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1. 发明公开

KR1020040095340A 필름 변경지시를 위한 광대역 광학 종점 검출시스템 및방법 有权
标题翻译：宽带光学终点检测系统和胶片变化指示方法
公开(公告)号：KR1020040095340A
公开(公告)日：2004-11-12
申请号：KR1020047015393
申请日：2003-03-26
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 캐츠블래디미르 , 미첼벨라
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/66 , H01L21/306
CPC分类号： B24B49/12 , B24B37/013 , G01B11/0625 , G01B11/0683 , G01J3/00
摘要： 본 발명은, 제1의 넓은 광빔으로 웨이퍼 표면의 제1부분을 조명하는 단계를 포함하는 화학적 기계연마 프로세스동안 종점을 검출하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. 제1반사 스펙트럼 데이터가 수신된다. 데이터의 제1반사 스펙트럼은 웨이퍼 표면의 제1의 조명된 부분으로부터 반사된 광의 제1스펙트럼에 대응한다. 웨이퍼 표면의 제2부분은 제2의 넓은 광빔으로 조명된다. 제2반사 스펙트럼 데이터가 수신된다. 데이터의 제2반사 스펙트럼은 웨이퍼 표면의 제2의 조명된 부분으로부터 반사된 광의 제2스펙트럼에 대응한다. 제1반사 스펙트럼 데이터는 정규화되고, 제2반사 스펙트럼 데이터도 정규화된다. 종점은 정규화된 제1스펙트럼 데이터와 정규화된 제2스펙트럼 데이터간의 차에 기초하여 결정된다.

2. 发明公开

KR1020170039236A 광학 기반 전기 신호 동시 일관 수신 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于同时接收基于光学的电信号的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170039236A
公开(公告)日：2017-04-10
申请号：KR1020177005380
申请日：2014-08-01
申请人： 뉴포트 코포레이션
发明人： 첸,앤더슨 , 박,존
IPC分类号： G01N21/55 , G01J3/00 , H02S50/10
CPC分类号： G01N21/55 , G01J3/00 , G01J3/02 , G01J3/0264 , G01J3/10 , G01J3/433 , G01J2003/104 , G01J2003/283 , G01J2003/2836 , G01J2003/4334 , G01N21/474 , G01N21/59 , G01N21/64 , G01N2021/556 , G01N2201/0691 , H02S50/10
摘要： 표본의광학특성을측정하기위한시스템이개시된다. 본시스템은표본의특성측정과관련된신호를샘플링하고, 소프트웨어기반의일관(coherent) 검출을수행하여실질적으로동일한시간에획득된신호에기초한측정결과를생성하도록구성된다. 이를통해실시간으로원하는측정값을표시하거나생성할수도있다. 한구성에서, 본시스템은표본상에입사하는선택된파장에서변조된광신호를지향하도록구성된다. 다른구성에서, 본시스템은표본상에상이한파장의복수의광신호로부터도출되고또한상이한주파수로변조되는, 결합된광신호를지향하도록구성된다. 또다른구성에서, 본시스템은표본의상이한영역들상에입사하는상이한주파수로변조된복수의광신호를지향하도록구성된다.
摘要翻译：公开了一种用于测量样本的光学特性的系统。系统被配置为对与测量样本的特征相关联的信号进行采样并且基本上基于同时基于软件的相干检测来基于所采集的信号生成测量结果。这使您可以实时显示或生成所需的测量结果。在一种配置中，该系统被配置为引导入射在样本上的选定波长的调制光信号。在另一种配置中，系统被配置为将从不同波长的多个光信号得到的组合光信号引导到样本上并且以不同频率进行调制。在另一种配置中，系统被配置为将以不同频率调制的多个光信号入射到样本的不同区域上。

3. 发明公开

KR1020150101851A 대기오염 스마트 알람 장치 有权
标题翻译：大气污染智能报警装置
公开(公告)号：KR1020150101851A
公开(公告)日：2015-09-04
申请号：KR1020140023659
申请日：2014-02-27
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김준 , 이한림 , 박상서 , 김미진
IPC分类号： G01W1/00 , G01N21/94 , G01J3/00
CPC分类号： G01W1/00 , G01J3/00 , G01N21/94 , G01W2201/00 , G01W2203/00
摘要： 본 발명의 대기오염 스마트 알람 장치는, 대기를 관측한 실측 자료로부터 적어도 한 종류 이상의 오염물질 농도에 대한 심각도 지표를 산출하는 지표화 유니트와 사용자 입력에 따라 임계 지표가 설정되며, 설정된 상기 임계 지표와 상기 심각도 지표를 비교하여 결과에 따라 알림 메시지를 생성하는 유저 유니트를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种大气污染智能报警装置。本发明的装置包括以下部件：计算从大气观测的实际数据导出的至少一种以上种类的污染物浓度的严重度指标的指标单位，以及根据大气观测的实际数据产生通知信息的用户单元根据用户的输入设置关键指标的结果，然后对设定的关键指标和严重性指标进行比较。

