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41. 发明专利

JP5927112B2 電界スペクトル測定装置および物体測定装置有权
标题翻译：场光谱仪和物体测量设备
公开(公告)号：JP5927112B2
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：JP2012505757
申请日：2011-03-17
申请人：国立大学法人埼玉大学
发明人：塩田達俊
IPC分类号： G01N21/17
CPC分类号： G01J3/45 , G01B9/02083 , G01B9/0209 , G01N21/17 , G01J3/4535

42. 发明专利

JP5839759B1 光干渉計有权
标题翻译：光学干涉仪
公开(公告)号：JP5839759B1
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：JP2015150546
申请日：2015-07-30
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：藁科禎久 , 鈴木智史 , 笠森浩平 , 奥村亮介 , 港谷恭輔
IPC分类号： G01J3/45
CPC分类号： G01J3/45
摘要：【課題】過剰損失の割合を低減することができる光干渉計を提供する。【解決手段】光干渉計1Aは、分岐合波部10,第1光学系20,第2光学系30および駆動部40を備える。分岐合波部10は、透明部材の内部と外部との間の境界に分岐面11,入射面12,第1出射面13,合波面14および第2出射面15を有し、分岐面11において、入射光L 0 の一部を反射させて第1分岐光L 11 として出射させるとともに、残部を第2分岐光L 21 として内部へ透過させ、合波面14において、第1分岐光L 12 および第2分岐光L 22 それぞれ一部を合波して第1合波光L 3 として外部へ出射させるとともに、各々の残部を合波して第2合波光L 4 として内部へ伝搬させ、第2出射面15において、第2合波光L 4 の一部L 41 を外部へ出射させる。【選択図】図5
摘要翻译：能够减少多余的损失率的光学干涉仪。光干涉仪1A设置有一分支多路复用部分10中，第一光学系统20，第二光学系统30和驱动器40。分支复用部10，在该透明构件的内部和外部之间的边界处的分支表面11具有入射面12，第一输出表面13，结合表面14，和第二输出表面15，分束面11 时使通过反射L0，其余部分通过传送到内部作为第二分支光L21，组合表面14，第一分支光L12和第二分支光L22的入射光的一部分光作为第1分支光L11 每个发射一起向外部作为第一多路复用光L3多路复用的一部分，它是由每一个剩余的复用传播到内部作为第二组合光L4，第二输出表面15，第二合成光束 L4发射部分L41到外部。点域5

43. 发明专利

JP5764566B2 モード同期レーザによる光信号処理有权
标题翻译：由锁模激光光信号处理
公开(公告)号：JP5764566B2
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：JP2012532291
申请日：2010-09-30
申请人：イムラアメリカインコーポレイテッド
发明人：フェルマン、マーティンイー. , ハートル、イングマール , ルール、アクセル
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/098 , H01S3/105 , G01N21/35 , G01N21/27 , G01N21/17 , H01S3/13
CPC分类号： H01S3/1106 , G01J3/10 , G01J3/45 , G01N21/31 , G01N21/3581 , G01N21/4795 , G01N21/636 , G01N21/65 , H01S3/067 , H01S3/1115 , G01J2003/102 , G01N2021/3595 , H01S3/105 , H01S3/1068 , H01S3/107

44. 发明专利

JPWO2013008580A1 干渉計およびそれを備えた分光器有权
标题翻译：干涉光谱仪和装备有它
公开(公告)号：JPWO2013008580A1
公开(公告)日：2015-02-23
申请号：JP2013523868
申请日：2012-06-14
申请人：コニカミノルタ株式会社
发明人：祐亮平尾 , 祐亮平尾
IPC分类号： G01J3/45
CPC分类号： G01J3/4532 , G01J3/027 , G01J3/0289 , G01J3/45 , G01J3/4535 , G01J9/02
摘要：測定光源から出射される測定光の光路と、参照光源から出射される参照光の光路とは、ビームコンバイナによって重ね合わされる。測定光源から出射される測定光は、測定光検出器の感度波長域S1の光と、参照光検出器の感度波長域S2の光とを含んでいる。干渉計は、上記の測定光の波長域に含まれる光のうち、参照光検出器の感度波長域S2の少なくとも一部の光をカットする波長分離フィルタを備えている。
摘要翻译：从测量光源发出的测量光的光路，从基准光源射出的参照光的光路被光束组合叠加。从测量光源发出的测量光包括测量光检测器的光灵敏度的波长区域S1中，参考光检测器的灵敏度波长区域S2是光。干涉仪包括用于切割至少包括在所述波长范围内的测量光的，参考光检测器的灵敏度波长区域S2的光的光的一部分的波长分离滤光器。

