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1. 发明授权

KR102339509B1 질량 유량 제어 장치 有权
公开(公告)号：KR102339509B1
公开(公告)日：2021-12-16
申请号：KR1020187006630
申请日：2016-09-09
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/76 , G01F15/02
摘要： 유량계에의해계측되는가스의계측유량이설정유량과일치하도록유량제어밸브에제어신호를출력하여밸브개방도를제어하는유량제어를실행하는제어수단은, 온도계에의해계측되는가스의계측온도가기준온도보다도높을수록밸브개방도의변경량의절댓값이커지도록제어신호의강도를조정하고, 계측온도가기준온도보다도낮을수록밸브개방도의변경량의절댓값이작아지도록제어신호의강도를조정한다. 이에의해, 가스의계측온도가기준온도와상이한것에기인하는유량제어밸브의밸브개방도의변경에있어서의응답시간의변화를저감할수 있다.

2. 发明授权

KR102202958B1 정삼투압 농축설비의 성능시험장치 有权
公开(公告)号：KR102202958B1
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：KR1020190159524
申请日：2019-12-04
申请人：㈜한국에너지기술단
发明人： 노영진 , 김선화 , 노현민
IPC分类号： G01N13/04 , G01N33/02 , G01F1/76 , G05D11/13
摘要： 본발명은정삼투압공정을활용하여액상류의처리액을농축하여농축추출물을생산하는농축설비의성능을시험할수 있도록구성된정삼투압농축설비의성능시험장치에관한것으로, 피드챔버(120)와, 드로우챔버(130) 및상기피드챔버(120)로부터상기드로우챔버(130)로정삼투압작용으로물을이송시키도록구성된정삼투압막(110)을포함하는정삼투압모듈(100); 상기피드챔버(120)로처리액이순환될수 있도록연결된처리액탱크(200); 상기드로우챔버(130)로유도용액이순환될수 있도록연결된상기유도용액탱크(300); 및제어장치(400)를포함하고있으며, 처리액과유도용액을순환시키는상태및 순환시키지않는상태에서농축설비또는정삼투압막의성능시험을수행할수 있다.

3. 发明授权

KR102161506B1 질량 유량계 컨트롤러 有权
公开(公告)号：KR102161506B1
公开(公告)日：2020-10-05
申请号：KR1020190012453
申请日：2019-01-31
申请人： 장정우
发明人： 장정우
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/76 , G05D11/13 , G05B19/05

4. 发明授权

KR102157826B1 질량유량계의 플런져 장치 有权
公开(公告)号：KR102157826B1
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：KR1020190031695
申请日：2019-03-20
申请人： 엠케이프리시젼 주식회사
发明人： 민병광 , 이상진
IPC分类号： G01F1/76 , F16K31/122

5. 发明授权

KR102101068B1 통합 분석기에 의한 질량 유량 최적화 제어 시스템 有权
公开(公告)号：KR102101068B1
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：KR1020170168989
申请日：2017-12-11
申请人： 조북룡
发明人： 조북룡 , 박준현
IPC分类号： G05B13/02 , G05B11/42 , G01F1/76

6. 发明授权

KR101851847B1 냉각수의 유량과 온도의 차이에 따른 노즐 온도 측정장치 有权
标题翻译：喷嘴温度测量装置根据冷却水的流量和温度的差异
公开(公告)号：KR101851847B1
公开(公告)日：2018-04-25
申请号：KR1020160037586
申请日：2016-03-29
申请人： 케이유엠 유한회사
发明人： 전성원 , 이재호 , 최영섭 , 이후성
IPC分类号： G01K13/02 , B29C45/20 , B29C45/78 , G01K17/18 , G01F1/76
摘要： 본발명은냉각수의유량과온도의차이에따른노즐온도측정장치에관한것으로, 더욱상세하게는액상실리콘을이용한콜드런너에사용되는노즐의온도를측정하여노즐의조건이나냉각수의유량또는온도에따라액상실리콘의경화조건에부합하는온도를사전에체크하여노즐의수명을최대로할 수있는냉각수의유량과온도의차이에따른노즐온도측정장치에관한것이다. 상기의과제를해결하기위한기술적수단으로서의본 발명은, 측정대상이되는노즐이삽입되면서장착되는노즐삽입부가구비되어있는측정기본체; 상기측정기본체의일측면에연통되도록구비되며제1 온도센서와제1 유량계가구비되는입수관과상기측정기본체의타측면에연통되도록구비되는출수관을포함하여구성되는냉각수측정부; 상기노즐의단부온도를측정하는제3 온도센서를포함하여구성될수 있다.

