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    • 4. 发明专利
    • データ取得装置
    • JPWO2020016961A1
    • 2021-08-02
    • JP2018026908
    • 2018-07-18
    • オリンパス株式会社
    • 鈴木 良政
    • G01N21/45
    • 小型でありながら、屈折率を高い確度で算出できるデータ取得装置を提供する。 データ取得装置1’は、照明装置2と、第1のビームスプリッタ3と、測定ユニット4と、光検出器6と、を備え、照明装置2と光検出器6との間に、測定光路OPmと、参照光路OPrと、が位置し、第1のビームスプリッタ3は、光学膜が形成された光学面3aを有し、第1のビームスプリッタ3では、光学膜によって、入射した光から、第1の方向に進行する光と、第2の方向に進行する光と、が生成され、第1の方向に、測定光路OPmが位置し、第2の方向に、参照光路OPrが位置し、測定光路OPmに、測定ユニット4が配置され、第1のビームスプリッタ3の光学面3aにおいて、照明装置2から出射した光の入射位置が時間の経過と共に変化し、入射位置の変化に合わせて、測定光路OPmを進む光と測定光路OPrの光軸とのなす角度が変化する。