01J37/256 , H01J2237/24495 , H01J2237/2511 , H01J2237/2807 , G01J3/00 , G01J3/42 , G01N23/227
摘要： 샘플에 지향되는 전자 빔을 발생시키기 위한 전자 빔 발생기를 갖는 분광기가 기재된다. 전자 빔 포지셔너는 전자 빔을 샘플의 포지션 상으로 지향시켜 샘플로부터 이차 방출된 스트림을 생성하며, 이때 상기 이차 방출된 스트림은 전자들 및 x-레이들 중 적어도 하나를 포함한다. 이차 방출된 스트림 포지셔너는 상기 이차 방출된 스트림을 검출기 어레이 상으로 포지셔닝시키고, 상기 검출기 어레이는 상기 이차 방출된 스트림을 수신하고 상기 이차 방출된 스트림의 분량들 및 수신된 포지션들 모두를 검출한다. 변조기는 샘플 상으로 지향되는 전자 빔을 변조하여 샘플 상에서 제1 포지션 및 제2 포지션 사이에서 전자 빔을 스위핑한다. 추출기는 상기 변조기 및 상기 검출기 어레이 모두와 신호 통신한다.

4. 发明公开

KR1020080018173A 광전자 분광법을 이용한 레이어 두께 결정 有权
标题翻译：使用光电子光谱测定层厚度
公开(公告)号：KR1020080018173A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：KR1020077027804
申请日：2006-04-19
申请人： 리베라 인코퍼레이티드
发明人： 쉴러브루노
IPC分类号： H01J40/00 , H01J49/02
CPC分类号： G01B15/02 , H01J2237/2511 , H01J2237/2522 , H01J2237/2814
摘要： According to one embodiment of the invention, photoelectron spectroscopy is used to determine the thickness of one or more layers in a single or multi-layer structure on a substrate. The thickness may be determined by measuring the intensities of two photoelectron species or other atom-specific characteristic electron species emitted by the structure when bombarded with photons. A predictive intensity function that is dependent on the thickness of a layer is determined for each photoelectron species. A ratio of two predictive intensity functions is formulated, and the ratio is iterated to determine the thickness of a layer of the structure. According to one embodiment, two photoelectron species may be measured from a single layer to determine a thickness of that layer. According to another embodiment, two photoelectron species from different layers or from a substrate may be measured to determine a thickness of a layer.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，使用光电子能谱来确定衬底上单层或多层结构中一层或多层的厚度。可以通过测量当用光子轰击时由结构发射的两种光电子物质或其它原子特异性特征电子物质的强度来确定厚度。对于每个光电子物质确定取决于层的厚度的预测强度函数。制定两个预测强度函数的比率，并重复该比率以确定该结构层的厚度。根据一个实施例，可以从单个层测量两个光电子物质以确定该层的厚度。根据另一个实施例，可以测量来自不同层或来自衬底的两个光电子物质以确定层的厚度。

5. 发明授权

KR100244913B1 절연성 시료에 대한 오거 일렉트론 스펙트로스코피 분석방법 失效
标题翻译：用于绝缘样品的AUGER电子光谱分析方法
公开(公告)号：KR100244913B1
公开(公告)日：2000-03-02
申请号：KR1019960040446
申请日：1996-09-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 양희석 , 임택진 , 한재성
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N23/2276 , H01J2237/2511
摘要： 절연성 시료에 축전 방지를 위한 도전성 막질을 증착시켜서 AES 분석을 수행할 수 있도록 한 절연성 시료에 대한 오거 일렉트론 스펙트로스코피 분석 방법에 관한 것이다.
본 발명은 절연성 시료의 표면을 정성 및 정량 분석하는 오거 일렉트론 스펙트로스코피 분석 방법에 있어서, 상기 절연성 시료의 표면에 적어도 6Å 내지 50Å 두께의 도전성 막질을 증착하는 단계, 상기 시료내에 전하가 축적되는 것을 방지하기 위해 상기 도전성 막질을 통해 전하를 끌어내는 단계 및 상기 시료를 분석하는 단계를 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 AES 분석 방법으로 절연성 시료에 대해서도 표면에 대한 정확한 분석을 수행함으로써 AES 분석을 포괄적으로 반도체 시료에 적용하여서 신뢰성 있는 분석 데이터를 얻을 수 있는 효과가 있다.

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