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1. 发明授权

KR102244070B1 기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102244070B1
公开(公告)日：2021-04-26
申请号：KR1020140002084
申请日：2014-01-07
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 기성훈 , 김인교 , 정석원 , 허명수
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , H01L51/52
摘要： 본발명의일 실시예는기판에대하여박막을증착하기위한기상증착장치에관한것으로서, 상기기판의서로다른영역에대응되도록배치된복수의모듈을구비하고, 상기복수의모듈은각각, 본체부및 상기본체부의면 중상기기판을향하는면에형성된노즐부를포함하고, 상기복수의모듈은각각독립적으로상기기판의서로다른영역에대하여증착공정을진행하는기상증착장치를개시한다.

2. 发明公开

KR1020160108665A 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 审中-实审
标题翻译：显示装置的制造装置和显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020160108665A
公开(公告)日：2016-09-20
申请号：KR1020150030548
申请日：2015-03-04
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 성균관대학교산학협력단
发明人： 허명수 , 조성민 , 고동균 , 김성철 , 김인교 , 노철래 , 서상준 , 서승우 , 장철민
IPC分类号： H01L27/32 , H01L51/52 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/5253 , C23C16/455 , C23C16/45525 , C23C16/45565 , H01L27/3244 , H01L51/5256 , H01L51/5259 , H01L51/56 , H01L2251/303 , H01L27/3274 , H01L27/3262 , H01L51/5237 , H01L2924/01013 , H01L2924/0103 , H01L2924/0104 , H01L2924/01072
摘要： 본발명은표시장치, 표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 기판과, 상기기판상에형성되는표시부와, 상기표시부상에형성되는박막봉지층을포함하고, 상기박막봉지층은무기층을포함하고, 상기무기층은, 알루미늄, 아연, 지르코늄및 하프늄중 적어도 2개이상으로형성된복합산화물을포함하는제1 서브무기층을포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种显示装置及其制造装置及其制造方法。本发明包括基板，形成在基板上的显示单元和形成在显示单元上的薄膜封装层，其中薄膜封装层包括无机层，无机层包括第一亚无机层，其具有由铝，锌，锆和铪中的两种以上形成的复合氧化物。

3. 发明公开

KR1020160065071A 기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
标题翻译：蒸气沉积装置，蒸气沉积方法及制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020160065071A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：KR1020160066754
申请日：2016-05-30
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 기성훈 , 김인교 , 정석원 , 허명수
IPC分类号： C23C16/455 , H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： C23C16/455 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要： 본발명의일 실시예는기판에대하여박막을증착하기위한기상증착장치에관한것으로서, 적어도하나이상의기체를공급하도록형성된복수의선형의공급부재를구비하는공급부및 상기복수의공급부재에연결되고상기기판방향으로상기기체를제공하는복수의노즐부재를구비하는노즐부를포함하고, 상기복수의노즐부재중 서로인접한두 개의노즐부재는상기복수의공급부재중 적어도하나의공통의공급부재에연결되도록형성되는것을특징으로하는기상증착장치를개시한다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，蒸镀装置将薄膜沉积在基板上，并且包括：供给单元，具有形成为供应一种或多种气体的多个线性供应构件; 以及具有多个喷嘴构件的喷嘴单元，所述多个喷嘴构件连接到供应构件并将气体提供给基板。在喷嘴构件之间彼此相邻的两个喷嘴构件连接到供应构件中的至少一个共同的供应构件。

4. 发明公开

KR1020160041158A 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制造显示装置的装置和制造显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020160041158A
公开(公告)日：2016-04-18
申请号：KR1020140134487
申请日：2014-10-06
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 허명수 , 고동균 , 장철민 , 김성철 , 김인교 , 노철래
IPC分类号： H01L27/32 , H01L51/56
CPC分类号： C23C16/50 , C23C16/45563 , C23C16/54 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32752 , H01J37/32899 , H01L51/5256
摘要： 본발명은표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 챔버와, 상기챔버내부에배치되며, 무기층을성막하는무기층형성노즐부와, 상기챔버내부에배치되며, 상기무기층형성노즐부와인라인형태로배열되어유기층을성막하는유기층형성노즐부와, 상기무기층형성노즐부와상기유기층형성노즐부사이에배치되며, 비활성기체를함유하는퍼지가스를분사하는분리노즐부를포함한다.
摘要翻译：根据本发明，公开了一种显示装置的制造装置及其方法。根据本发明，显示装置的制造装置包括：室; 无机层形成喷嘴单元，其布置在所述室中并且构造成形成无机层; 有机层形成喷嘴单元，其布置在所述室中并构造成形成有机层，其中所述有机层形成喷嘴单元与所述无机层形成喷嘴单元成一直线排列; 以及分离喷嘴单元，其布置在无机层形成喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元之间，并且构造成喷射含有惰性气体的吹扫气体。

