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1. 发明公开

KR1020160108665A 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 审中-实审
标题翻译：显示装置的制造装置和显示装置的制造方法
公开(公告)号：KR1020160108665A
公开(公告)日：2016-09-20
申请号：KR1020150030548
申请日：2015-03-04
申请人： 삼성디스플레이 주식회사 , 성균관대학교산학협력단
发明人： 허명수 , 조성민 , 고동균 , 김성철 , 김인교 , 노철래 , 서상준 , 서승우 , 장철민
IPC分类号： H01L27/32 , H01L51/52 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/5253 , C23C16/455 , C23C16/45525 , C23C16/45565 , H01L27/3244 , H01L51/5256 , H01L51/5259 , H01L51/56 , H01L2251/303 , H01L27/3274 , H01L27/3262 , H01L51/5237 , H01L2924/01013 , H01L2924/0103 , H01L2924/0104 , H01L2924/01072
摘要： 본발명은표시장치, 표시장치의제조장치및 표시장치의제조방법을개시한다. 본발명은, 기판과, 상기기판상에형성되는표시부와, 상기표시부상에형성되는박막봉지층을포함하고, 상기박막봉지층은무기층을포함하고, 상기무기층은, 알루미늄, 아연, 지르코늄및 하프늄중 적어도 2개이상으로형성된복합산화물을포함하는제1 서브무기층을포함한다.
摘要翻译：本发明提供一种显示装置及其制造装置及其制造方法。本发明包括基板，形成在基板上的显示单元和形成在显示单元上的薄膜封装层，其中薄膜封装层包括无机层，无机层包括第一亚无机层，其具有由铝，锌，锆和铪中的两种以上形成的复合氧化物。

2. 发明授权

KR102148429B1 플렉서블 디스플레이 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102148429B1
公开(公告)日：2020-08-27
申请号：KR1020180151230
申请日：2018-11-29
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 안성국 , 서상준 , 민훈기 , 진동언
IPC分类号： G02F1/1362 , G02F1/1333 , H01L27/12 , C23C16/34

3. 发明授权

KR101990131B1 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101990131B1
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：KR1020190004745
申请日：2019-01-14
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김승훈 , 왕성민 , 김진광 , 서상준
IPC分类号： H01L51/52 , H01L27/32

4. 发明授权

KR101897743B1 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101897743B1
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：KR1020110052904
申请日：2011-06-01
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 박용환 , 서상준 , 이재섭 , 김승훈 , 김진광
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/04 , H01L51/50
CPC分类号： H01L51/5253 , H01L51/5246 , H01L2227/326 , H01L2251/5338
摘要： 유기발광표시장치의제조방법은제1 기판상에유기발광소자를형성하는단계, 상기유기발광소자상에상기제1 기판과함께상기유기발광소자를밀봉하는박막봉지층을형성하는단계, 제2 기판상에플렉서블보호층을형성하는단계, 상기플렉서블보호층이상기박막봉지층과대향하도록상기제1 기판과상기제2 기판을합착하는단계, 및상기플렉서블보호층으로부터상기제2 기판을분리하는단계를포함한다.

5. 发明授权

KR101830976B1 원자층 증착장치 有权
标题翻译：原子层沉积设备
公开(公告)号：KR101830976B1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：KR1020110064229
申请日：2011-06-30
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김승훈 , 서상준 , 김진광 , 천준혁
IPC分类号： C23C16/455 , H01L51/56 , H05B33/04 , H01L21/20
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/45551 , C23C16/45563 , H01L51/5253
摘要： 본발명은원자층증착장치및 이를이용한유기발광소자의봉지방법에대한에것으로서, 본발명에따른원자층증작장치는퍼지가스주입노즐부분의구조를개선하여원자층증착공정에서의퍼지가스의배출효율을높여퍼지공정의속도를증가시킬수 있다. 그결과본 발명에따른원자층증작장치를사용하여유기발광소자를밀봉하는봉지공정을실시할경우증착속도와및 봉지막질을향상시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及原子层沉积装置和使用该原子层沉积装置来封装有机发光装置的方法。根据本发明的原子层沉积装置改进了吹扫气体喷嘴部分的结构，吹扫过程的速度可以提高。结果，当执行使用根据本发明的原子层生长装置来密封有机发光装置的密封工艺时，可以提高沉积速率和密封膜质量。

6. 发明公开

KR1020170140802A 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 审中-实审
标题翻译：有机发光显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170140802A
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：KR1020170169453
申请日：2017-12-11
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 김승훈 , 왕성민 , 김진광 , 서상준
IPC分类号： H01L51/52 , H01L27/32
CPC分类号： H01L51/5256 , H01L27/3246 , H01L2251/301
摘要： 본발명의실시예에따른유기발광표시장치는, 기판과, 상기기판상에배치된유기발광소자와, 상기기판상에배치되며상기유기발광소자를커버하는제1 무기막과, 상기제1 무기막위에배치되며상기제1 무기막보다상대적으로적은면적을커버하는중간층과, 상기제1 무기막및 상기중간층위에배치되며, 상기중간층보다상대적으로큰 면적을커버하며가장자리에서상기제1 무기막과접하는제2 무기막및 상기제2 무기막위에배치되며, 상기제2 무기막보다상대적으로적은면적을커버하는상부층을포함하며, 상기중간층은유기막을포함하고, 상기상부층은금속산화막을포함한다.
摘要翻译：根据本发明实施例的有机发光显示器包括基板，设置在基板上的有机发光元件，设置在基板上并覆盖有机发光元件的第一无机膜，中间层，配置在所述膜上，覆盖比所述第一无机膜小的面积;以及第二无机膜，配置在所述第一无机膜和所述中间层上，覆盖比所述中间层大的面积，以及设置在第二无机膜上并且覆盖比第二无机膜小的面积的上层，其中中间层包括有机膜，并且上层包括金属氧化物膜。

