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    • 8. 发明专利
    • レーザシステム及び極端紫外光生成システム
    • 激光系统和极紫外光生成系统
    • JPWO2013161760A1
    • 2015-12-24
    • JP2014512556
    • 2013-04-22
    • ギガフォトン株式会社
    • 柳田 達哉達哉 柳田若林 理理 若林
    • H01S3/098H01L21/027H01S3/00H01S3/139
    • H01S3/1106H01S3/005H01S3/105H01S3/107H01S3/1118H01S3/139H01S3/2316H01S3/235H05G2/008
    • レーザシステムが、クロック生成器と、光共振器を含むモードロックレーザ装置と、光共振器の光共振器長を調整可能に構成された調整装置と、パルスレーザ光の光路に配置され、パルスレーザ光を検出して検出信号を出力可能に構成された検出器と、パルスレーザ光の光路に配置され、パルスレーザ光をスイッチング可能に構成されたスイッチング装置と、クロック生成器によって出力されるクロック信号と検出器によって出力される検出信号とに基づいて、調整装置を制御可能に構成され、クロック生成器によって出力されるクロック信号と外部装置から入力されるタイミング信号とに基づいて、スイッチング装置を制御可能に構成された制御部と、を備えてもよい。
    • 激光系统包括一个时钟发生器,锁模激光装置,包括一个光学谐振腔,以及用于光学谐振腔的光学谐振器的长度调节装置是可调节的结构被布置在所述脉冲激光束的光路中,脉冲激光 由检测光被配置为输出检测信号的检测器被设置在脉冲激光束的光路上,用于脉冲激光的开关装置可切换地配置,由时钟发生器输出的时钟信号 基于由检测器输出的检测信号,并且能够控制所述调节装置,基于来自所述时钟信号,这是由时钟发生器输出的外部装置输入的定时信号的,控制所述开关装置 并且构成为能够控制单元可以被提供。