7. 发明公开

KR1020170053551A 소모품을 위한 센서 및 조정기 审中-实审
标题翻译：传感器和消耗品的调节器
公开(公告)号：KR1020170053551A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：KR1020160029758
申请日：2016-03-11
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 켄워시이안
IPC分类号： H01L21/66 , H05H1/46 , H01L41/08 , H01L21/02 , G01F1/76
CPC分类号： H01L22/20 , G05B15/02 , H01J37/32458 , H01J37/32642 , H01J37/32715 , H01J37/32752 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32908 , H01J37/3299 , H01J2237/20264 , H01J2237/24564 , H01J2237/334 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/67253 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , H01L21/68735
摘要： 프로세싱챔버내에서사용하기위한장치가제공된다. 소모품은프로세싱챔버내에있다. 소모품의질량을측정하기위해저울이배치된다.
摘要翻译：提供了用于处理室中的设备。消耗品在处理室中。平衡是衡量消耗品的质量。

8. 发明公开

KR1020170052562A 질량 유량 제어 장치 审中-实审
标题翻译：质量流量控制器
公开(公告)号：KR1020170052562A
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020177003210
申请日：2015-08-20
申请人： 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
发明人： 히로타도모카즈 , 이토히로유키
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/76
CPC分类号： G05D7/0635 , G01L7/08 , G05D16/0669
摘要： 질량유량제어장치(1)를, 유량계(2)와, 유량계의상류측에인접하여배치되는기계식압력조절밸브(3)와, 유량계의하류측에배치되는유량제어밸브(4)에의해구성한다. 이에의해, 유량계의상류측의압력 P1이변동된경우라도, 이것을원래의압력으로순시에회복시킬수 있고, 이에의해유량계가측정하는유량의측정정밀도를높일수 있는질량유량제어장치를제공한다. 기계식압력조절밸브(3)는질량유량제어장치(1)의기부(7) 내에매설하는것이바람직하다. 질량유량제어장치(1)는기계식압력조절밸브(3)를강제적으로개방시키는강제밸브개방기구(10)를더 구비하는것이보다바람직하다.
摘要翻译：质量流量控制装置（1），通过流量计（2），其布置为邻近所述流量计控制阀3和流量控制阀4的上游侧的机械压力构成配置在下游的流量计的。其结果是，即使当流量计铜的上游的极端的压力P1，并且这sikilsu到原来的压力恢复瞬间，提供其nopilsu流速计的测量精度的质量流控制装置通过该测量。优选地，机械压力调节阀3嵌入质量流量控制器1的基座7中。（1）它被更优选地设置有阀打开力机构10 reuldeo强制打开机械压力控制阀的质量流量控制装置（3）。

