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1. 发明授权

KR102083448B1 기상 증착 장치, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102083448B1
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：KR1020120149758
申请日：2012-12-20
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 허명수 , 정석원 , 김진광 , 김인교 , 장철민
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/50

2. 发明授权

KR102003768B1 기상 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102003768B1
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：KR1020120128370
申请日：2012-11-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 정석원 , 김재현 , 김성철 , 김진광 , 심창우 , 기성훈 , 김인교
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10 , C23C16/44

3. 发明授权

KR101809659B1 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：有机发光显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR101809659B1
公开(公告)日：2017-12-18
申请号：KR1020110105429
申请日：2011-10-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김승훈 , 왕성민 , 김진광 , 서상준
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/04 , H05B33/26 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/5256 , H01L27/3246
摘要： 본발명의실시예에따른유기발광표시장치는기판과, 상기기판상에형성된유기발광소자와, 상기기판상에형성되어상기유기발광소자를커버하는제1 무기막과, 상기제1 무기막위에형성되며상기제1 무기막보다상대적으로적은면적을커버하는중간층과, 상기제1 무기막및 상기중간층위에형성되며, 상기중간층보다상대적으로큰 면적을커버하며가장자리에서상기제1 무기막과접하는제2 무기막을포함한다.
摘要翻译：根据本发明实施例的有机发光显示器包括基板，形成在基板上的有机发光二极管，形成在基板上以覆盖有机发光器件的第一无机膜，中间层，形成在第一无机膜和中间层上，并且覆盖比中间层更大的区域并且在边缘处接触第一无机膜， 2无机膜。

4. 发明授权

KR101420333B1 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
标题翻译：蒸镀装置，使用该薄膜的薄膜的形成方法以及制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR101420333B1
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：KR1020120131114
申请日：2012-11-19
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김진광 , 송승용 , 허명수 , 정석원 , 장철민 , 김재현 , 김성철
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/0021 , C23C14/24 , C23C14/564 , C23C16/4401 , C23C16/4412 , C23C16/45536 , C23C16/45544 , C23C16/45551 , C23C16/50 , H01B13/30 , H01L27/3244 , H01L51/5206 , H01L51/5221 , H01L51/5253 , H01L51/56 , H01L2227/323
摘要： 본 발명은 기판이 이동하면서 증착 공정이 진행되는 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상기 기판 방향으로 하나 이상의 원료 기체를 주입하는 공급부, 상기 공급부에 대응하도록 배치되고 상기 원료 기체의 흐름을 차단하는 기류를 생성하는 차단 기류 생성부를 포함하는 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법을 제공한다.

5. 发明公开

KR1020130040574A 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：有机发光二极管显示器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130040574A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：KR1020110105429
申请日：2011-10-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김승훈 , 왕성민 , 김진광 , 서상준
IPC分类号： H01L51/50 , H05B33/04 , H05B33/26 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/5256 , H01L27/3246 , H01L2251/301
摘要： PURPOSE: An organic light emitting display device and a manufacturing method thereof are provided to minimize damage to an organic light emitting device in a thin film encapsulation process by efficiently preventing moisture and oxygen from being laterally inputted. CONSTITUTION: An organic light emitting device(70) is formed on a substrate. A first inorganic layer(211) is formed on the substrate and covers the organic light emitting device. An intermediate layer(221,222,223) is located on the first inorganic layer and covers a relatively small area of the organic light emitting device in comparison with the first inorganic layer. A second inorganic layer(212) is formed on the first inorganic layer and the intermediate layer and covers a relatively large area of the organic light emitting device in comparison with the intermediate layer. The edge of the second inorganic layer comes into contact with the first organic layer.
摘要翻译：目的：提供一种有机发光显示装置及其制造方法，以通过有效地防止水分和氧气被横向输入来最小化对薄膜封装工艺中的有机发光器件的损害。构成：在基板上形成有机发光元件（70）。第一无机层（211）形成在基板上并覆盖有机发光器件。与第一无机层相比，中间层（221,222,223）位于第一无机层上并且覆盖有机发光器件的相对较小的区域。第二无机层（212）形成在第一无机层和中间层上，并且与中间层相比覆盖有机发光器件的相对大的面积。第二无机层的边缘与第一有机层接触。

6. 发明授权

KR102264652B1 기상 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR102264652B1
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：KR1020200063240
申请日：2020-05-26
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 김진광 , 김성철 , 김재현 , 송승용 , 정석원 , 허명수
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/44 , H01L51/56

7. 发明公开

KR1020210009391A 기상 증착 장치 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210009391A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：KR1020210002587
申请日：2021-01-08
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 허명수 , 김진광 , 김성철 , 김재현 , 송승용 , 장철민 , 정석원
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 본발명의일 실시예는, 제1 원료물질을분사하는복수의제1 노즐부들; 상기복수의제1 노즐부들과교번적으로배치되고, 라디칼형태의제2 원료물질을분사하는복수의제2 노즐부들; 상기복수의제2 노즐부들로상기라디칼형태의제2 원료물질을분배하는디퓨져부; 및상기디퓨져부로상기라디칼형태의제2 원료물질을공급하는공급부;를포함하고, 상기디퓨져부는, 전하를띠는적어도하나의분배플레이트를포함하고, 상기공급부는플라즈마발생부를포함하는기상증착장치를개시한다.

8. 发明授权

KR101989058B1 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101989058B1
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：KR1020120118677
申请日：2012-10-24
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김인교 , 허명수 , 정석원 , 장철민 , 김재현 , 김진광 , 심창우 , 기성훈
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/44 , H05B33/10

9. 发明授权

KR101940231B1 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101940231B1
公开(公告)日：2019-01-21
申请号：KR1020170169453
申请日：2017-12-11
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김승훈 , 왕성민 , 김진광 , 서상준
IPC分类号： H01L51/52 , H01L27/32

10. 发明公开

KR1020150045329A 유기 발광 장치 审中-实审
标题翻译：有机发光装置
公开(公告)号：KR1020150045329A
公开(公告)日：2015-04-28
申请号：KR1020130124922
申请日：2013-10-18
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 허명수 , 김성철 , 김재현 , 김진광
IPC分类号： H01L51/52 , H05B33/04
CPC分类号： H01L51/5256 , H01L51/5237 , H01L2251/558 , H05B33/04
摘要： 본발명의일 실시예는기판; 상기기판상에구비되며, 제1전극, 제2전극및 상기제1전극과제2전극사이에구비된중간층을포함한유기발광소자; 및상기유기발광소자를덮는봉지층;을포함하고, 상기봉지층은적어도제1 무기층, 제1 응력제어층및 제1 유기층이순차적으로적층된구조이며, 상기제1 응력제어층의영률(Young’s modulus)이상기제1 무기층의영률보다큰 유기발광장치를개시한다.
摘要翻译：根据本发明的一个实施例，公开了一种有机发光器件，其包括衬底，形成在衬底上的有机发光器件，其包括第一电极，第二电极和中间层，第一电极和第二电极以及覆盖有机发光器件的封装层。封装层具有至少第一无机层，第一应力控制层和第一有机层依次层叠的结构。第一应力控制层的杨氏模量大于第一无机层的杨氏模量。

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