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1. 发明公开

KR1020130106666A 박막 증착 장치 및 그것을 이용한 박막 증착 방법 审中-实审
标题翻译：薄膜沉积装置和使用其的薄膜沉积方法
公开(公告)号：KR1020130106666A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：KR1020120028390
申请日：2012-03-20
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이성용 , 허명수 , 장철민 , 조철래 , 김인교 , 이용석 , 안미라 , 서상준
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45551 , C23C16/4583
摘要： PURPOSE: A thin film depositing apparatus and a method for depositing a thin film using the same are provided to constantly maintain a processing gas by using an auxiliary plate which alternatively blocks a processing gas outlet. CONSTITUTION: A deposition chamber includes a processing gas outlet (11) of a deposition source. A movable shuttle (100) mounts a substrate on a mounting unit. The movable shuttle reciprocates at a position to face the processing gas outlet. An auxiliary plate (110, 120) blocks the processing gas outlet. The auxiliary plate is installed on the movable shuttle.
摘要翻译：目的：提供薄膜沉积设备和使用其沉积薄膜的方法，以通过使用替代地阻挡处理气体出口的辅助板来恒定地保持处理气体。构成：沉积室包括沉积源的处理气体出口（11）。可移动梭（100）将基板安装在安装单元上。活动梭在与处理气体出口相对的位置往复运动。辅助板（110,120）阻挡处理气体出口。辅助板安装在活动梭上。

2. 发明授权

KR101971927B1 캐니스터, 이를 포함하는 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101971927B1
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：KR1020120087994
申请日：2012-08-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 정석원 , 이성용 , 조철래 , 김인교 , 기성훈
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/44

3. 发明公开

KR1020140020678A 캐니스터, 이를 포함하는 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 审中-实审
标题翻译：具有它们的吸收器，蒸气沉积装置，使用该薄膜形成薄膜的方法和用于制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020140020678A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：KR1020120087994
申请日：2012-08-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 정석원 , 이성용 , 조철래 , 김인교 , 기성훈
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/00 , B01F3/04 , C23C16/4481 , C23C16/4482
摘要： To efficiently proceed with a deposition process and easily improve a characteristic of a deposition film, the present invention provides a canister comprising a receiving part for receiving a liquid raw material; a discharging part having a discharging pipe formed to be connected to the receiving part so that a vaporized gas raw material can be discharged after the liquid raw material is vaporized; a blocking member formed to be connected to the upper surface of the receiving part in the receiving part; a partition part which is arranged in the receiving part and has a plurality of partitions arranged to be spaced from each other; and a restriction part which is arranged between the partition part and the blocking member and has a body member connected to the inner surface of the receiving part, an extension member extended from the body member, and a penetration part formed to penetrate the body member and the extension member.
摘要翻译：为了有效地进行沉积工艺并且容易地改善沉积膜的特性，本发明提供了一种包括用于接收液体原料的容纳部件的罐; 排出部，具有形成为与容纳部连接的排出管，使得在液体原料蒸发之后可以排出汽化气体原料; 阻挡构件，其形成为与所述容纳部中的所述容纳部的上表面连接; 分隔部，其布置在所述接收部分中并且具有布置成彼此间隔开的多个隔板; 以及限制部，其配置在所述分隔部与所述阻挡部件之间，具有与所述容纳部的内表面连接的主体部件，从所述主体部件延伸的延伸部件和形成为穿透所述主体部件的贯通部，扩展成员。

4. 发明公开

KR1020160032796A 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：制造显示装置的装置和制造显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020160032796A
公开(公告)日：2016-03-25
申请号：KR1020140122932
申请日：2014-09-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 최승호 , 이성용
IPC分类号： H01L27/32 , H01L51/56
摘要： 본발명은표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 일측이개구되도록형성되는기화기와, 상기기화기의개구된부분에결합하며, 투명한재질의투과부와, 상기투과부의외부에배치되어상기기화기내부로빛을조사하는적외선히터와, 상기기화기에설치되어상기기화기내부로유기물을분사하는유기물분사유닛을포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于制造显示装置的装置和方法。用于制造显示装置的装置包括：形成为一侧打开的蒸发器; 由透明材料制成并与蒸发器的打开部分相连的传动单元; 放置在传输单元外侧的红外加热器将光照射到蒸发器的内部; 以及安装在蒸发器中的有机材料喷射单元，以将有机材料喷射到蒸发器的内部。

5. 发明公开

KR1020150042096A 기상 증착 장치 审中-实审
标题翻译：蒸镀装置
公开(公告)号：KR1020150042096A
公开(公告)日：2015-04-20
申请号：KR1020130120873
申请日：2013-10-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이성용 , 기성훈 , 김인교 , 장철민 , 허명수
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50
CPC分类号： C23C16/45563 , C23C16/452 , C23C16/45536 , C23C16/45551
摘要： 본실시예는기판이장착되는기판장착부, 상기기판장착부방향으로제1 원료물질을분사하는복수의제1 노즐부들, 상기복수의제1 노즐부들과교번적으로배치되고, 상기기판장착부방향으로제2 원료물질을분사하는복수의제2 노즐부들및 상기복수의제2 노즐부들로상기제2 원료물질을공급하는플라즈마모듈부를포함하고, 상기제2 원료물질은라디칼이고, 상기기판장착부는정전기발생부를포함하는기상증착장치를개시한다.
摘要翻译：根据本发明的实施例，公开了一种气相沉积，其包括：衬底安装单元，其中安装衬底; 多个第一喷嘴单元，其向所述基板安装单元的方向注入第一源材料; 与所述第一喷嘴单元交替布置的多个第二喷嘴单元，并且向所述基板安装单元的方向注入第二源材料; 以及将第二源材料供应到第二喷嘴单元的等离子体模块单元。第二个来源是激进的。基板安装单元包括静电发生单元。

6. 发明授权

KR102244073B1 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102244073B1
公开(公告)日：2021-04-26
申请号：KR1020140122932
申请日：2014-09-16
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 최승호 , 이성용
IPC分类号： C23C14/28 , C23C14/12 , H01L51/00 , H01L51/52
摘要： 본발명은표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 일측이개구되도록형성되는기화기와, 상기기화기의개구된부분에결합하며, 투명한재질의투과부와, 상기투과부의외부에배치되어상기기화기내부로빛을조사하는적외선히터와, 상기기화기에설치되어상기기화기내부로유기물을분사하는유기물분사유닛을포함한다.