45. 发明专利

JP5494667B2 Interference optical system and spectrometer equipped with the same 有权
公开(公告)号：JP5494667B2
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：JP2011532947
申请日：2010-09-01
申请人：コニカミノルタ株式会社
发明人：真奈美杭迫
IPC分类号： G01J3/45 , G01N21/45
CPC分类号： G01J3/45 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0216 , G01J3/0237 , G01J3/4532 , G01J3/4535

46. 发明专利

JP2014077792A Method for determining calibration parameter of spectrometer 有权
标题翻译：测定光谱仪校准参数的方法
公开(公告)号：JP2014077792A
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：JP2013212518
申请日：2013-10-10
申请人： Teknologian Tutkimuskeskus Vtt , テクノロジャンテュトキムスケスクスヴェーテーテー
发明人： HEIKKI SAARI , MAEKYNEN JUSSI , CHRISTER HOLMLUND , UULA KANTOJAERVI , JARKKO ANTILA , MANNILA RAMI
IPC分类号： G01J3/26 , G01J3/02
CPC分类号： H04N9/735 , G01J3/0208 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/45 , G01J2003/2866 , H04N17/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for calibrating a spectrometer.SOLUTION: A spectrometer 500 comprises a Fabry-Perot interferometer 100 and an image sensor 200 having sensitivity to colors. The interferometer has a first transmission peak and a second transmission peak. The method for determining a calibration parameter of the spectrometer includes the steps of: providing a first calibration laser beam LB 11 having a narrow spectral peak; obtaining first detector signal values Sand Sfrom the image sensor by making the first calibration laser beam enter the spectrometer when a reference spectral peak is in the vicinity of a first spectral position λ; obtaining second detector signal values Sand Sfrom the image sensor by making the first calibration laser beam enter the spectrometer when the reference spectral peak is in the vicinity of a second spectral position λ; providing a second calibration laser beam having a wide band width; and obtaining third detector signal values Sand Sfrom the image sensor by making the second calibration laser beam enter the spectrometer.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于校准光谱仪的方法。解决方案：光谱仪500包括法布里 - 珀罗干涉仪100和对颜色敏感的图像传感器200。干涉仪具有第一透射峰和第二透射峰。用于确定光谱仪的校准参数的方法包括以下步骤：提供具有窄光谱峰值的第一校准激光束LB 11; 当参考光谱峰值在第一光谱位置λ附近时，通过使第一校准激光束进入光谱仪，从图像传感器获得第一检测器信号值Sand S; 当参考光谱峰值在第二光谱位置λ附近时，通过使第一校准激光束进入光谱仪，从图像传感器获得第二检测器信号值Sand S; 提供具有宽带宽的第二校准激光束; 并且通过使第二校准激光束进入光谱仪，从图像传感器获得第三检测器信号值S s。

47. 发明专利

JP2013181912A Component analyzer 审中-公开
标题翻译：组分分析仪
公开(公告)号：JP2013181912A
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：JP2012047230
申请日：2012-03-02
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： SAKURAI KAZUNORI
IPC分类号： G01N21/27
CPC分类号： G01J3/45 , G01J1/06 , G01J3/0229 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/0289 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J5/10 , G01J2005/0077
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-sized component analyzer that can execute component analysis of an inspection object in a non-contact manner therewith and is excellent in portability.SOLUTION: A component analyzer 10 comprises: a housing 11; a light source section 132; a light incident section 131 for guiding light from an inspection object to an inside of the housing 11; a wavelength variable interference filter 5 for taking out light having a predetermined wavelength from incident light; an imaging section 133 that receives the light taken out and images a spectral image; a controller 17 for executing component analysis of the inspection object on the basis of the spectral image; and a display 15 for displaying a component analysis result. The light incident section 131, the imaging section 133, and the controller 17 are provided inside the housing 11. The wavelength variable interference filter 5 comprises: a fixed substrate having a fixed reflection film; a movable substrate that is disposed opposite to the fixed substrate and has a movable reflection film opposite to the fixed reflection film via a gap between the reflection films; and an electrostatic actuator for changing a gap amount of the gap between the reflection films.
摘要翻译：要解决的问题：提供能够以非接触的方式执行检查对象的部件分析并且便携性优异的小型部件分析器。解决方案：部件分析器10包括：壳体11; 光源部132; 用于将来自检查对象的光引导到壳体11的内部的光入射部131; 用于从入射光取出具有预定波长的光的波长可变干涉滤光器5; 摄像部133，其接收取出的光并对光谱图像进行成像; 控制器17，用于根据光谱图像执行检查对象的分量分析; 以及用于显示分量分析结果的显示器15。光入射部分131，成像部分133和控制器17设置在壳体11的内部。波长可变干涉滤光器5包括：具有固定反射膜的固定基板; 可动基板，与所述固定基板相对设置，并且具有通过所述反射膜之间的间隙与所述固定反射膜相对的可动反射膜; 以及用于改变反射膜之间的间隙的间隙量的静电致动器。