7. 发明授权

KR101810046B1 기상 증착 장치 및 기상 증착 방법 有权
标题翻译：气相沉积装置和气相沉积法
公开(公告)号：KR101810046B1
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：KR1020120006409
申请日：2012-01-19
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 장철민 , 허명수 , 이정호 , 조철래 , 서상준 , 김승훈 , 김진광
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C16/46 , C23C16/45551 , C23C16/45563 , C23C16/4583
摘要： 본발명은, 기판이장착되는스테이지와, 상기스테이지의일 방향에배치되며서로이격된위치와서로인접한위치의사이에서이동가능한제1 히터부와제2 히터부를구비하는히터부와, 상기스테이지의상기히터부가배치된방향과반대방향에배치되고적어도하나이상의노즐을구비하는노즐부를구비하는기상증착장치를제공한다.
摘要翻译：本发明，并且在其上基板安装阶段，被设置在所述加热器单元的阶段的一个方向，所说的可移动的第一加热器部分和间隔开的位置和靠近在一起位置彼此之间的第二加热器部分阶段设置在所述加热器部配置在相反方向上，并且提供所述汽相沉积设备，其包括具有至少一个喷嘴的喷嘴。

8. 发明公开

KR1020170122702A 플렉서블 디스플레이 및 이의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：柔性显示器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020170122702A
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020170140318
申请日：2017-10-26
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 안성국 , 서상준 , 민훈기 , 진동언
IPC分类号： G02F1/1362 , G02F1/1333 , H01L27/12 , C23C16/34
摘要： 본발명은두께가얇으면서도, 박막트랜지스터와같은전자소자에영향을주지않는막스트레스범위를갖고, 산소및 수분차단특성이좋은배리어막을포함하는플렉서블디스플레이용기판및 이의제조방법을제공하기위하여 , 유리전이온도가 350°C 이상 500°C 이하인플라스틱기판; 및상기플라스틱기판상에하나이상의산화실리콘층및 하나이상의질화실리콘층이교대로적층된다층구조이며, 상기산화실리콘층과상기질화실리콘층에의한막스트레스가 -200 내지 200 MPa 인배리어막; 을포함하는플렉서블디스플레이용기판을개시한다.
摘要翻译：对于本发明的厚度是薄的，而，提供一种薄膜晶体管及其制造jujianneun冲击薄膜到具有应力范围内的电子装置中，氧气和湿气阻挡性能的柔性显示器容器包括膜良好的阻隔板和它的方式，玻璃化转变温度不低于350℃且不高于500℃的塑料基材; 和塑料基板上的至少一个硅层和至少一个氮化氧化硅层被交替地堆叠层结构，和氧化硅层的膜应力，并且所述氮化硅层-200至200MPa inbae后部膜; 柔性显示面板本发明涉及一种柔性显示面板。

9. 发明授权

KR101288129B1 기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
标题翻译：蒸镀装置，气相沉积方法及制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR101288129B1
公开(公告)日：2013-07-19
申请号：KR1020110069487
申请日：2011-07-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 서상준 , 김승훈 , 김진광 , 송승용
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/448 , H01L51/56 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/042 , C23C16/45544 , C23C16/45563 , C23C16/4587 , H01L51/001
摘要： 본 발명은 증착 공정을 효율적으로 진행할 수 있고 증착막 특성을 용이하게 향상하는 복수의 기판에 박막을 증착하기 위한 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 배기구를 구비하는 챔버, 상기 챔버 내에 배치되고 상기 복수의 기판을 장착하도록 복수의 장착면을 구비하는 스테이지 및 상기 기판의 박막이 형성될 평면 방향과 평행하도록 기체를 주입하는 적어도 하나 이상의 주입홀을 구비하는 주입부를 포함하는 기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법을 제공한다.

10. 发明公开

KR1020130008853A 기상 증착 장치, 기상 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법 有权
标题翻译：蒸气沉积装置，用于蒸发沉积的方法和制造有机发光显示装置的方法
公开(公告)号：KR1020130008853A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：KR1020110069489
申请日：2011-07-13
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 서상준 , 허명수 , 김승훈 , 김진광 , 송승용
IPC分类号： C23C16/50 , H01L51/56 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/45542 , C23C16/45551 , C23C16/4587
摘要： PURPOSE: A vapor deposition apparatus, a method for vapor deposition, and a manufacturing method of an organic light emitting display apparatus are provided to prevent the impurities from flowing in by arranging a separate plasma generator. CONSTITUTION: A vapor deposition apparatus comprises a chamber(110), a stage(120), an injection part(130), and a plasma generator(180). The chamber has an outlet. The stage is arranged in the chamber and has a mounting side to mount a substrate(101). The injection part has at least one or more injection holes for injecting gas. The plasma generator is arranged to be separated from the substrate and to face the substrate. The plasma generator comprises a supply part injecting reaction gas, a first plasma electrode, a second plasma electrode, and an outlet.
摘要翻译：目的：提供蒸镀装置，气相沉积方法和有机发光显示装置的制造方法，以通过设置单独的等离子体发生器来防止杂质流入。构成：蒸镀装置包括室（110），载物台（120），注射部分（130）和等离子体发生器（180）。房间有一个出口。该台被布置在腔室中，并且具有安装基底（101）的安装侧。注射部分具有至少一个或多个注入气体的注入孔。等离子体发生器布置成与衬底分离并面对衬底。等离子体发生器包括供给部分注入反应气体，第一等离子体电极，第二等离子体电极和出口。

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