4. 发明公开

KR1020150086955A 시편에서 반사된 빛의 스펙트럼이 광 센서의 측정감도에 최적화되도록 파장영역별로 밝기가 제어되는 광원 모듈 및 이를 이용한 박막두께 측정장치 有权
标题翻译：具有优化为光传感器和薄膜厚度测量装置的反射光的调光光模块使用此
公开(公告)号：KR1020150086955A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020140007230
申请日：2014-01-21
申请人： 주식회사 나노텍 , 한국산업기술대학교산학협력단
发明人： 차동호 , 남윤석
IPC分类号： G01B11/06 , F21S2/00
CPC分类号： F21K99/00 , F21S2/005 , F21W2131/40 , F21Y2115/10 , G01B11/06 , G01J3/00 , G01J4/00 , G01N21/8806 , H01L22/12
摘要： 본발명의일 측면에따르면, 박막이형성된시편에광원이생성한빛을조사하여간섭이일어나는반사광의파장을측정하여상기시편상에형성된상기박막의두께를측정하는박막두께측정장치(Spectral Reflectometor)에있어서, 서로다른파장을가진 n(단, n은 1 이상의정수)가지종류의 LED를포함하는광원부;및상기광원부에인가되는전류를조절하여각 파장별로동일한밝기로발광하도록제어하는제어부; 를포함하는것을특징으로하는박막두께측정장치를제공한다. 본발명에따르면, 다양한파장의 LED에흐르는전류량을각각제어함으로써, 파장별빛의세기를균일하게제어하는효과가있다.
摘要翻译：薄膜厚度测量装置（光谱反射计）本发明涉及一种薄膜厚度测量装置（光谱反射计），该薄膜厚度测量装置通过将由光源产生的光照射到具有薄膜的样品上来测量形成在样本上的薄膜的厚度，以测量反射的波长光。薄膜厚度测量装置包括：具有彼此不同波长的n种（这里n为1以上的整数）的光源单元; 以及控制单元，其调节施加到光源单元的电流，以便控制各个波长的亮度相同。因此，薄膜厚度测量装置可以通过分别控制流过具有各种波长的LED的电流量来一致地通过波长控制光的强度。

5. 发明公开

KR1020170047094A 3차원 카메라와 투과도 측정방법 审中-实审
标题翻译： 3D相机和传输的测量方法
公开(公告)号：KR1020170047094A
公开(公告)日：2017-05-04
申请号：KR1020150147538
申请日：2015-10-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 조용철 , 전명제 , 박용화
IPC分类号： G03B43/00 , H04N17/00
CPC分类号： H04N13/254 , G01J3/00 , G01S7/4814 , G01S7/4816 , G01S7/497 , G01S17/36 , G01S17/89 , G02F1/015 , G02F1/03
摘要： 투과도를직접측정하기위한가변광원을포함하는 3차원카메라및 투과도측정방법을개시한다. 본 3차원카메라는광원, 투과형셔터, 이미지센서와더불어상기제 1 광원, 상기이미지센서및 상기투과형셔터로부터열적영향을받지않고, 파장가변광을조사할수 있는가변광원을포함한다. 가변광원은 3차원카메라의구동중에투과형셔터에광을조사하여투과도의변화를직접적으로측정할수 있다.
摘要翻译：公开了一种包括用于直接测量透射率的可变光源的三维照相机和用于测量透射率的方法。三维照相机包括光源，透射快门，图像传感器以及不受第一光源，图像传感器和透射快门热影响的可变光源，并且可以发射波长可变光。可变光源可以在驱动三维照相机的同时通过将光照射到透射型快门来直接测量透射率的变化。