48. 发明专利

JP2013504066A Micro-electro-mechanical systems (mems) interferometer 有权
公开(公告)号：JP2013504066A
公开(公告)日：2013-02-04
申请号：JP2012528127
申请日：2010-09-08
申请人：シーウェアシステムズSi−Ware Systems
发明人：カリル、ディア・エー , モルタダ、バセム , ナビル、モハメッド , メダット、モスタファ , サダニイ、バサム・エー
IPC分类号： G01J3/45
CPC分类号： G01J3/4532 , G01J3/02 , G01J3/021 , G01J3/45
摘要：垂直性および分散の問題を解決するためバランス界面を使うマイクロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）干渉計を提供する。ＭＥＭＳ干渉計は、第１媒体の第１表面上で第１媒体と第２媒体との界面に形成されたビームスプリッタ、第１媒体の第２表面に形成された第１のミラー、第１媒体の第３表面上に形成された第２のミラー、およびバランス界面を有する。ビームスプリッタは、入射ビームを受け取り、第１媒体中を伝播する第１干渉ビームおよび第２媒体中を伝播する第２干渉ビームに分けるよう、光学的に結合されている。第１のミラーが第１干渉ビームを受け取り第１干渉ビームを反射して第１の反射した干渉ビームを生成するよう光学的に結合しており、第２のミラーが第２干渉ビームを受け取り、第２干渉ビームを反射して第２の反射した干渉ビームを生成するよう結合されている。第１干渉ビームおよび第２干渉ビームのそれぞれの光路にバランス界面があり、ティルト角の相違および位相誤差の相違を最小にする。
【選択図】図３Ａ

49. 发明专利

JP2012518787A Apparatus and method for performing high-speed phase shift for interference measurement system 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP2012518787A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：JP2011551046
申请日：2009-02-23
申请人：ディメンジョナルフォトニクスインターナショナル,インコーポレイテッドDimensional Photonics International,Inc.
发明人：ジュデル，ネイル・エイチ．ケー , シン，グルプリート , ディロン，ロバート・エフ , フィリオン，ティモシー・アイ , ワレース，ネイサン・イー
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： G02B26/06 , G01B11/2441 , G01B11/2527 , G01J3/0229 , G01J3/26 , G01J3/45 , G02B5/32 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02B27/0087 , G02B2207/117 , G06T2200/04 , G06T2200/08
摘要：【課題】
光ビームの位相シフトを高速に行う方法及び装置について記述する。
【解決手段】
異なる光学的厚さを持った複数の領域を備える透明プレートを、当該領域に延びる入射経路に沿って移動する前記光ビームにより照明する。前記透明プレートを移動させるか、又は前記光ビームを偏向させることにより、入射経路を生成する。前記透明プレートを出射する前記光ビームは、当該光ビームが入射した領域に応じた瞬間位相値を持つ。好ましくは、前記位相値は、再現性があり、対応する領域内における光ビームの入射位置にかかわらず安定しており、かつ、高速な変調速度で位相変化を発生させることができる。本方法及び装置は、干渉縞投影システムなどにおいて、一対のコヒーレント光ビームの位相差を変調するのに用いることができる。
【選択図】図３
摘要翻译：描述了用于光束的高速相移的方法和装置。具有不同光学厚度的区域的透明板被沿着延伸穿过该区域的入射路径的光束照射。可以移动透明板，或者使光束转向以产生入射路径。离开透明板的光束根据光束入射的区域具有瞬时相位值。有利地，无论光束在各个区域内的入射位置如何，相位值是可重复和稳定的，并且在高调制速率下的相位变化是可能的。该方法和装置可以用于调制一对相干光束的相位差，例如在干涉条纹投影系统中。

50. 发明专利

JP4873817B2 Time adjustment of the data 有权
公开(公告)号：JP4873817B2
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：JP2001584819
申请日：2001-05-16
申请人：ザイゴコーポレーションZygo Corporation
发明人：シー．デマレスト、フランク
IPC分类号： G01B11/00 , G01B9/02 , G01J3/45 , G03F7/20 , G03F9/00
CPC分类号： G01B9/02062 , G01B9/02003 , G01B9/02083 , G01B2290/70 , G01J3/45 , G03F7/70775 , G03F9/7049 , G03F9/7092

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