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1. 发明授权

KR102467300B1 스페클 패턴을 이용한 정밀 탁도 측정 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102467300B1
公开(公告)日：2022-11-16
申请号：KR1020210074059
申请日：2021-06-08
IPC分类号： G01N15/06 , G01N15/02 , G01N21/49 , G01N21/47
摘要： 본발명은탁도측정에스페클패턴을이용할수 있게하여고정밀탁도및 박테리아나미생물에의한오염을측정을가능하게하는스페클패턴을이용한정밀탁도측정시스템및 방법에관한것으로서, 레이저광이입력될수 있도록일측에입광부가형성되고, 내부에상기레이저광이다중경로로다중반사또는다중산란될수 있는광산란공간이형성되며, 상기광산란공간에서발생된스페클패턴을이용하여미시적탁도또는박테리아나미생물에의한오염을측정할수 있도록타측에출광부가형성되는측정용기; 및상기광산란공간의적어도일부분에형성되고, 일측에측정대상이되는샘플을수용하는샘플수용부가형성되며, 상기샘플의미시적탁도측정을가능하게할 수있도록상기샘플의스페클패턴을광학적으로희석시키는역할을하는광학적희석매질로이루어지는광학적희석부재;를포함할수 있다.

2. 发明公开

KR1020220027302A 유동 및 버블 검출 시스템을 가지는 자동 전력 제어 액체 입자 계수기 有权
公开(公告)号：KR1020220027302A
公开(公告)日：2022-03-07
申请号：KR1020227006459
申请日：2017-05-19
IPC分类号： G01N15/14 , G01N15/02 , G01N15/06 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01F1/704 , H05B47/105 , G01N15/00
摘要： 본발명은일례로전자기방사및 가열로유발되는손상을방지함으로써일반적으로광학액체입자계수기들에서데이터품질및 광학입차계수기의제어를향상하여보다긴 수명을달성하기위한시스템및 방법을제공한다. 상기시스템및 방법은플로우셀을통해흐르는유체를특징화하는센서들을포함하여, 오감지수를감소시키고정확도를향상시킨다.

3. 发明授权

KR102357638B1 단일 빔을 이용한 암시야 웨이퍼 나노 결함 검사 시스템 有权
公开(公告)号：KR102357638B1
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：KR1020187036723
申请日：2017-05-31
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/49 , G01N21/47 , G01N21/88
摘要： 기판을검사하기위한방법, 시스템, 및장치가제공된다. 기판검사방법은, 단일레이저빔으로기판을조명하는단계로서, 단일레이저빔은기판상에피조명스팟과, 기판의표면에밝은줄무늬를형성하고, 밝은줄무늬는피조명스팟의적어도일부위로연장되는것인기판조명단계와, 광학검출시스템에의해, 피조명스팟내에서기판상에존재하는나노결함으로부터의산란광을검출하는단계를포함한다.

4. 发明授权

KR102299007B1 실시간 오손-방지 및 생물오손 모니터링을 위한 통합 시스템 有权
公开(公告)号：KR102299007B1
公开(公告)日：2021-09-09
申请号：KR1020187031286
申请日：2017-03-23
IPC分类号： G01N21/33 , B08B17/02 , B63B59/04 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N21/552 , G01N21/64 , G01N21/31 , G01N21/84
摘要： 본발명은 UV-방출요소(210)를포함하는생물오손-방지시스템(200)으로서, UV-방출요소(210)는 UV 방사선출구윈도우(230)를포함하고, UV-방출요소(210)는 UV 방사선(221)을제공하도록구성되는광원(220)을적어도부분적으로둘러싸며, UV 방사선출구윈도우(230)는광원(220)의 UV 방사선(221)의적어도일부를투과시키도록구성되고, UV 방사선출구윈도우(230)는상류윈도우면(231) 및하류윈도우면(232)을포함하며, UV-방출요소(210)는또한, 하류윈도우면(232)으로부터나오는방사선(421)을감지하도록구성되고, 대응하는광학센서신호를제공하도록구성되는광학센서(310)를적어도부분적으로둘러싸며, 생물오손-방지시스템(200)은또한광학센서신호에따라상기 UV 방사선(221)을제공하도록구성되는, 생물오손-방지시스템(200)을제공한다.

