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1. 发明公开

KR20180006617A 간섭계 및 분광기 칩 审中-公开
标题翻译：干涉仪和光谱仪芯片
公开(公告)号：KR20180006617A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：KR20177032265
申请日：2016-04-28
申请人： IMEC VZW , SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
发明人： CLAES TOM
IPC分类号： G01J3/453 , G01J3/02 , G02B6/293
CPC分类号： G01J3/4531 , G01J3/0218 , G01J3/0259 , G02B6/29346 , G02B6/29349
摘要： 일양상에따른간섭계는다중모드도파로(120), 다중모드도파로(120)에광 신호를공급하기위해다중모드도파로(120)의제1 측면에광학적으로결합된입력도파로(110), 다중모드도파로(120)의제2 측면에광학적으로결합되고제1 도파로거울(150)에의해종결되는제1 도파로(130), 다중모드도파로(120)의제2 측면에광학적으로결합되고제2 도파로거울(160)에의해종결되는다른단부에서의제2 도파로(140), 또는다중모드도파로(120)의제2 측면에직접광학적으로결합된제2 도파로거울(160) 및다중모드도파로(120)내에부분적으로또는전체적으로통합되고, 제1 도파로거울(150) 및제2 도파로거울(160)로부터반사된광을두 개의반사파들사이의위상차이에의존하는전력으로수신하도록배치되는적어도하나이상의신호판독구조(170)를포함할수 있다.
摘要翻译：根据一个方面的干涉仪包括输入波导110，其光学耦合到多模波导120的第一侧以向多模波导120提供光信号; 光耦合到搅拌器2侧并且由第一波导镜150终止的第一波导130，光耦合到多模波导120的第二侧并且由第二波导镜160耦合的第二波导镜直接光学耦合到多模波导120的第二侧的第二波导镜160和部分或全部集成在多路复用模式波导120中的第二波导镜160，并且至少一个信号读取结构170被布置为以取决于两个反射波之间的相位差的功率接收从第一波导镜150和第二波导镜160反射的光。

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