7. 发明授权

KR102173047B1 기상 증착 장치 有权
公开(公告)号：KR102173047B1
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：KR20130120873
申请日：2013-10-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이성용 , 기성훈 , 김인교 , 장철민 , 허명수
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50
摘要： 본실시예는기판이장착되는기판장착부, 상기기판장착부방향으로제1 원료물질을분사하는복수의제1 노즐부들, 상기복수의제1 노즐부들과교번적으로배치되고, 상기기판장착부방향으로제2 원료물질을분사하는복수의제2 노즐부들및 상기복수의제2 노즐부들로상기제2 원료물질을공급하는플라즈마모듈부를포함하고, 상기제2 원료물질은라디칼이고, 상기기판장착부는정전기발생부를포함하는기상증착장치를개시한다.

8. 发明授权

KR101861824B1 박막 증착 장치 및 그것을 이용한 박막 증착 방법 有权
公开(公告)号：KR101861824B1
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：KR1020120028390
申请日：2012-03-20
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이성용 , 허명수 , 장철민 , 조철래 , 김인교 , 이용석 , 안미라 , 서상준
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45551 , C23C16/4583
摘要： 박막증착장치및 그것을이용한박막증착방법이개시된다. 개시된박막증착장치는증착원의공정가스출구가마련된증착챔버와, 기판을탑재부에싣고공정가스출구와마주하는위치를왕복하며통과하는이동셔틀및, 공정가스출구를가릴수 있도록이동셔틀에설치되며접고펴기가가능한플립기구를구비한보조판을포함한다. 이러한구조의박막증착장치를이용하면증착원의공정가스상태를일정하게유지시키는데유리한보조판을사용하면서도, 그보조판때문에증착챔버의크기가너무커지는부담을적절히줄일수 있게된다.

9. 发明公开

KR1020170115222A 광 조사 장치의 렌즈 어셈블리 审中-实审
标题翻译：光照射装置的透镜组件
公开(公告)号：KR1020170115222A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：KR1020160042480
申请日：2016-04-06
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 이성용 , 한규완 , 이석주
IPC分类号： G02B1/18 , G02B27/01 , G02B1/10 , G02B7/02
摘要： 광조사유닛에장착되는렌즈어셈블리는렌즈, 렌즈하우징, 윈도우하우징, 및윈도우유닛을포함한다. 상기렌즈는상기광 조사유닛으로부터방출되는광의진행방향을변경하고, 상기렌즈하우징은상기렌즈를수납한다. 상기윈도우하우징은상기렌즈를사이에두고상기광 조사유닛과마주하고, 상기윈도우하우징은상기렌즈하우징과결합되어상기렌즈를보호한다. 상기윈도우유닛은상기윈도우하우징의내부에수납되어상기렌즈와중첩된다. 또한, 상기윈도우하우징은바디프레임및 도어부를포함한다. 상기바디프레임은상기윈도우유닛의둘레를따라연장된다. 상기도어부는상기바디프레임의일 측에배치되고, 상기도어부는상기윈도우하우징의내부를개폐한다.
摘要翻译：安装在光照射单元上的透镜组件包括透镜，透镜壳体，窗户壳体和窗口单元。透镜改变从光照射单元发射的光的行进方向，并且透镜壳体接收透镜。窗口壳体隔着透镜面向光照射单元，并且窗口壳体与透镜壳体耦合以保护透镜。窗户单元安置在窗户外壳中并与透镜重叠。此外，窗户外壳包括主体框架和门部分。车身框架沿着窗户单元的周边延伸。门部分设置在车身框架的一侧，并且门部分打开和关闭窗户壳体的内部。

10. 发明公开

KR1020130057794A 증착용 마스크 및 증착용 마스크의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：掩模及其制造方法
公开(公告)号：KR1020130057794A
公开(公告)日：2013-06-03
申请号：KR1020110123720
申请日：2011-11-24
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 주성중 , 허명수 , 정석원 , 장철민 , 이성용 , 조철래 , 한인애
IPC分类号： H01L51/56 , C23C16/04
CPC分类号： C23C16/4404 , B05C21/005 , C23C14/042 , C23C16/042 , G03F1/00 , H01F41/22 , H01L51/0011
摘要： PURPOSE: A deposition mask and a method for manufacturing a deposition mask is provided to secure an organic light emitting display device of high definition by controlling the thickness of a deposition layer with atomic level. CONSTITUTION: A mask body(110) has slits. The mask body is made of a magnetic material. The slit penetrates the mask body. A deposition layer(120) is coated on the entire surface of the mask body by an ALD(Atomic Layer Deposition) method. The material of the deposition layer is different from that of the mask body.
摘要翻译：目的：提供一种沉积掩模和用于制造沉积掩模的方法，通过控制具有原子级的沉积层的厚度来固定高清晰度的有机发光显示装置。构成：面罩主体（110）具有狭缝。面罩主体由磁性材料制成。狭缝穿透面罩体。通过ALD（原子层沉积）方法将掩模层（120）涂覆在掩模体的整个表面上。沉积层的材料与掩模体的材料不同。

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