5. 发明授权

KR102179804B1 다상 폐수의 액체상 탁도 결정법 有权
公开(公告)号：KR102179804B1
公开(公告)日：2020-11-18
申请号：KR20157012443
申请日：2013-11-13
IPC分类号： G01N15/06 , C02F1/00 , C02F1/52 , G01N21/49
摘要： 탁도감지기는다상폐수내에제공되고, 감지된탁도에대응하는신호를발생시킨다. 발생된신호는복수의신호샘플을생성하기위해샘플링된다. 샘플은한계치에비교되고, 폐수의탁도는한계치내에속하는샘플을바탕으로결정된다. 한계치는복수의샘플의통계적인분석을바탕으로결정될수 있고, 또는미리결정된수치로정해질수 있다. 탁도감지기는폐수응집챔버내에제공되고, 폐수의결정된탁도를바탕으로제어신호가발생되었다. 이제어신호는폐수내에도입되는응고제와같은화학물질의양을조절하는데에사용될수 있다.

6. 发明授权

KR102122845B1 탁도계 有权
公开(公告)号：KR102122845B1
公开(公告)日：2020-06-15
申请号：KR1020140006100
申请日：2014-01-17
申请人： 가부시키가이샤 호리바 어드밴스트 테크노
发明人： 스즈키리이치로 , 기자키히로코 , 마쓰오아키 , 간다히로시
IPC分类号： G01N21/49 , G01N21/59

7. 发明授权

KR101755368B1 농도별 감도를 가변할 수 있는 광학식 먼지센서와 광학식 먼지센서의 농도별 검출 감도 가변방법 有权
标题翻译：光学粉尘传感器和光学粉尘传感器的浓度变化灵敏度
公开(公告)号：KR101755368B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150179518
申请日：2015-12-15
申请人： (주)엔아이디에스
发明人： 김선정 , 황학인
IPC分类号： G01N15/06 , G01N21/47 , G01N21/49
摘要： 본발명은농도별감도를가변할수 있는광학식먼지센서와광학식먼지센서의농도별검출감도가변방법에관한것으로, 광원부(30)에설정된전류를공급하는전류공급부(20)와, 상기광원부(30)의방출광이먼지에산란된산란광을수광하여그에해당하는아날로그신호를출력하는수광센서(40)와, 상기수광센서(40)의아날로그신호를증폭하여출력하는증폭부(50)와, 상기증폭부(50)의출력신호를디지털신호로변환하는아날로그/디지털변환부(60)와, 상기아날로그/디지털변환부(60)의출력신호를수신하여 PLO(Lo Pulse Occupancy, Low 신호의지속시간)을산출하여현재검출된먼지농도에대한감도가기준감도이상인지확인하여, 기준감도이상이아니면상기전류공급부(20)를제어하여구동전류를단계적으로증가시키는마이컴(10)과, 상기마이컴(10)에서산출한먼지농도에따른출력신호를출력하는센서출력부(70)로구성된다.
摘要翻译：由约变量的方法，所述光源和用于提供一组（30）的电流的电流供给装置20的传感器的浓度检测的灵敏度的光学灰尘传感器和光学灰尘的本发明中，在浓度灵敏度光源单元30上升，以改变和光接收传感器40和用于放大与其对应的光接收传感器40，其通过接收所述发射的光被分散在灰尘散射光输出的模拟信号的输出的模拟信号放大部50，放大部用于将模拟/数字转换器50的输出信号转换成数字信号的模拟/数字转换器60，以及PLO（Loop Occupancy，低电平持续时间信号）以确定是否上计算的敏感性，当前检测到的灰尘密度参考的敏感性，参考灵敏度，异常或在微型计算机10，微型计算机10通过控制电流供给装置20增加了步骤的驱动电流并输出对应于所计算出的粉尘浓度的输出信号它由站立输出部分70。