9. 发明公开

KR1020170032481A 실시간으로 질량 유량 제어기를 통과하는 흐름을 모니터링하는 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于实时监测通过质量流量控制器的流量的系统和方法
公开(公告)号：KR1020170032481A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：KR1020177006850
申请日：2013-01-09
申请人： 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드
发明人： 딩준후아
IPC分类号： G05D7/06 , G01F25/00 , G01F1/76
CPC分类号： G01F25/003 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要： 질량유량제어기는, 상기질량유량제어기를통과하는질량의유속을측정하도록구성되고구현되는제 1 유량계; 상기질량유량제어기를통과하는질량의유속을측정하도록구성되고구현되는제 2 유량계; 상기질량유량제어기를통과하는질량의유속을상기유량계중 하나에의하여측정된바와같은유속의함수로서생성되는제어신호에응답하여제어하기위하여구성되고구현되는제어밸브; 및제어신호를생성하고, 상기제 1 유량계에의하여측정된바와같은질량의유속및 상기제 2 유량계에의하여측정된바와같은질량의유속사이의차분이임계를초과할경우표시를제공하도록구성되고구현되는시스템제어기를포함한다.
摘要翻译：该质量流量控制器包括：第一流量计，其被配置和配置为测量通过质量流量控制器的质量流量; 第二流量计，被配置和构造成测量通过质量流量控制器的质量流率; 控制阀，其被构造和布置成响应于作为由流量计之一所测量的流量的函数而生成的控制信号来控制通过质量流量控制器的质量流量; 并且当由第一流量计测量的质量流量与由第二流量计测量的质量流量之间的差超过阈值时提供指示， Lt。

10. 发明公开

KR1020160006155A 다중 채널 에어로졸 산란 흡수 측정장치 有权
标题翻译：多通道航空散射吸收测量仪器
公开(公告)号：KR1020160006155A
公开(公告)日：2016-01-18
申请号：KR1020157018379
申请日：2014-06-26
申请人： 난징 유니버시티
发明人： 한용
IPC分类号： G01N15/00 , G01N15/02 , G01N15/06 , G01N21/31 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N21/59 , G01N21/03 , G01F1/76 , G10K11/16
CPC分类号： G01N21/39 , G01N1/22 , G01N15/02 , G01N21/0332 , G01N21/1702 , G01N21/4785 , G01N21/49 , G01N21/53 , G01N23/227 , G01N29/2425 , G01N2001/2223 , G01N2015/0046 , G01N2021/052 , G01N2021/1704 , G01N2021/4711 , G01N2201/06113
摘要： 본발명은다중채널에어로졸산란흡수측정장치를제시하였는바, 광로장치, 검출장치와공기회로장치를포함하여구성되며, 광로장치는 3가지서로다른파장의레이저를제공하여순서대로검출장치에진입하게하며; 검출장치에는복수의다각도광검출기를설치하여측정을진행하기에에어로졸산란계수의측정오차를줄이며; 공기회로장치는표본진입유닛, 표본교정유닛과표본방출유닛을포함하고, 광로장치에서전송되는광원과공기회로장치에서전송되는기류는각각검출장치의광음향셀에진입하여제어유닛에의해검출된다. 본발명의에어로졸산란흡수측정장치는다중채널, 다각도, 풀사이즈로에어로졸입자의산란위상함수와흡수계수를직접측정하는특징을가지며, 에어로졸의산란계수, 흡광계수, 가시거리, 투광율, 단일산란반사율등 광학변수를동기적으로취득할수있는기능이있어에어로졸의각 광학변수의통합온라인검출을실현하며, 자동화수준이높고, 안정성이뛰어나다.
摘要翻译：本发明公开了一种多通道气溶胶散射吸收测量仪器，包括光路装置，检测装置和气体路径装置。光路装置依次提供进入检测装置的三种不同波长的激光; 检测装置设有多个角度的光电检测器进行测量，以减少气溶胶散射系数的测量误差; 气体通道装置包括样品加载单元，校准单元和样品排出单元; 并且来自光路装置的光源和来自气体路径装置的气流分别进入检测装置的光声腔，并由控制单元检测。本发明的气溶胶散射吸收测定仪的特征在于多通道，多角度，全尺度，直接测量气溶胶粒子的散射相位函数和吸收系数，结合了同步获取气溶胶光学参数的功能（如散射系数，消光系数，可见度，透射率，单散射反照率等），实现了自动化程度高，稳定性好的气溶胶的不同光学参数的在线检测。

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