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    • 9. 发明专利
    • 気体分析装置
    • JPWO2016208048A1
    • 2017-08-03
    • JP2017524536
    • 2015-06-26
    • 株式会社日立製作所
    • 啓太 山口啓太 山口
    • G01N21/3581
    • G01N21/3581
    • テラヘルツ波を用いた気体分析装置において、分析可能な気体濃度レンジを拡大する。テラヘルツ波を用いて、気体を分析する気体分析装置において、単一発振周波数のテラヘルツ帯の光を生成する、少なくとも1つ以上の光発生部と、前記光発生部からが生成した前記テラヘルツ帯の光を受光し、光量を測定する、少なくとも2つ以上の第1と第2の検出部と、前記光発生部が生成した前記テラヘルツ帯の光が内部を通過する気体セルと、を有し、前記第1と第2の検出部は、前記テラヘルツ帯の光の同一光路中の異なる地点に配置され、おける、前記テラヘルツ帯の光の光量の一部を前記検出部で測定し、前記第1と第2の検出部で測定した異なる地点の前記光量から、前記気体セル中の気体を分析する、ことを特徴とする気体分析装置で解決できる。