6. 发明公开

KR1020130108279A 마이크로리소그래피 투영 노광 장치 有权
标题翻译：微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR1020130108279A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：KR1020137005681
申请日：2010-08-06
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 켐프터크리스티앙
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G06F15/00 , G01J3/00 , G03F7/70116 , G03F7/70508 , H01L21/0274 , G02B26/0816
摘要： 마이크로리소그래피 투영 노광 장치 순차적인 측정값들을 발생시킬 수 있는 측정 기기(54)와, 상기 측정값들을 처리하기 위한 프로세싱 유닛(48)을 갖는다. 이를 위해, 상기 프로세싱 유닛은 복수의 디지털 신호 처리기(DSP1, DSP2, DSP3)들을 포함하는 프로세싱 체인을 갖고, 상기 프로세싱 체인 내의 제 1 디지털 신호 처리기(DSP1)는 상기 순차적인 측정값들을 수취하기 위해 상기 측정 기기(54)에 연결된다. 또한, 상기 프로세싱 체인 내의 각각의 후속 디지털 신호 처리기(DSP2, DSP3)는 상기 프로세싱 체인 내의 개별 선행 디지털 신호 처리기(DSP1, DSP2)에 연결된다. 상기 디지털 신호 처리기(DSP1, DSP2, DSP3)들은, 각각의 디지털 신호 처리기(DSP1, DSP2, DSP3)가 측정값들 중 단지 일부만을 처리하여 그들로부터 처리 결과들을 발생시키며, 측정값들 중 나머지 부분을 처리를 위해 프로세싱 체인 내의 각각의 다음 디지털 신호 처리기(DSP2, DSP3)에 전송하도록, 프로그래밍된다.
摘要翻译：微光刻投影曝光装置具有测量装置，通过该测量装置可以产生一系列测量值，以及处理单元，用于处理测量值。处理单元具有包括多个数字信号处理器的处理链。处理链中的第一个数字信号处理器连接到测量装置以接收测量值序列。处理链中的每个随后的数字信号处理器连接到处理链中的分别在前的数字信号处理器。对数字信号处理器进行编程，使得每个数字信号处理器仅处理测量值的一部分，并从其中产生处理结果，并将测量值的剩余部分转发到处理链中的相应的下一个数字信号处理器进行处理。

7. 发明公开

KR1020110068008A 나노 웹 및 그 제조방법 无效
标题翻译：纳米网及其制造方法
公开(公告)号：KR1020110068008A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090124823
申请日：2009-12-15
申请人： 코오롱패션머티리얼 (주)
发明人： 김철기 , 이용환 , 강연경 , 오흥렬
IPC分类号： D01D5/00 , B82B3/00 , G01J3/00
CPC分类号： D01D5/003 , D01D5/0092 , G01J3/00
摘要： PURPOSE: Nano web and a manufacturing method thereof are provided to improve functions of the nanoweb by forming the nanoweb with high porosity and voids of big structure. CONSTITUTION: A manufacturing method of nano web includes the following steps: manufacturing a polyelectrolyte solution; manufacturing nanofiber(1) thorugh electrospinning; manufacturing nano fiber aggregate from nano fiber; measuring a thickness of the nano fiber aggregate with a non-contact type method; and converting the polyamic acid nanofiber aggregate into the nano fiber aggregate. The nano fiber is manufactured in an electric file of 850-3500 V / cm.
摘要翻译：目的：提供纳米网及其制造方法，以通过形成具有高孔隙率和大结构的空隙的纳米网来改善纳米纤维网的功能。构成：纳米纤维网的制造方法包括以下步骤：制造聚电解质溶液; 制造纳米纤维（1）静电纺丝; 从纳米纤维制造纳米纤维聚集体; 以非接触式方法测量纳米纤维聚集体的厚度; 并将聚酰胺酸纳米纤维聚集体转变成纳米纤维聚集体。纳米纤维以850-3500V / cm的电文件制造。

8. 发明公开

KR1020050081932A 산소소모율과 미생물 농도의 동시측정을 위한 respirometer 장치 개선 无效
标题翻译：氧气吸收速率和微生物浓度的同时测量的改进
公开(公告)号：KR1020050081932A
公开(公告)日：2005-08-22
申请号：KR1020040010234
申请日：2004-02-17
申请人： 이진원
发明人： 이진원 , 서인호 , 윤인준 , 전현희 , 최광근 , 신종철
IPC分类号： C12M1/34
CPC分类号： C12M41/36 , C12M43/00 , G01J3/00
摘要： 본 발명은 기존 밀폐형 respirometer 장치를 사용하여 효과적으로 산소소모율을 측정하기 위한 respirometer 장치의 개선에 관한 것이다. 또한 respirometer 장치 개선에 따른 미생물 농도의 실시간 측정이 포함되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 respirometer 장치 개선은 단위 미생물 당 소모되는 산소의 양을 정확하게 측정할 수 있어, 실제 활성슬러지 공정 내에서 최적 산소공급량 예측을 가능하게 한다.