5. 发明公开

KR1020150019436A 원자층 증착 방법 및 원자층 증착 장치 审中-实审
标题翻译：原子层沉积的方法和原子层沉积的装置
公开(公告)号：KR1020150019436A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：KR1020130096328
申请日：2013-08-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 기성훈 , 김인교 , 정석원 , 허명수
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45574 , C23C16/45551 , C23C16/458
摘要： 원자층 증착 방법은, 가스 분사 유닛 내에 교번하여 배치되는 적어도 하나의 소스 가스 분사 노즐 및 적어도 하나의 반응 가스 분사 노즐이 서셉터 유닛에 배치된 기판에 소스 가스 및 반응 가스를 각각 분사하여 기판 상에 제1 소스 가스 흡착 영역 및 제1 반응 가스 흡착 영역을 형성한 후, 제1 소스 가스 흡착 영역의 상부에 반응 가스 분사 노즐이 배치되고, 제1 반응 가스 흡착 영역의 상부에 소스 가스 분사 노즐이 배치되도록, 서셉터 유닛이 제1 방향으로 소스 가스 분사 노즐의 폭 또는 반응 가스 분사 노즐의 폭만큼 이동하면서, 소스 가스 분사 노즐 및 반응 가스 분사 노즐이 제1 반응 가스 흡착 영역 및 제1 소스 가스 흡착 영역에 소스 가스 및 반응 가스를 각각 분사하여 제1 모노레이어(monolayer)를 형성할 수 있다.
摘要翻译：沉积原子层的方法如下。通过使一个或多个气体喷射喷嘴和一个或多个反应气体喷射喷嘴交替地布置在气体喷射单元中以将源气体和反应气体喷射到基板上，在基板上形成第一源气体吸收区域和反应气体吸收区域分别设置在感受器单元上。基座单元沿着第一方向移动多达源气体喷嘴的宽度或者反应气体喷嘴的宽度，以将反应气体喷嘴喷射到第一源气体吸收区域的上部，并将源气体喷嘴在第一反应物气体吸收区域的上部。通过使源气体喷嘴和反应气体喷雾喷嘴将源气体和反应气体分别喷射到第一反应气体吸收区域和第一源气体吸收区域来形成第一单层。

6. 发明公开

KR1020140020678A 캐니스터, 이를 포함하는 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 审中-实审
标题翻译：具有它们的吸收器，蒸气沉积装置，使用该薄膜形成薄膜的方法和用于制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020140020678A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：KR1020120087994
申请日：2012-08-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 정석원 , 이성용 , 조철래 , 김인교 , 기성훈
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/00 , B01F3/04 , C23C16/4481 , C23C16/4482
摘要： To efficiently proceed with a deposition process and easily improve a characteristic of a deposition film, the present invention provides a canister comprising a receiving part for receiving a liquid raw material; a discharging part having a discharging pipe formed to be connected to the receiving part so that a vaporized gas raw material can be discharged after the liquid raw material is vaporized; a blocking member formed to be connected to the upper surface of the receiving part in the receiving part; a partition part which is arranged in the receiving part and has a plurality of partitions arranged to be spaced from each other; and a restriction part which is arranged between the partition part and the blocking member and has a body member connected to the inner surface of the receiving part, an extension member extended from the body member, and a penetration part formed to penetrate the body member and the extension member.
摘要翻译：为了有效地进行沉积工艺并且容易地改善沉积膜的特性，本发明提供了一种包括用于接收液体原料的容纳部件的罐; 排出部，具有形成为与容纳部连接的排出管，使得在液体原料蒸发之后可以排出汽化气体原料; 阻挡构件，其形成为与所述容纳部中的所述容纳部的上表面连接; 分隔部，其布置在所述接收部分中并且具有布置成彼此间隔开的多个隔板; 以及限制部，其配置在所述分隔部与所述阻挡部件之间，具有与所述容纳部的内表面连接的主体部件，从所述主体部件延伸的延伸部件和形成为穿透所述主体部件的贯通部，扩展成员。

7. 发明授权

KR102205399B1 기상 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR102205399B1
公开(公告)日：2021-01-21
申请号：KR1020130092246
申请日：2013-08-02
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 정석원 , 기성훈 , 김인교
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , H01L21/205
摘要： 본발명은기상증착장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른기상증착장치는, 서로나란히배치된복수의증착모듈을포함하는증착부및 상기증착부하부에위치하고, 기판이장착되는기판장착부를포함하고, 상기복수의증착모듈각각은, 원료가스와퍼지가스를선택적으로상기기판장착부방향으로분사하는노즐부를포함하고, 상기노즐부는상기노즐부의하부에상기기판장착부가위치할때, 상기원료가스를분사할수 있다. 이에의해, 기상증착장치의챔버의길이를최소화할수 있다.

8. 发明授权

KR102083448B1 기상 증착 장치, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102083448B1
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：KR1020120149758
申请日：2012-12-20
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 허명수 , 정석원 , 김진광 , 김인교 , 장철민
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/50

9. 发明授权

KR102003768B1 기상 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102003768B1
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：KR1020120128370
申请日：2012-11-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 정석원 , 김재현 , 김성철 , 김진광 , 심창우 , 기성훈 , 김인교
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10 , C23C16/44

10. 发明授权

KR101969066B1 기상 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR101969066B1
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：KR1020120092544
申请日：2012-08-23
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 최재혁 , 허명수 , 장철민 , 고동균 , 김인교 , 기성훈
IPC分类号： H01L21/205

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