8. 发明公开

KR1020150139103A 검사장치 审中-实审
标题翻译：检查装置
公开(公告)号：KR1020150139103A
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：KR1020140066941
申请日：2014-06-02
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김왈준 , 백승영
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/49
CPC分类号： G01N21/958 , G01N21/84 , G01N21/8422 , G01N21/88 , G01N21/94 , G01N2021/8438 , G01N2201/068
摘要： 검사장치제공된다. 검사장치는, 상면에제1층및 제2층을포함하는다층구조물이안착되는스테이지, 상기다층구조물의제1측면과대향하고상기제1층의측면또는상기제2층의측면에선택적으로광을제공하는제1광조사부, 상기스테이지상부에위치하고, 상기제1광조사부에서제공된광에의해발생한산란광을수광하여상기다층구조물의이미지정보를획득하는촬상부, 상기이미지정보를기초로상기다층구조물의이물정보를검출하는제어부를포함할수 있다.
摘要翻译：提供了一种检查装置，其能够准确地检测多层结构的哪个位置和哪个层存在缺陷或异物。检查装置包括：包括顶表面的台，其上放置包括第一层和第二层的多层结构; 第一光照射单元，其面向多层结构的第一侧表面，向第一层的第一侧表面或第二层的第一侧表面提供光; 在舞台上接收来自多层结构的散射光的图像拍摄单元，从接收的散射光产生多层结构的图像信息; 以及控制单元，其基于多层结构的图像信息来检测多层结构的异物信息。散射光包括从第一光照射单元提供的光，并且散射在多层结构内。

9. 发明公开

KR1020150111150A 고속 결함 검출 시스템 有权
标题翻译：用高速检测缺陷的系统
公开(公告)号：KR1020150111150A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：KR1020140034675
申请日：2014-03-25
申请人： 한양대학교 산학협력단
发明人： 한영근 , 권오장
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/49
摘要： 본발명의실시예에따른고속결함검출시스템은, 적어도하나의광원; 광원으로부터발생되는광을세기에따라분배하는광세기분배기; 광세기분배기의일측에배치되어광세기분배기로부터분배되어제공되는광을통해측정대상에대한이미지를획득하는이미지광학부; 및광세기분배기의타측에배치되는리퍼런스거울및 이미지광학부로부터반사되는광을검출하여측정대상의결함을검출하도록하는광 검출부;를포함하며, 이미지광학부는측정대상내부의결함에의한광 산란신호대비에따른광 이미지정보를측정함으로써결함에대한광 간섭신호를분석하여측정대상의결함의단층이미지정보를획득할수 있다.
摘要翻译：根据本发明的实施例的高速缺陷检测系统包括：至少一个光源，根据强度分配从光源产生的光的光强分布器，分布在该光源的一侧的图像光学单元光强分布器，通过从光强分布器分配的光获得测量对象的图像，以及光检测单元，其通过检测从图像光学单元反射的光来检测测量对象的缺陷;以及光检测单元，布置在光强度分布器的另一侧的参考反射镜。图像光学单元通过根据由于测量对象的缺陷导致的光散射信号比较来测量光学图像信息来分析缺陷的光干涉信号，来获得测量对象的缺陷的切片图像信息。

10. 发明公开

KR1020140129306A 디안히드로갈락티톨 중의 불순물을 분석 및 결정하기 위한 개선된 분석 방법 审中-实审
标题翻译：改进的分析方法，用于分析和确定二氢吡咯烷酮中的污染物
公开(公告)号：KR1020140129306A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：KR1020147027029
申请日：2013-02-26
申请人： 델 마 파마슈티컬스
发明人： 루,샤오윤
IPC分类号： G01N30/28 , G01N30/74 , G01N21/49 , G01N30/72
CPC分类号： G01N30/88 , G01N21/49 , G01N30/06 , G01N30/7233 , G01N30/74 , G01N33/15 , G01N2030/027 , G01N2030/743 , G01N2030/8813 , G01N2030/8872 , Y10T436/142222 , Y10T436/203332
摘要： 디안히드로갈락티톨 제제의 분석을 위한 개선된 분석 방법은 디안히드로갈락티톨의 순도를 구하고 디안히드로갈락티톨 제제의 불순물을 검출할 뿐 아니라, 이러한 여하한 불순물을 동정하는 방법을 제공한다. 이 방법은 고성능 액체 크로마토그래피 (HPLC), 특히, 굴절률(RI) 검출과 함께 HPLC를 이용하며; HPLC에 이어 직렬식 질량 분광법이 실시될 수 있다. 이 방법은 또한 디안히드로갈락티톨 제제에 존재하는 적어도 한 가지 특이적인 물질 피크의 예비적 HPLC 수집을 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.

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