9. 发明授权

KR101714825B1 마이크로리소그래피 투영 노광 장치 有权
标题翻译：微波投影曝光装置
公开(公告)号：KR101714825B1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020137005681
申请日：2010-08-06
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 켐프터크리스티앙
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G06F15/00 , G01J3/00 , G03F7/70116 , G03F7/70508
摘要： 마이크로리소그래피투영노광장치순차적인측정값들을발생시킬수 있는측정기기(54)와, 상기측정값들을처리하기위한프로세싱유닛(48)을갖는다. 이를위해, 상기프로세싱유닛은복수의디지털신호처리기(DSP1, DSP2, DSP3)들을포함하는프로세싱체인을갖고, 상기프로세싱체인내의제 1 디지털신호처리기(DSP1)는상기순차적인측정값들을수취하기위해상기측정기기(54)에연결된다. 또한, 상기프로세싱체인내의각각의후속디지털신호처리기(DSP2, DSP3)는상기프로세싱체인내의개별선행디지털신호처리기(DSP1, DSP2)에연결된다. 상기디지털신호처리기(DSP1, DSP2, DSP3)들은, 각각의디지털신호처리기(DSP1, DSP2, DSP3)가측정값들중 단지일부만을처리하여그들로부터처리결과들을발생시키며, 측정값들중 나머지부분을처리를위해프로세싱체인내의각각의다음디지털신호처리기(DSP2, DSP3)에전송하도록, 프로그래밍된다.
摘要翻译：微光刻投影曝光装置具有测量装置，通过该测量装置可以产生一系列测量值，以及处理单元，用于处理测量值。处理单元具有包括多个数字信号处理器的处理链。处理链中的第一个数字信号处理器连接到测量装置以接收测量值序列。处理链中的每个随后的数字信号处理器连接到处理链中的分别在前的数字信号处理器。对数字信号处理器进行编程，使得每个数字信号处理器仅处理测量值的一部分，并从其中产生处理结果，并将测量值的剩余部分转发到处理链中的相应的下一个数字信号处理器进行处理。

10. 发明授权

KR101010760B1 수치 모델의 매든-줄리안 진동 모의 여부 진단 방법 失效
标题翻译：用于确定数字模型中模拟马德里振荡能力的诊断方法
公开(公告)号：KR101010760B1
公开(公告)日：2011-01-25
申请号：KR1020100005929
申请日：2010-01-22
申请人： 부산대학교 산학협력단
发明人： 서경환
IPC分类号： G01W1/00 , G01W1/14
CPC分类号： G01W1/10 , G01J3/00 , G01W1/08
摘要： PURPOSE: A diagnostic method for the determination of capability for the simulation of Madden-Julian oscillation in numerical models is provided to precisely diagnose Madden-Julian oscillation and to prevent the different result or analysis. CONSTITUTION: A diagnostic method for the determination of capability for the simulation of Madden-Julian oscillation in numerical models comprises the steps of: selecting a numerical model in which a signal distribution approaches observational data, wherein the signal distribution is over high position 95% level of a red background field spectrum in a cycle band of 30-80 days showing Madden-Julian oscillation; selecting the numerical model approaching a spatial structure of observational data; selecting the numerical model approaching each observational data related to atmosphere and marine variables; and determining the numerical model approaching observational data of the selected numerical models.
摘要翻译：目的：提供一种用于确定数值模型中Madden-Julian振荡模拟能力的诊断方法，以精确诊断Madden-Julian振荡并防止不同的结果或分析。规定：在数值模型中确定Madden-Julian振荡模拟能力的诊断方法包括以下步骤：选择信号分布接近观测数据的数值模型，其中信号分布高于95％的高位红色背景场光谱在30-80天的周期带显示Madden-Julian振荡; 选择接近观测资料空间结构的数值模型; 选择接近与大气和海洋变量相关的每个观测数据的数值模型; 并确定接近所选数值模型的观测数据的数值模型。

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